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公开(公告)号:CN1321227C
公开(公告)日:2007-06-13
申请号:CN02826749.4
申请日:2002-12-13
申请人: 六号元素有限公司
CPC分类号: C30B25/105 , C30B29/04 , Y10T428/30
摘要: 本发明公开了通过CVD生产且具有均匀的总硼浓度的单晶硼掺杂金刚石层。该层由单一生长面形成,或具有超过100微米的厚度,或具有超过1mm3的体积,或这些特征的组合。
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公开(公告)号:CN1612955A
公开(公告)日:2005-05-04
申请号:CN02826749.4
申请日:2002-12-13
申请人: 六号元素有限公司
CPC分类号: C30B25/105 , C30B29/04 , Y10T428/30
摘要: 本发明公开了通过CVD生产且具有均匀的总硼浓度的单晶硼掺杂金刚石层。该层由单一生长面形成,或具有超过100微米的厚度,或具有超过1mm3的体积,或这些特征的组合。
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