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公开(公告)号:CN115084291A
公开(公告)日:2022-09-20
申请号:CN202210519181.3
申请日:2022-05-12
Applicant: 北京邮电大学
IPC: H01L31/0304 , H01L31/0352 , H01L31/105 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种倒置型光探测器及制备方法,包括自下而上的P型衬底层、P型接触层、掺杂吸收层、本征吸收层、过渡层、N型收集层、N型接触层,其中,所述掺杂吸收层的掺杂浓度沿着自横向中心至横向边缘的方向阶梯式降低。本发明提供的倒置型光探测器及制备方法,掺杂吸收层的掺杂浓度沿着自横向中心至横向边缘的方向阶梯式降低。该横向掺杂分布使得光探测器台面边缘的耗尽区域比光敏面中心的耗尽区域长,可以实现光生载流子的同步输运,缓解了限制高速响应的问题。
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公开(公告)号:CN115421230A
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202211216915.7
申请日:2022-09-30
Applicant: 北京邮电大学
IPC: G02B3/00 , G02B7/02 , H01L31/0232
Abstract: 本发明涉及一种具有支撑结构的集成微透镜及其制备方法,方法包括准备衬底、大孔径光刻版和微透镜直径的光刻版,在衬底上生长掩膜;在掩膜表面匀胶,用大孔径光刻版进行曝光,对衬底进行显影;对显影后的衬底进行掩膜开孔处理,进行高温ICP刻蚀;对高温ICP刻蚀后的衬底进行第二次匀胶,用微透镜直径的光刻版对第二次匀胶的衬底进行第二次曝光,对衬底进行第二次显影;对第二次显影后的衬底进行光刻胶热熔,形成微透镜形貌的胶型;对热熔后的衬底进行低温ICP刻蚀,将光刻胶的微透镜形貌复制到衬底上。本发明实现了受周围支撑的集成微透镜结构,制备过程周围支撑结构无需采取特殊防护处理,提高光探测器的光敏面积,有利于集成和封装。
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公开(公告)号:CN115421230B
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN202211216915.7
申请日:2022-09-30
Applicant: 北京邮电大学
IPC: G02B3/00 , G02B7/02 , H01L31/0232
Abstract: 本发明涉及一种具有支撑结构的集成微透镜及其制备方法,方法包括准备衬底、大孔径光刻版和微透镜直径的光刻版,在衬底上生长掩膜;在掩膜表面匀胶,用大孔径光刻版进行曝光,对衬底进行显影;对显影后的衬底进行掩膜开孔处理,进行高温ICP刻蚀;对高温ICP刻蚀后的衬底进行第二次匀胶,用微透镜直径的光刻版对第二次匀胶的衬底进行第二次曝光,对衬底进行第二次显影;对第二次显影后的衬底进行光刻胶热熔,形成微透镜形貌的胶型;对热熔后的衬底进行低温ICP刻蚀,将光刻胶的微透镜形貌复制到衬底上。本发明实现了受周围支撑的集成微透镜结构,制备过程周围支撑结构无需采取特殊防护处理,提高光探测器的光敏面积,有利于集成和封装。
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公开(公告)号:CN118819309A
公开(公告)日:2024-10-22
申请号:CN202311451628.9
申请日:2023-11-02
Applicant: 中国移动通信有限公司研究院 , 北京邮电大学 , 中国移动通信集团有限公司
IPC: G06F3/023 , G06V40/10 , G06V30/148 , G06V40/20 , G06F3/01
Abstract: 本申请提供一种信息输入方法、装置及电子设备,该方法包括:采集用户手部的第一图像,所述用户手部包括多个手部区域;基于所述第一图像,确定所述用户手部的第一手指指向所述多个手部区域中的第一区域;根据预先获取的字符与手部区域之间的对应关系,显示所述第一区域对应的第一字符,其中,在所述对应关系中,每个手部区域对应一个字符,且所述对应关系与真实全键盘的打字规则中手指与字符之间的关系匹配。
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