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公开(公告)号：CN118545898A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410528373.X
申请日：2024-04-29
申请人： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/207 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及石英管技术领域，提供了一种石英腔体，包括依次设置的进口段方管、中间段方管和出口段方管，进口段方管的断面尺寸小于中间段方管的断面尺寸；进口段方管的一侧端面设有用于与结构支架抵接限位的定位板件，定位板件延伸至中间段方管内部；中间段方管的内侧壁设有若干定位凹槽，定位凹槽用于与结构支架的支腿配合卡接限位；定位板件远离进口段方管的侧面设有引导部，当结构支架与定位板件相抵接时，结构支架的支腿与定位凹槽正对设置，支腿自然落于定位凹槽。基于此，能够在结构支架放置于石英腔体内部后对石英腔体进行定位，降低产品加工时结构支架移位的可能，使产品保持良好的成型质量。此外，还提供了一种石英腔体的生产设备。
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公开(公告)号：CN118545896A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410528372.5
申请日：2024-04-29
申请人： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种石英异型冷加工件加工工艺及石英异型冷加工件，其中主要技术方案为石英异型冷加工件加工工艺，其包括以下步骤：S1铣削成型、S2磨削基准面、S3切断分件、S4平面研磨、S5酸洗、S6火焰抛光、S7组合焊接、S8退火。本申请能够提高承托部的平面度，提高硅片的定位效果，同时减少硅片的划伤。
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公开(公告)号：CN110975781B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN201911331292.6
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺，包括主管体、法兰、顶板、挡板、石英环、偶管、小法兰，所述主管体通过焊接方式与法兰固定连接，位于所述主管体上紧邻所述法兰位置固定对称焊接有小法兰，所述主管体外侧固定焊接有偶管，所述法兰相对应一侧固定焊接有顶板，所述顶板位于所述主管体最外侧，所述挡板中心位置对称开有两个通孔，所述挡板固定焊接于所述主管体内，且与所述顶板平行设置，位于顶板、挡板之间固定设有石英环，所述石英环通过焊接方式与顶板及挡板固定连接，所述顶板大小为所述挡板的1.7倍。
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公开(公告)号：CN112283481B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202011147394.5
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： F16L41/03 , F16L49/00 , F16L49/04 , C03C23/00 , C03B25/00 , C03B29/00 , C03B33/085 , C03B23/213
摘要： 本申请涉及一种石英管结构及其加工方法,包括石英管、顶片、乳白法兰、主法兰、第一尾气管、第二尾气管、进气管、石英环、顶片和吊环，石英管首端连接同轴顶片，顶片通过车床火加工形成向外凸起的弧状，石英管尾端向外依次连接同轴乳白法兰和主法兰，石英管内壁石英管的轴线对称分布有两组插接部,每组插接部包括沿石英管长度方向间隔设置两个吊环,两个吊环的中心线重合且与石英管的轴线平行；顶片中央设有向外延伸的进气管，进气管下方以石英管的轴线依次对称设置一对第一尾气管，一对第二尾气管；顶片外侧中部连接向外延伸的石英环。本申请与连接件的密封性好，石英管与乳白法兰及主法兰焊接同轴度好，质量稳定，有效避免炸裂现象。
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公开(公告)号：CN112234006B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202011149492.2
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本申请公开了一种方形石英舟及其加工工艺，涉及石英舟加工的技术领域，其包括两个间隔设置的端板，两个端板之间固设有上架体和下架体，上架体和下架体上下间隔设置，上架体包括三个间隔设置的长条型棒材，下架体包括四个间隔设置的开槽棒，上架体和下架体共同围成两个用于放置硅片的区域。本申请具有增加了硅片的放置区域，进而增加硅片的放置量的效果。
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公开(公告)号：CN112250286B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011147426.1
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/06 , C03B23/043 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及一种用于生产螺旋石英管的加工装置，属于石英管加工设备领域，包括箱体以及绕卷机构；所述绕卷机构包括竖向设置的转轴，所述转轴的顶端设置有夹持机构，所述转轴的底端设置有带动所述转轴进行回转的驱动件，所述箱体上设置有能够带动所述驱动件以及转轴同时进行上下移动的控制机构。本申请具有加快螺旋石英管生产效率的效果。
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公开(公告)号：CN112393616B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202110071926.X
申请日：2021-01-20
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种石英扩散炉的点火室，属于扩散炉的技术领域，包括点火室本体，所述点火室本体上穿设有测温偶，所述点火室本体上还设置有用于对所述测温偶进行遮蔽的防护装置，所述防护装置包括，防护罩，所述防护罩固定连接于所述点火室本体且所述测温偶位于所述防护罩内；防护叶片，所述防护叶片有多个且均转动连接于所述防护罩，多个所述防护叶片周向设置且形成对所述防护罩的遮蔽。本申请具有对测温偶的突出部分进行遮蔽以提高安全性的效果。
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公开(公告)号：CN112393616A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202110071926.X
申请日：2021-01-20
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种石英扩散炉的点火室，属于扩散炉的技术领域，包括点火室本体，所述点火室本体上穿设有测温偶，所述点火室本体上还设置有用于对所述测温偶进行遮蔽的防护装置，所述防护装置包括，防护罩，所述防护罩固定连接于所述点火室本体且所述测温偶位于所述防护罩内；防护叶片，所述防护叶片有多个且均转动连接于所述防护罩，多个所述防护叶片周向设置且形成对所述防护罩的遮蔽。本申请具有对测温偶的突出部分进行遮蔽以提高安全性的效果。
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公开(公告)号：CN112391610A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202110078256.4
申请日：2021-01-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C03B23/13 , C03B23/207 , C03B25/00
摘要： 本申请涉及石英管的技术领域，特别涉及一种石英冷却管及其生产设备，该石英冷却管包括石英管和焊接在石英管外壁上的冷却套，在冷却套上设置有进水口和出水口，石英管包括供冷却套套设的连接段、以及位于连接段两端的扩口段，连接段和扩口段间呈台阶设置，且连接段和扩口段间的台阶处与冷却套焊接连接。本申请具有有效提高石英管与冷却套之间的连接强度的优点。
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公开(公告)号：CN111517257B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN201911331291.1
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本发明公开一种托盘升降轴焊件及其加工工艺，包括第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒、支架板、固定台、延伸轴，所述第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒通过焊接方式固定为一体，所述第三连接棒为乳白石英，位于所述第四连接棒上端固定有延伸轴，所述延伸轴与第四连接棒为一体结构，位于所述延伸轴与所述第四连接棒相接处外圆周上固定设有支架板，所述第一连接棒上中心位置开有第一通孔，所述第一通孔延伸至第二连接棒处。
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