一种大尺寸单晶的收尾工艺及大尺寸单晶的制备工艺

    公开(公告)号:CN112301414B

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201910700748.5

    申请日:2019-07-31

    Abstract: 本发明提供一种大尺寸单晶的收尾工艺,在等径生长结束后,依次包括S1:稳定热场温度,阶梯式提高单晶拉速并保持埚转速度不变,使单晶直径缩小至比等径直径低;S2:迅速提高加热器功率以提升热场温度,并将埚转速度降低,同时对所述S1中的单晶拉速进行阶梯式降速,所述单晶拉速降低一定速度后保持不变直至收尾结束。采用本发明收尾工艺能够在2h内完成对大尺寸单晶的收尾收尖,解决了现有收尾工艺中收尾生长效率低的问题,且并未出现断苞、结晶或位错等现象,保证产权质量,提高单晶产能。本发明还公开了一种大尺寸单晶的制备工艺。

    一种提高大尺寸直拉单晶效率的方法

    公开(公告)号:CN112853476A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201911182250.0

    申请日:2019-11-27

    Abstract: 本发明揭露了一种提高直拉单晶效率的方法,所述直拉单晶包括缓降温,在缓降温时,对应不同的晶体位置区间,设置不同的取段慢速以及慢速提升时间,且在不进行复投的缓降温基础上,对应不同的晶体位置区间,单晶炉主室内设置不同的熔硅功率,且晶体位置区间相对较高的单晶,其取段慢速相对较快,慢速提升时间相对较短,所述熔硅功率相对较低,晶体位置区间相对较高的单晶则相反,如此,减少了一些短单晶不必要的多余缓降温时间,从而大大提高了生产效率,而且减少了气体用量以及耗电量,从而降低了生产成本。

    一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置

    公开(公告)号:CN110424050A

    公开(公告)日:2019-11-08

    申请号:CN201910868501.4

    申请日:2019-09-12

    Abstract: 本发明提供一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置,包括制冷装置主体、进水管道和出水管道,进水管道与出水管道分别与制冷装置主体连接,便于冷却介质在制冷装置主体内循环流通,其中,制冷装置主体设有多个视线孔,多个视线孔沿着单晶炉盖至坩埚方向依次设置;以及,单晶炉盖设有观察孔,多个视线孔设于制冷装置主体与观察孔相对侧,便于观察单晶的生长。本发明的有益效果是具有多个视线孔,便于观察单晶的生长,在保证晶体结晶区温度维持在硅结晶点温度的前提下,加快晶体表面热量散失,增加晶体轴向温度梯度,促进单晶拉速提升。

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