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公开(公告)号:CN116850893A
公开(公告)日:2023-10-10
申请号:CN202311027972.5
申请日:2023-08-15
申请人: 华中科技大学 , 华中科技大学无锡研究院
摘要: 本申请涉及一种粉体包覆设备。粉体包覆设备包括流化机构、气体分布机构、进气管道与出料装置,流化机构设有流化腔。气体分布机构设有气体分布腔,气体分布机构设于流化机构内。气体分布机构与流化机构之间形成气室。气体分布机构上设有通风孔,通风孔连通气室与气体分布腔。进气管道与气室连通。出料装置与流化机构连接,出料装置上设有与气体分布腔连通的出料口。本申请中气体分布机构设于流化机构内部,出料装置设于流化机构的一端,使得流化后的粉末可以从出料装置流出。与出料装置与气体分布机构共用同一区域的方案相比,将出料装置与气体分布机构分离,可使气体分布机构上的通风孔不会限制出料的面积,从而以提高出料装置的出料效率。
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公开(公告)号:CN116936768A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202311018492.2
申请日:2023-08-14
申请人: 华中科技大学 , 华中科技大学无锡研究院
IPC分类号: H01M4/36 , H01M4/62 , H01M4/13 , H01M10/0525
摘要: 本发明涉及一种复合正极材料及其制备方法与应用。该复合正极材料的制备方法中,分别采用前驱体A和含硼前驱体B在正极活性材料的同一表面交替进行原子层沉积,制备复合正极材料;所述原子层沉积的温度为30℃~500℃,压力为0.1Pa~1000Pa;所述前驱体A为氧单质、含氧无机物及金属有机化合物中的至少一种;所述含硼前驱体B为硼酸酯。
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公开(公告)号:CN113774358B
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202111067752.6
申请日:2021-09-13
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/20 , C23C16/44
摘要: 本发明涉及一种原子层沉积装置,包括:反应容器,反应容器的内部形成反应腔体;进气组件,进气组件包括进气件,进气件与反应容器连接,进气件上设置有能够与反应腔体连通的进气口;出料组件,出料组件包括出料塞与出料管,出料管与反应容器连接,出料塞设置于出料管的内部,出料塞位于与反应腔体连通的出料口的下方,出料塞与出料管之间形成供粉料流出的出料通道;驱动件,驱动件与出料塞连接,驱动件用于驱动出料塞沿竖直方向移动,以使出料塞与出料口接触或分离。该原子层沉积装置中通过出料组件实现出料口的打开与封堵,出料口处不易出现堵塞,出料较为顺畅。
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公开(公告)号:CN111304634B
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202010231957.2
申请日:2020-03-27
申请人: 华中科技大学无锡研究院
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/40 , A61K41/00 , A61K9/50 , A61K47/36 , A61K47/02 , B82Y25/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要: 本发明属于纳米淀粉微球改性技术领域,具体涉及一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法。本发明通过将纳米淀粉微球置于超声垂直流化原子层沉积设备中,开启超声振动,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在纳米淀粉微球表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用原子层沉积技术生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的纳米淀粉微球可实现其均匀包覆,形成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径纳米淀粉微球的包覆。
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公开(公告)号:CN114075659A
公开(公告)日:2022-02-22
申请号:CN202111163408.7
申请日:2021-09-30
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: C23C16/442 , C23C16/455 , H01M4/36
摘要: 本发明提供了一种粉体包覆反应器、超声流化原子层沉积包覆装置及其应用。该粉体包覆反应器包括反应筒和多个传振片;反应筒的两端具有开口,反应筒的侧壁上开设有多个第一通孔;多个传振片依次间隔设置于反应筒内,每个传振片的边缘密封连接于反应筒的内壁,多个传振片将反应筒的内腔分隔为沿一端开口至另一端开口方向上依次分布的多个子腔体,传振片上设置有用于供粉体在该传振片相邻的两个子腔体之间通过的第二通孔。上述粉体包覆反应器能够有效保持纳米颗粒的分散状态,实现大批量粉末的均匀包覆。
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公开(公告)号:CN109881180B
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201910095421.X
申请日:2019-01-31
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/52
摘要: 本发明属于镀膜设备制造领域,并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备,该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连,组成一个封闭的椭圆形,其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一水冷却板、第一支撑板、第一加热片和料槽,料槽的一端为原子层沉积反应区域,并且该区域上方安装有前驱体喷头;回转运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的回转振动电机、第二水冷却板、第二支撑板、第二加热片和回转运动料槽。本发明能够实现颗粒以稳定的运动速度在料槽中循环运动,并通过控制微纳米颗粒经过原子层沉积反应区域的次数,实现对微纳米颗粒表面薄膜的厚度的控制。
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公开(公告)号:CN111364023A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN202010231952.X
申请日:2020-03-27
申请人: 华中科技大学无锡研究院
IPC分类号: C23C16/455 , B22F1/02 , C23C16/40
摘要: 本发明属于原子层沉积技术领域,具体涉及一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法。本发明通过将银粉置于离心流化微纳米颗粒原子层沉积设备中,在适当的反应温度、压力及转速条件下,通过原子层沉积反应在银粉表面进行厚度均匀一致的纳米级致密氧化物薄膜包覆。本发明利用原子层沉积技术在光伏正面导电银浆银粉表面包覆纳米级厚度可控致密氧化物薄膜,对银粉进行表面改性改善其表面粗糙度,制备表面光滑的球形银粉,提升其在导电银浆中的分散稳定性,从而减少了银粉颗粒表面的孔隙,提升银粉在有机溶剂中的浸润性,进而提升由其制备的导电银浆的印刷性能,获得更高的光电转换效率。
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公开(公告)号:CN111304634A
公开(公告)日:2020-06-19
申请号:CN202010231957.2
申请日:2020-03-27
申请人: 华中科技大学无锡研究院
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/40 , A61K41/00 , A61K9/50 , A61K47/36 , A61K47/02 , B82Y25/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要: 本发明属于纳米淀粉微球改性技术领域,具体涉及一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法。本发明通过将纳米淀粉微球置于超声垂直流化原子层沉积设备中,开启超声振动,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在纳米淀粉微球表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用原子层沉积技术生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的纳米淀粉微球可实现其均匀包覆,形成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径纳米淀粉微球的包覆。
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公开(公告)号:CN109881180A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910095421.X
申请日:2019-01-31
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/52
摘要: 本发明属于镀膜设备制造领域,并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备,该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连,组成一个封闭的椭圆形,其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一水冷却板、第一支撑板、第一加热片和料槽,料槽的一端为原子层沉积反应区域,并且该区域上方安装有前驱体喷头;回转运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的回转振动电机、第二水冷却板、第二支撑板、第二加热片和回转运动料槽。本发明能够实现颗粒以稳定的运动速度在料槽中循环运动,并通过控制微纳米颗粒经过原子层沉积反应区域的次数,实现对微纳米颗粒表面薄膜的厚度的控制。
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公开(公告)号:CN109355641A
公开(公告)日:2019-02-19
申请号:CN201811313431.8
申请日:2018-11-06
申请人: 华中科技大学无锡研究院
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/44
摘要: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法,属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。
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