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公开(公告)号：CN118545898A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410528373.X
申请日：2024-04-29
申请人： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/207 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及石英管技术领域，提供了一种石英腔体，包括依次设置的进口段方管、中间段方管和出口段方管，进口段方管的断面尺寸小于中间段方管的断面尺寸；进口段方管的一侧端面设有用于与结构支架抵接限位的定位板件，定位板件延伸至中间段方管内部；中间段方管的内侧壁设有若干定位凹槽，定位凹槽用于与结构支架的支腿配合卡接限位；定位板件远离进口段方管的侧面设有引导部，当结构支架与定位板件相抵接时，结构支架的支腿与定位凹槽正对设置，支腿自然落于定位凹槽。基于此，能够在结构支架放置于石英腔体内部后对石英腔体进行定位，降低产品加工时结构支架移位的可能，使产品保持良好的成型质量。此外，还提供了一种石英腔体的生产设备。
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公开(公告)号：CN118545896A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410528372.5
申请日：2024-04-29
申请人： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种石英异型冷加工件加工工艺及石英异型冷加工件，其中主要技术方案为石英异型冷加工件加工工艺，其包括以下步骤：S1铣削成型、S2磨削基准面、S3切断分件、S4平面研磨、S5酸洗、S6火焰抛光、S7组合焊接、S8退火。本申请能够提高承托部的平面度，提高硅片的定位效果，同时减少硅片的划伤。
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公开(公告)号：CN111023147B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN201911331280.3
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： F23Q2/16
摘要： 本发明公开了一种自测温螺旋式点火腔室，包括本体、第一连接管、螺旋管、匀流板、第二连接管、定位管、第三连接管、第一球碗管、第四连接管、第五连接管、第六连接管、第二球碗管，所述本体与第一连接管固定连接，所述第一连接管与第五连接管固定连接，所述本体左端端头位置焊接有匀流板，所述匀流板一端通过焊接方式连接着第一连接管，另一端固定连接着第二连接管，所述第二连接管与螺旋管的一端固定焊接，所述螺旋管的另一端通过焊接方式连接着第三连接管，所述螺旋管中心位置设有定位管，所述定位管靠近第二连接管一端为密封头，所述密封头为弧形头结构，所述定位管另一端延伸至所述本体内壁与第一球碗管固定焊接，且相通。
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公开(公告)号：CN111013515B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201911331293.0
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本发明公开一种双层立式石英管载体及其加工方法，包括内管、外管、第一石英片、第二石英片、法兰、第一偶管、第二偶管、第三偶管、通气管、第一小法兰、第二小法兰、第三小法兰，所述内管镶嵌在外管内，所述内管与外管通过焊接方式固定连接在一起，所述内管、外管之间空隙距离为15mm，所述第一偶管、第二偶管、第三偶管、固定焊接在所述内管内壁上，所述第一小法兰、第二小法兰、第三小法兰与所述内管固定焊接，所述通气管与内管固定焊接，且位于通气管下固定焊接支撑片。
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公开(公告)号：CN116207016A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310284132.0
申请日：2023-03-22
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , F27B1/00 , F27B1/10 , F27B1/20 , H01L21/677
摘要： 本申请涉及一种立式石英炉管及其加工工艺，属于炉管设备的技术领域，一种立式石英炉管包括管体，所述管体一端密封并固定连接有与管体连通的偶管，管体远离所述偶管的一端安装有真空泵，所述真空泵靠近管体的一端安装有第三法兰，所述真空泵和所述管体通过第三法兰可拆卸连接，且管体靠近真空泵的一端设有用于安装晶舟的移动机构，所述移动机构包括设置在管体端部并向远离管体的方向延伸的壳体，所述壳体靠近管体的一端与管体侧壁抵接，且所述壳体外侧设有连接管体的固定组件，所述壳体远离管体的一端设有驱动晶舟向靠近所述管体内部的方向移动的安装组件。本申请具有便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率的效果。
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公开(公告)号：CN112676238A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202110288194.X
申请日：2021-03-18
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种清洗半导体晶片的石英缸，包括底座，设置在底座上的石英缸体，所述石英缸体上部开口，开口处设置有盖板，石英缸体的底部设有倾斜板，处于倾斜板底端的石英缸体侧壁上设有排液口，所述石英缸体的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件，所述石英缸体内还设有清洗毛刷，所述的底座上设有驱动晶片夹持组件动作的驱动组件。本申请的有益效果为：可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件上，之后再将晶片夹持组件安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时清洗多个晶片，提高了清洗效率以及操作的安全性。
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公开(公告)号：CN112374734A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011147416.8
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/213
摘要： 本申请公开了一种大口径吊环石英管加工工装，包括底架，底架上稳定连接有两个沿其长度方向间隔设置的调节杆，两个调节杆上稳定连接有一沿底架长度方向设置的安装杆，安装杆能伸入管体，安装杆伸入管体内的部分耐高温，安装杆上固定连接有多个支撑座，支撑座的熔点不小于石英玻璃的熔点，支撑座包括多个支撑板，套环与支撑板用于可拆卸连接，多个套环连接于支撑板后同轴，支撑板能将套环与管体内侧面抵触压紧。本申请具有便于对石英管内部的套环进行加工的效果。
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公开(公告)号：CN112250286A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011147426.1
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/06 , C03B23/043 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及一种用于生产螺旋石英管的加工装置，属于石英管加工设备领域，包括箱体以及绕卷机构；所述绕卷机构包括竖向设置的转轴，所述转轴的顶端设置有夹持机构，所述转轴的底端设置有带动所述转轴进行回转的驱动件，所述箱体上设置有能够带动所述驱动件以及转轴同时进行上下移动的控制机构。本申请具有加快螺旋石英管生产效率的效果。
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公开(公告)号：CN110975781B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN201911331292.6
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺，包括主管体、法兰、顶板、挡板、石英环、偶管、小法兰，所述主管体通过焊接方式与法兰固定连接，位于所述主管体上紧邻所述法兰位置固定对称焊接有小法兰，所述主管体外侧固定焊接有偶管，所述法兰相对应一侧固定焊接有顶板，所述顶板位于所述主管体最外侧，所述挡板中心位置对称开有两个通孔，所述挡板固定焊接于所述主管体内，且与所述顶板平行设置，位于顶板、挡板之间固定设有石英环，所述石英环通过焊接方式与顶板及挡板固定连接，所述顶板大小为所述挡板的1.7倍。
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公开(公告)号：CN112283481B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202011147394.5
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： F16L41/03 , F16L49/00 , F16L49/04 , C03C23/00 , C03B25/00 , C03B29/00 , C03B33/085 , C03B23/213
摘要： 本申请涉及一种石英管结构及其加工方法,包括石英管、顶片、乳白法兰、主法兰、第一尾气管、第二尾气管、进气管、石英环、顶片和吊环，石英管首端连接同轴顶片，顶片通过车床火加工形成向外凸起的弧状，石英管尾端向外依次连接同轴乳白法兰和主法兰，石英管内壁石英管的轴线对称分布有两组插接部,每组插接部包括沿石英管长度方向间隔设置两个吊环,两个吊环的中心线重合且与石英管的轴线平行；顶片中央设有向外延伸的进气管，进气管下方以石英管的轴线依次对称设置一对第一尾气管，一对第二尾气管；顶片外侧中部连接向外延伸的石英环。本申请与连接件的密封性好，石英管与乳白法兰及主法兰焊接同轴度好，质量稳定，有效避免炸裂现象。
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