一种IO Pad的ESD静电防护结构

    公开(公告)号:CN104576640B

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201410815637.6

    申请日:2014-12-23

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本发明提供一种IO Pad的ESD静电防护结构,包括衬底、两个P型晶体管、四个N型晶体管、隔离电阻、两个PAD通道以及N型阱区。本发明采用非ESD Device器件构成防护器件;采用手指状结构并联MOS管单元构成MOS管并联组,多MOS管并联组并行布局,构成大尺寸静电防护MOS器件;版图布局采用双Pad通道,与ESD防护N型MOS器件区域、P型MOS器件相间隔分布。本发明的IO Pad的ESD静电防护结构,与工艺厂商提供IO Pad的静电防护结构相比,能减少工艺流程,兼容其他工艺设计,达到等同静电防护性能同时,静电防护器件面积更小,成本更低,且便于为提升防静电能力对静电防护器件进行改进。

    一种IOPad的ESD静电防护结构

    公开(公告)号:CN104576640A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410815637.6

    申请日:2014-12-23

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本发明提供一种IO Pad的ESD静电防护结构,包括衬底、两个P型晶体管、四个N型晶体管、隔离电阻、两个PAD通道以及N型阱区。本发明采用非ESD Device器件构成防护器件;采用手指状结构并联MOS管单元构成MOS管并联组,多MOS管并联组并行布局,构成大尺寸静电防护MOS器件;版图布局采用双Pad通道,与ESD防护N型MOS器件区域、P型MOS器件相间隔分布。本发明的IO Pad的ESD静电防护结构,与工艺厂商提供IO Pad的静电防护结构相比,能减少工艺流程,兼容其他工艺设计,达到等同静电防护性能同时,静电防护器件面积更小,成本更低,且便于为提升防静电能力对静电防护器件进行改进。