一种适用于颗粒原料微量成分自动配比的装置及方法

    公开(公告)号:CN114160022A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202111465379.X

    申请日:2021-11-30

    IPC分类号: B01F31/80 B01F35/22

    摘要: 本发明一种适用于颗粒原料微量成分自动配比的装置及方法,该装置包括进料斗、出料座、出料盖、出料转盘、轴、电机支撑板、搅拌转盘、搅拌转盘压盖、输料管、轴承、弹性钢丝、振动器、电机、联轴器等。具体方法为:进料斗内的颗粒原料在弹性钢丝搅拌和振动协同作用下顺畅进入输料管内;出料转盘在转动过程中,当其通孔与输料管下端出口对位时,输料管内颗粒会填充出料转盘通孔;同时,出料转盘在转动过程中,当其通孔与出料座底部通孔对位时,出料转盘通孔内的颗粒原料会通过出料座通孔落下;最终,结合通孔数量和尺寸、转动速度和转动时间,基于PLC控制完成颗粒原料成分自动配比,缩短配料时间,实现在线连续高效配料,尤其适合微量成分配比实现。

    一种基于活化过硫酸盐的碳化硅化学机械抛光方法

    公开(公告)号:CN118866656A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202410984227.8

    申请日:2024-07-22

    IPC分类号: H01L21/02 C09G1/02

    摘要: 本发明提供了一种基于活化过硫酸盐的碳化硅化学机械抛光方法,属于抛光技术领域,包括以下步骤:(1)抛光前混合抛光液母液与过硫酸盐,得到碳化硅化学机械抛光液;所述抛光液母液包括磨粒、表面活性剂、Fenton试剂和去离子水;(2)在UV光照下,使用抛光液和抛光垫,对碳化硅衬底进行抛光处理。通过本发明的方法可以在碳化硅化学机械抛光中达到较高的材料去除率和较低的表面粗糙度,有效提升磨抛效率,且易漂洗残留少。本发明是基于过渡金属离子活化过硫酸盐产生强氧化性硫酸根自由基的类Fenton反应,结合UV光催化协同活化过硫酸盐产生自由基,高效软化碳化硅表层,提升表层材料的去除率,提高表面平坦化效率。

    一种适用于颗粒原料微量成分自动配比的装置及方法

    公开(公告)号:CN114160022B

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202111465379.X

    申请日:2021-11-30

    IPC分类号: B01F31/80 B01F35/22

    摘要: 本发明一种适用于颗粒原料微量成分自动配比的装置及方法,该装置包括进料斗、出料座、出料盖、出料转盘、轴、电机支撑板、搅拌转盘、搅拌转盘压盖、输料管、轴承、弹性钢丝、振动器、电机、联轴器等。具体方法为:进料斗内的颗粒原料在弹性钢丝搅拌和振动协同作用下顺畅进入输料管内;出料转盘在转动过程中,当其通孔与输料管下端出口对位时,输料管内颗粒会填充出料转盘通孔;同时,出料转盘在转动过程中,当其通孔与出料座底部通孔对位时,出料转盘通孔内的颗粒原料会通过出料座通孔落下;最终,结合通孔数量和尺寸、转动速度和转动时间,基于PLC控制完成颗粒原料成分自动配比,缩短配料时间,实现在线连续高效配料,尤其适合微量成分配比实现。