-
公开(公告)号：CN111458978B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202010305848.0
申请日：2020-04-17
申请人： 北京北旭电子材料有限公司
摘要： 本发明实施例提供一种光刻胶组合物，光刻胶组合物包括：酚醛树脂、丙烯酸树脂和感光化合物，感光化合物包括第一感光化合物、第二感光化合物中的至少一个。在半色调掩膜版工艺中，利用双组分成膜树脂酚醛树脂和丙烯酸树脂，利用酚醛树脂和丙烯酸树脂溶解速率的差异性，产生“双重对比度”，解决了半保留区域的膜厚度很难达到较好的均一性问题，在一定范围内的曝光能量下，使得半保留区域的膜厚度具有较好的均一性，能够满足半色调掩膜版工艺的要求。
-
公开(公告)号：CN110597016B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN201910933465.5
申请日：2019-09-29
申请人： 北京北旭电子材料有限公司
摘要： 本发明涉及光刻胶领域，尤其涉及一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法。所述光刻胶组合物，包括以下组分：1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂；其中，所述感光剂包括：20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物。本发明的光刻胶组合物同时保证了分辨率以感度，以满足实际生产的需求。经过试验测试，本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米，且最小分辨率可以达到1.5微米，同时感度较快，有利于精确图案化，提高OLED显示面板的产率。
-
公开(公告)号：CN114047670A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111460811.6
申请日：2021-12-02
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供了一种正型光刻胶组合物，其包含酚醛树脂、感光化合物以及混合溶剂，其中，混合溶剂包含第一溶剂和第二溶剂，第一溶剂选自乳酸乙酯、3‑乙氧基丙酸乙酯、4‑甲基‑2‑戊酮和2‑庚酮中的至少一种；第二溶剂选自乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、乙酸乙酯和乙酸正丁酯中的至少一种。本申请提供的光刻胶组合物，其稳定性优于使用单一溶剂的光刻胶组合物，可以更好的应用于有机电致发光显示器中。
-
公开(公告)号：CN113341651A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110716154.0
申请日：2021-06-25
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种光刻胶及图案化方法，属于光刻技术领域。光刻胶包括酚醛树脂和感光剂，感光剂包括第一感光物质和第二感光物质，第一感光物质为多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物，第二感光物质为酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物。该酚醛树脂型光刻胶能够兼具较好的分辨率以及抗干刻性能。
-
公开(公告)号：CN111505902A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010460924.5
申请日：2020-05-27
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京北旭电子材料有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明公开一种光刻胶组合物及其制备方法。该光刻胶组合物包括酚醛树脂组合物、感光化合物和有机溶剂。其中酚醛树脂组合物包括：第一线性酚醛树脂、第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂。第一线性酚醛树脂具有较高的感光度，第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂具有较高的耐热温度。三种酚醛树脂相互配合，协同作用，能够使得光刻胶组合物具有较高的耐热温度的同时，还具有较高的感光度。
-
公开(公告)号：CN110597016A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910933465.5
申请日：2019-09-29
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明涉及光刻胶领域，尤其涉及一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法。所述光刻胶组合物，包括以下组分：1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂；其中，所述感光剂包括：20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物。本发明的光刻胶组合物同时保证了分辨率以感度，以满足实际生产的需求。经过试验测试，本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米，且最小分辨率可以达到1.5微米，同时感度较快，有利于精确图案化，提高OLED显示面板的产率。
-
公开(公告)号：CN117826531A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311869301.3
申请日：2023-12-29
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 北旭(湖北)电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明涉及光刻胶技术领域，具体而言，涉及一种光刻胶组合物及其制备方法和应用。一种光刻胶组合物，包括以下质量百分比的组分：酚醛树脂5％～40％、感光化合物1％～20％、粘附力增加剂0.01％～2％、表面流平剂0.01％～1％和有机溶剂55％～90％；所述感光化合物选自第一G线感光化合物、第二G线感光化合物和I线感光化合物中的至少两种；所述粘附力增加剂选自三聚氰胺树脂和/或硅烷偶联剂；所述表面流平剂选自硅系化合物和/或氟碳化合物。本发明的光刻胶组合物高显影粘附力，良好的图形角度及高感度。
-
公开(公告)号：CN111505902B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202010460924.5
申请日：2020-05-27
申请人： 北京北旭电子材料有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明公开一种光刻胶组合物及其制备方法。该光刻胶组合物包括酚醛树脂组合物、感光化合物和有机溶剂。其中酚醛树脂组合物包括：第一线性酚醛树脂、第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂。第一线性酚醛树脂具有较高的感光度，第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂具有较高的耐热温度。三种酚醛树脂相互配合，协同作用，能够使得光刻胶组合物具有较高的耐热温度的同时，还具有较高的感光度。
-
公开(公告)号：CN113341651B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202110716154.0
申请日：2021-06-25
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种光刻胶及图案化方法，属于光刻技术领域。光刻胶包括酚醛树脂和感光剂，感光剂包括第一感光物质和第二感光物质，第一感光物质为多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物，第二感光物质为酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物。该酚醛树脂型光刻胶能够兼具较好的分辨率以及抗干刻性能。
-
公开(公告)号：CN113589649A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110930729.9
申请日：2021-08-13
申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请提供一种树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法，属于光刻技术领域。树脂组合物按质量百分比计包括20～50％的第一树脂和50～80％的第二树脂；第一树脂的结构如式Ⅰ所示；第二树脂的结构如式II‑1或者式II‑2所示。树脂组合物中，含有至少两种二甲酚结构单元质量百分比不同的第二树脂，且二甲酚结构质量百分比≥30％的第二树脂的质量百分占比＜60％。光刻胶组合物按质量百分比计包括：70～85％的溶剂、1～10％的感光剂以及10～20％的树脂组合物；感光剂包括G线感光剂和I线感光剂。该树脂组合物应用于光刻胶中，能够使得光刻胶兼具较高的分辨率和较快的感度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
12 条记录 (耗时 0.044 秒)
