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公开(公告)号：CN111458978B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202010305848.0
申请日：2020-04-17
申请人： 北京北旭电子材料有限公司
摘要： 本发明实施例提供一种光刻胶组合物，光刻胶组合物包括：酚醛树脂、丙烯酸树脂和感光化合物，感光化合物包括第一感光化合物、第二感光化合物中的至少一个。在半色调掩膜版工艺中，利用双组分成膜树脂酚醛树脂和丙烯酸树脂，利用酚醛树脂和丙烯酸树脂溶解速率的差异性，产生“双重对比度”，解决了半保留区域的膜厚度很难达到较好的均一性问题，在一定范围内的曝光能量下，使得半保留区域的膜厚度具有较好的均一性，能够满足半色调掩膜版工艺的要求。
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公开(公告)号：CN111505902B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202010460924.5
申请日：2020-05-27
申请人： 北京北旭电子材料有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明公开一种光刻胶组合物及其制备方法。该光刻胶组合物包括酚醛树脂组合物、感光化合物和有机溶剂。其中酚醛树脂组合物包括：第一线性酚醛树脂、第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂。第一线性酚醛树脂具有较高的感光度，第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂具有较高的耐热温度。三种酚醛树脂相互配合，协同作用，能够使得光刻胶组合物具有较高的耐热温度的同时，还具有较高的感光度。
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公开(公告)号：CN113589649A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110930729.9
申请日：2021-08-13
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法，属于光刻技术领域。树脂组合物按质量百分比计包括20～50％的第一树脂和50～80％的第二树脂；第一树脂的结构如式Ⅰ所示；第二树脂的结构如式II‑1或者式II‑2所示。树脂组合物中，含有至少两种二甲酚结构单元质量百分比不同的第二树脂，且二甲酚结构质量百分比≥30％的第二树脂的质量百分占比＜60％。光刻胶组合物按质量百分比计包括：70～85％的溶剂、1～10％的感光剂以及10～20％的树脂组合物；感光剂包括G线感光剂和I线感光剂。该树脂组合物应用于光刻胶中，能够使得光刻胶兼具较高的分辨率和较快的感度。
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公开(公告)号：CN111458978A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010305848.0
申请日：2020-04-17
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明实施例提供一种光刻胶组合物，光刻胶组合物包括：酚醛树脂、丙烯酸树脂和感光化合物，感光化合物包括第一感光化合物、第二感光化合物中的至少一个。在半色调掩膜版工艺中，利用双组分成膜树脂酚醛树脂和丙烯酸树脂，利用酚醛树脂和丙烯酸树脂溶解速率的差异性，产生“双重对比度”，解决了半保留区域的膜厚度很难达到较好的均一性问题，在一定范围内的曝光能量下，使得半保留区域的膜厚度具有较好的均一性，能够满足半色调掩膜版工艺的要求。
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公开(公告)号：CN113589649B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202110930729.9
申请日：2021-08-13
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法，属于光刻技术领域。树脂组合物按质量百分比计包括20～50％的第一树脂和50～80％的第二树脂；第一树脂的结构如式Ⅰ所示；第二树脂的结构如式II‑1或者式II‑2所示。树脂组合物中，含有至少两种二甲酚结构单元质量百分比不同的第二树脂，且二甲酚结构质量百分比≥30％的第二树脂的质量百分占比＜60％。光刻胶组合物按质量百分比计包括：70～85％的溶剂、1～10％的感光剂以及10～20％的树脂组合物；感光剂包括G线感光剂和I线感光剂。该树脂组合物应用于光刻胶中，能够使得光刻胶兼具较高的分辨率和较快的感度。
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公开(公告)号：CN113946099B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202111145605.6
申请日：2021-09-28
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供了一种正性光刻胶组合物，基于所述正性光刻胶组合物的总重量，所述正性光刻胶组合物包括：酚醛树脂10‑20wt％，感光化合物4‑6wt％，交联剂5‑10wt％，流平剂0.05‑0.10wt％，粘附性促进剂0.05‑0.10wt％，溶剂65‑80wt％；其中，所述酚醛树脂为线性酚醛树脂，结构式如式I所示，其中，n1为自然数，85≤n1≤170。本申请提供的正性光刻胶组合物，具有高耐热的特性，耐热温度可达到230‑250℃，可用于具有高温工艺的生产流程，在曝光工艺中能够形成良好的图形形貌，同时具有良好的均一性，用于外围电路时，能够有效减少磨边时崩坏不良的发生。
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公开(公告)号：CN113946099A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111145605.6
申请日：2021-09-28
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供了一种正性光刻胶组合物，基于所述正性光刻胶组合物的总重量，所述正性光刻胶组合物包括：酚醛树脂10‑20wt％，感光化合物4‑6wt％，交联剂5‑10wt％，流平剂0.05‑0.10wt％，粘附性促进剂0.05‑0.10wt％，溶剂65‑80wt％；其中，所述酚醛树脂为线性酚醛树脂，结构式如式I所示，其中，n1为自然数，85≤n1≤170。本申请提供的正性光刻胶组合物，具有高耐热的特性，耐热温度可达到230‑250℃，可用于具有高温工艺的生产流程，在曝光工艺中能够形成良好的图形形貌，同时具有良好的均一性，用于外围电路时，能够有效减少磨边时崩坏不良的发生。
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公开(公告)号：CN111505902A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010460924.5
申请日：2020-05-27
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京北旭电子材料有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明公开一种光刻胶组合物及其制备方法。该光刻胶组合物包括酚醛树脂组合物、感光化合物和有机溶剂。其中酚醛树脂组合物包括：第一线性酚醛树脂、第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂。第一线性酚醛树脂具有较高的感光度，第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂具有较高的耐热温度。三种酚醛树脂相互配合，协同作用，能够使得光刻胶组合物具有较高的耐热温度的同时，还具有较高的感光度。
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