一种用于电容检测的数字化二阶积分调制器

    公开(公告)号:CN112653471B

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202011502455.5

    申请日:2020-12-17

    Abstract: 本发明一种用于电容检测的数字化二阶积分调制器,包括:第一级积分调制模块、第二级积分调制模块、比较器;第一级积分调制模块,接收电容信号,对电容信号进行失配调整后,再进行电容信号到电压信号的转换,形成电压信号,送至第二级积分调制模块;第二级积分调制模块对第一级积分调制模块输出的信号进行积分,得到积分后的电压信号,送至比较器,比较器对积分后的电压信号与参考信号进行比较,输出比较结果,形成1bit数字码流,作为用于电容检测的数字化二阶积分调制器电路的输出,实现高精度电容到数字信号转换。

    一种频率可调的MEMS陀螺仪自激启动电路

    公开(公告)号:CN114199221A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202111437109.8

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 本发明涉及一种频率可调的MEMS陀螺仪自激启动电路,属于集成电路领域;包括CV转换电路、放大电路、选频滤波器、移相电路、低通滤波器、驱动电路;其中,CV转换电路的输入端连接MEMS陀螺仪表头第一模态的检测电极;CV转换电路输出端连接放大电路输入端;放大电路输出端连接选频滤波器的输入端;选频滤波器输出端连接移相电路得输入端;移相电路输出端连接低通滤波器的输入端;低通滤波器的输出端连接驱动电路的输入端;驱动电路的输出端连接MEMS陀螺仪表头第一模态的驱动电极;本发明自激启动电路在单芯片中实现,避免了分立元件方案体积大、互连复杂、功耗高、可靠性差等缺点。

    一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路

    公开(公告)号:CN108489477B

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201711456057.2

    申请日:2017-12-28

    Abstract: 本发明公开了一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路,包括第一结型场效应管,第二结型场效应管,第一电阻,第二电阻,第三电阻,第四电阻,第一电容,第二电容。该电路采用半导体一次集成实现,采用低噪声N型JFET工艺实现了电路的超低噪声性能,电路仅由8个元件构成,相对于传统的MEMS传感器检测电路具有结构简单、体积小、功耗低、可靠性高等优点。便于与陀螺仪敏感元件二次集成,通过将陀螺仪敏感元件和微小信号拾取电路封装到一个地线包围的密闭环境里,从而可进一步提高系统的抗干扰特性和电磁屏蔽能力。本发明在电路中实现了带通滤波,滤除了敏感结构的干扰,提高了检测精度。

    一种频率可调的MEMS陀螺仪自激启动电路

    公开(公告)号:CN114199221B

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202111437109.8

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 本发明涉及一种频率可调的MEMS陀螺仪自激启动电路,属于集成电路领域;包括CV转换电路、放大电路、选频滤波器、移相电路、低通滤波器、驱动电路;其中,CV转换电路的输入端连接MEMS陀螺仪表头第一模态的检测电极;CV转换电路输出端连接放大电路输入端;放大电路输出端连接选频滤波器的输入端;选频滤波器输出端连接移相电路得输入端;移相电路输出端连接低通滤波器的输入端;低通滤波器的输出端连接驱动电路的输入端;驱动电路的输出端连接MEMS陀螺仪表头第一模态的驱动电极;本发明自激启动电路在单芯片中实现,避免了分立元件方案体积大、互连复杂、功耗高、可靠性差等缺点。

    一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115388871A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210868472.3

    申请日:2022-07-22

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路,电路包含了自激启动环路和驱动环路两大部分。其中自激启动环路包括CV转换电路、选频滤波器、移相电路、低通滤波器、驱动电路。驱动环路包括CV转换电路、ADC、数字滤波器、AGC幅度控制电路、PLL相位控制电路、DAC、环路滤波器、驱动电路。本发明采用自激振荡驱动方式与锁相环驱动方式相结合的驱动模态控制技术,既利用了自激振荡驱动方式起振速度快的优点,又避免了锁相环驱动方式需要预先设定初始频率的不足。同时还采用自适应调整与寄存器调整相结合的调整模式,针对不同陀螺表头谐振频率存在差异性的问题,快速对各个关键参数进行配置,从而使驱动环路快速跟踪陀螺表头的谐振频率,实现稳频稳幅振荡。

    一种用于电容检测的数字化二阶积分调制器

    公开(公告)号:CN112653471A

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN202011502455.5

    申请日:2020-12-17

    Abstract: 本发明一种用于电容检测的数字化二阶积分调制器,包括:第一级积分调制模块、第二级积分调制模块、比较器;第一级积分调制模块,接收电容信号,对电容信号进行失配调整后,再进行电容信号到电压信号的转换,形成电压信号,送至第二级积分调制模块;第二级积分调制模块对第一级积分调制模块输出的信号进行积分,得到积分后的电压信号,送至比较器,比较器对积分后的电压信号与参考信号进行比较,输出比较结果,形成1bit数字码流,作为用于电容检测的数字化二阶积分调制器电路的输出,实现高精度电容到数字信号转换。

    一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路

    公开(公告)号:CN108489477A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201711456057.2

    申请日:2017-12-28

    Abstract: 本发明公开了一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路,包括第一结型场效应管,第二结型场效应管,第一电阻,第二电阻,第三电阻,第四电阻,第一电容,第二电容。该电路采用半导体一次集成实现,采用低噪声N型JFET工艺实现了电路的超低噪声性能,电路仅由8个元件构成,相对于传统的MEMS传感器检测电路具有结构简单、体积小、功耗低、可靠性高等优点。便于与陀螺仪敏感元件二次集成,通过将陀螺仪敏感元件和微小信号拾取电路封装到一个地线包围的密闭环境里,从而可进一步提高系统的抗干扰特性和电磁屏蔽能力。本发明在电路中实现了带通滤波,滤除了敏感结构的干扰,提高了检测精度。

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