公开(公告)号：CN116398421B

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202310603958.9

申请日：2023-05-26

申请人： 北京东方计量测试研究所

发明人： 卢耀文 ,  杨传森 ,  丁双 ,  董云宁 ,  魏萌萌 ,  闫睿 ,  王欢 ,  何家伟 ,  宋琦 ,  姚雪琦 ,  陈俊儒 ,  康鹏伟 ,  王汐月

IPC分类号： F04B51/00 ,  F04B37/14

摘要： 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。

公开(公告)号：CN116398421A

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202310603958.9

申请日：2023-05-26

申请人： 北京东方计量测试研究所

发明人： 卢耀文 ,  杨传森 ,  丁双 ,  董云宁 ,  魏萌萌 ,  闫睿 ,  王欢 ,  何家伟 ,  宋琦 ,  姚雪琦 ,  陈俊儒 ,  康鹏伟 ,  王汐月

IPC分类号： F04B51/00 ,  F04B37/14

摘要： 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。