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公开(公告)号：CN109855743A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910009286.2
申请日：2019-01-04
申请人： 北方工业大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明涉及一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置，双频激光器的输出光路上设置有第一扩束系统，第一扩束系统的输出光路上设置有偏振分光棱镜，偏振分光棱镜的反射光方向设置有参考信号获取系统，偏振分光棱镜的透射光方向设置有待测信号获取系统，偏振分光棱镜的反射光方向的相反方向设置有偏振片，偏振片的输出光路上设置有分光镜，分光镜的透射光方向设置有第一光电探测器，分光镜的反射光方向设置有依次设置有待测信号测量系统。本发明还提供一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的方法。本发明所公开的测量装置和方法精度较高，且能测量较大面积的光学平面。
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公开(公告)号：CN110411333A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910577048.1
申请日：2019-06-28
申请人： 北方工业大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明涉及一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置，其包括激光器，激光器的输出光路上从左到右依次设置有第一偏振片和偏振分光镜；偏振分光镜的透射光路上设置有第一反射镜，偏振分光镜的反射光路上设置有第二反射镜；第二反射镜的反射光路上从左到右依次设置有扩束系统、待测样品和缩束系统；缩束系统的出射光路和第一反射镜的反射光路的交汇处设置有分光镜，分光镜的透射光路上从左到右依次设置有四分之一波片、第二偏振片，聚焦透镜、CCD探测器。提供了一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置及方法，其用于测量透明/半透明介质或流场的折射率分布，且相位检测精度高于传统的光学相干层析光路。
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公开(公告)号：CN109855743B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201910009286.2
申请日：2019-01-04
申请人： 北方工业大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明涉及一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置，双频激光器的输出光路上设置有第一扩束系统，第一扩束系统的输出光路上设置有偏振分光棱镜，偏振分光棱镜的反射光方向设置有参考信号获取系统，偏振分光棱镜的透射光方向设置有待测信号获取系统，偏振分光棱镜的反射光方向的相反方向设置有偏振片，偏振片的输出光路上设置有分光镜，分光镜的透射光方向设置有第一光电探测器，分光镜的反射光方向设置有依次设置有待测信号测量系统。本发明还提供一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的方法。本发明所公开的测量装置和方法精度较高，且能测量较大面积的光学平面。
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