MEMS加速度敏感单元一体化的传感器结构

    公开(公告)号:CN205280755U

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201520967317.2

    申请日:2015-11-27

    IPC分类号: G01P15/12

    摘要: 本实用新型涉及加速度传感器技术领域,具体涉及一种MEMS加速度敏感单元一体化的传感器结构,目的是针对目前单轴加速度传感器无法满足实际测量需求,以及MEMS器件生产工艺巨大成本问题。其特征在于:它包括电路板、元器件、接插件、电缆、上盖、十字螺钉、导线、敏感元件和壳体;电路板固定在壳体的内壁上;元器件安装在电路板上;敏感元件通过导线连接在电路板上;电缆的一端连接在元器件的输出端上,电缆的另一端连接接插件;上盖通过十字螺钉固定盖合在壳体的上端。本实用新型已经应用于基于MEMS系统的三轴微型振动测量装置,该装置参加XX-16B型号两次飞行试验,均工作正常,获取了型号飞行试验中宝贵的振动参数数据。