公开(公告)号：CN101874307A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN200880117788.7

申请日：2008-12-01

Applicant: 加利福尼亚大学董事会

Inventor： 钟弘 ,  阿努拉格·蒂雅吉 ,  肯尼思·J·万波拉 ,  詹姆斯·S·斯佩克 ,  史蒂文·P·登巴尔斯 ,  中村秀治

IPC: H01L33/00

CPC classification number: H01L33/22 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02458 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/10 ,  H01L33/18 ,  H01L33/20 ,  H01L33/32 ,  H01L2933/0083

Abstract: 本发明揭示一种III-氮化物发光二极管(LED)及其制造方法，其中纹理化所述LED的III-氮化物层的半极性或非极性平面的至少一个表面，借此形成经纹理化表面以增加光提取。可通过等离子辅助化学蚀刻、光刻之后进行蚀刻或纳米压印之后进行蚀刻来执行所述纹理化。

公开(公告)号：CN101874307B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN200880117788.7

申请日：2008-12-01

Applicant: 加利福尼亚大学董事会

Inventor： 钟弘 ,  阿努拉格·蒂雅吉 ,  肯尼思·J·万波拉 ,  詹姆斯·S·斯佩克 ,  史蒂文·P·登巴尔斯 ,  中村秀治

IPC: H01L33/00

CPC classification number: H01L33/22 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02458 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/10 ,  H01L33/18 ,  H01L33/20 ,  H01L33/32 ,  H01L2933/0083

Abstract: 本发明揭示一种III-氮化物发光二极管(LED)及其制造方法，其中纹理化所述LED的III-氮化物层的半极性或非极性平面的至少一个表面，借此形成经纹理化表面以增加光提取。可通过等离子辅助化学蚀刻、光刻之后进行蚀刻或纳米压印之后进行蚀刻来执行所述纹理化。