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公开(公告)号：CN109883828B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201910149394.X
申请日：2019-02-28
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明实施例涉及材料原位微纳实验力学技术领域，提供的透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台，包括：样品杆本体、倾转台、驱动模块和用于获取样品在温度‑应力耦合条件下的应力‑应变信息的微机电系统一体化测试器件；样品杆本体的内部安装有直线步进电机和驱动杆，倾转台的连接部与样品杆本体转动连接；直线步进电机与驱动杆连接，用于使驱动杆沿着样品杆本体的长度方向往复直线运动，从而实现倾转台的安装部的旋转；驱动模块安装于倾转台的安装部，用于对微机电系统一体化测试器件上的样品进行力学加载。该透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台，可实现对微纳米尺度样品的定量化高温力学测试，并通过双轴倾转实时获得最佳观察角度。
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公开(公告)号：CN110299274B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN201910459264.6
申请日：2019-05-29
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： H01J37/20 , G01N23/02 , G01N23/20025 , G01N23/2005
摘要： 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法，多悬臂热双金属驱动器包括本体，本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区；主动区开设第一开口，每个被动区开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁；第一开口与所述第二开口通过连接通道相连通；每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置；本发明结构简单、制备方便，便于批量化生产，实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验，还可根据需要灵活设计驱动器结构，满足不同的驱动需求。
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公开(公告)号：CN114018959A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111319292.1
申请日：2021-11-09
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G01N23/04 , G01N23/20033 , H05B3/02 , H05B3/03
摘要： 本发明涉及透射电镜芯片技术领域，提供一种透射电镜原位原子尺度电热耦合芯片及其制备方法，所述透射电镜原位原子尺度电热耦合芯片包括基底、设置于基底上的薄膜承载层和设置于薄膜承载层上的功能层，功能层设有加热电阻、导热件和多个间隔设置的通电电极；加热电阻包括弧形部和两个延伸部，两个延伸部分别与弧形部的两端相连且相对于弧形部的对称中心线对称分布于弧形部的两侧；两个延伸部之间形成有第一通道和第二通道，第一通道与弧形部两端之间的开口连通，第二通道位于弧形部背离开口的一侧，通电电极部分位于弧形部围设的区域、开口和第一通道内，导热件部分位于第二通道内、部分延伸至加热电阻外侧。
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公开(公告)号：CN111040946A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN202010015513.5
申请日：2020-01-07
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明涉及细胞观测技术领域，公开了一种基于生理环境下的细胞动态观测模组，包括平行相对布置的第一芯片和第二芯片；第一芯片、第二芯片之间通过设置的环形围框构成一个封闭式间隙空间；第一芯片上设有第一透明窗口，第二芯片上设有第二透明窗口；第二芯片上还设有气体进口和/或液体进口、液体出口及加热电阻，气体进口、液体进口、液体出口及第二透明窗口位于环形围框所围成的区域内；本发明的样品室容纳空间大，可对多个细胞同时进行观测，实现了模拟满足细胞生长的相应的气液生理环境，提高了细胞的存活率及生物活性，并相应地提高了扫描电子显微镜对细胞活体的成像分辨率，实现了跨尺度高倍率动态观测。
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公开(公告)号：CN110261221A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910430801.4
申请日：2019-05-22
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明涉及纳米材料力学性能与显微结构原位表征技术领域，提供一种原位拉伸装置及其制备方法，所述的制备方法包括：在MEMS力学芯片上对搭载的板料进行切割操作，得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和预拉伸样品；对预拉伸样品进行减薄操作，以得到拉伸样品；第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧，拉伸样品的两端分别连接第二拉伸辅助件与MEMS力学芯片的第二搭载侧；第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构；本发明设计巧妙、操作便捷，实现了在MEMS力学芯片上直接制备拉伸样品和用于辅助拉伸的勾套结构，可以有效防止拉伸样品在实验前出现变形或损坏的问题，提高了拉伸实验的成功率和检测结果的准确性。
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公开(公告)号：CN110243679A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910459279.2
申请日：2019-05-29
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法，热双金属拉伸驱动器包括本体和第一开口、第二开口；本体包括主动区和设置在主动区两侧的被动区；主动区上开设第一开口，每个被动区上开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁，且第一搭载梁与第二搭载梁并行连接；主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置；本发明结构简单、制备方便，通过一体式结构设计，便于批量化生产，并实现了在不同温度下进行TEM原位拉伸实验，同时可根据需要灵活设计驱动器的结构，满足了不同的驱动需求。
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公开(公告)号：CN109975348A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910172947.3
申请日：2019-03-07
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明实施例提供一种原位热电性能测试装置、制备方法及系统，在包括中空结构的基底上依次设有器件层和功能层，功能层和器件层中设有贯穿功能层和器件层并与中空结构连通的长槽；功能层的上表面位于长槽的两侧分别设有对称的第一加热电阻和第二加热电阻，能对样品的两端分别进行独立的温度控制；器件层中，第一加热电阻下方设有第一方形微孔，在第二加热电阻下方设有第二方形微孔，使得加热高温能聚集在装置的中空加热区域，降低装置功率；通过测量样品两端的电势差和样品的电阻率，可获取样品的塞贝克系数以及电导率随温度的变化情况，将样品的微纳米结构与测得的热电性能参数变化对应，可获取样品的微纳米结构与热电性能参数变化的直接关系。
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公开(公告)号：CN109580348A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811492915.3
申请日：2018-12-07
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G01N3/08 , G01N3/04 , G01N23/2202 , G01N23/2206
摘要： 本发明涉及力学性能测试及微观原位表征技术领域，公开了一种材料力学性能原位测试装置及其测试系统，材料力学性能原位测试装置包括扫描电子显微镜以及置于扫描电子显微镜的腔体内的力学实验台；力学实验台包括支撑框架以及设于支撑框架上的夹具机构、驱动机构和测量机构；支撑框架连接扫描电子显微镜的移动平台，夹具机构包括用于同时夹持和加热样品的夹具；驱动机构用于驱动夹具机构，以使样品产生应力和应变；测量机构用于测量应力和应变。该材料力学性能原位测试装置的夹具机构能够同时夹持和加热样品，可以实现对样品进行原位高温、高精度、高应力的测试，实现了对力学性能试验的连续、稳定、精准的控制和监测。
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公开(公告)号：CN105223213B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510629763.7
申请日：2015-09-28
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G01N23/04
CPC分类号： H01J37/20 , G01N23/02 , G01N2223/307 , G01N2223/32 , G01N2223/418 , H01J2237/206 , H01J2237/262
摘要： 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能‑显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台与微型压头组成，整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动，样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内，在双轴倾转条件下，驱动装置驱动微型压头，在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。
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公开(公告)号：CN105301027B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510813388.1
申请日：2015-11-22
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G01N23/225 , G01N23/02
摘要： 一种透射/扫描电镜力、热耦合场加载的原位实验平台属于材料显微结构‑力学性能原位表征领域。该平台主要由加热兼样品搭载的加热区、驱动梁、热沉梁、质量块和衬底组成。该平台驱动部分为V型电热驱动梁，步进精度可达纳米量级，变形方式可以实现单轴拉伸。该平台整体尺寸小，可置于多电极TEM双轴倾转样品杆前端的狭小空间内，并配合样品杆进行双轴倾转观测；该平台同样可以与扫描电镜及扫描电镜装配的附件如：各种能谱、显微结构(EBSD)配合使用。在材料被加热并变形的同时，可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料室温～高温(600℃)的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。
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