公开(公告)号：CN114047670A

公开(公告)日：2022-02-15

申请号：CN202111460811.6

申请日：2021-12-02

申请人： 北京北旭电子材料有限公司 ,  上海彤程电子材料有限公司 ,  彤程新材料集团股份有限公司

发明人： 吴瑞 ,  卢克军 ,  朴大然 ,  张腾 ,  胡凡华 ,  霍建辉 ,  张宁

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/004

摘要： 本申请提供了一种正型光刻胶组合物，其包含酚醛树脂、感光化合物以及混合溶剂，其中，混合溶剂包含第一溶剂和第二溶剂，第一溶剂选自乳酸乙酯、3‑乙氧基丙酸乙酯、4‑甲基‑2‑戊酮和2‑庚酮中的至少一种；第二溶剂选自乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、乙酸乙酯和乙酸正丁酯中的至少一种。本申请提供的光刻胶组合物，其稳定性优于使用单一溶剂的光刻胶组合物，可以更好的应用于有机电致发光显示器中。

公开(公告)号：CN111458978B

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202010305848.0

申请日：2020-04-17

申请人： 北京北旭电子材料有限公司

发明人： 霍建辉 ,  卢克军 ,  朴大然 ,  张腾 ,  胡凡华 ,  吴瑞 ,  何卿

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F1/32

摘要： 本发明实施例提供一种光刻胶组合物，光刻胶组合物包括：酚醛树脂、丙烯酸树脂和感光化合物，感光化合物包括第一感光化合物、第二感光化合物中的至少一个。在半色调掩膜版工艺中，利用双组分成膜树脂酚醛树脂和丙烯酸树脂，利用酚醛树脂和丙烯酸树脂溶解速率的差异性，产生“双重对比度”，解决了半保留区域的膜厚度很难达到较好的均一性问题，在一定范围内的曝光能量下，使得半保留区域的膜厚度具有较好的均一性，能够满足半色调掩膜版工艺的要求。

公开(公告)号：CN111458978A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN202010305848.0

申请日：2020-04-17

申请人： 北京北旭电子材料有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 霍建辉 ,  卢克军 ,  朴大然 ,  张腾 ,  胡凡华 ,  吴瑞 ,  何卿

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F1/32

摘要： 本发明实施例提供一种光刻胶组合物，光刻胶组合物包括：酚醛树脂、丙烯酸树脂和感光化合物，感光化合物包括第一感光化合物、第二感光化合物中的至少一个。在半色调掩膜版工艺中，利用双组分成膜树脂酚醛树脂和丙烯酸树脂，利用酚醛树脂和丙烯酸树脂溶解速率的差异性，产生“双重对比度”，解决了半保留区域的膜厚度很难达到较好的均一性问题，在一定范围内的曝光能量下，使得半保留区域的膜厚度具有较好的均一性，能够满足半色调掩膜版工艺的要求。