公开(公告)号：CN115236160B

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202210820832.2

申请日：2022-07-13

申请人： 华中科技大学

发明人： 刘欢 ,  李华曜 ,  刘竞尧 ,  胡志响 ,  周伯文 ,  唐艳婷

IPC分类号： G01N27/414 ,  G01N27/416 ,  G06T9/00 ,  H01L29/78

摘要： 本发明提供了一种基于场效应晶体管的嗅觉感知方法，属于智能传感器技术领域。构建具有气敏效应的场效应晶体管，利用晶体管电可调属性，调节栅压并采集晶体管输出电流数据，通过晶体管对不同气味输出特性电流数据进行插值处理，实现对气味分子的可视化三维图像编码，结合图像识别算法实现气味识别及定量分析。本发明方法具有高灵敏度、高特异性和高可靠性，结合现有的集成电路设计方法和晶圆级制造，能提升嗅觉传感器的集成化和智能化程度。

公开(公告)号：CN115236160A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202210820832.2

申请日：2022-07-13

申请人： 华中科技大学

发明人： 刘欢 ,  李华曜 ,  刘竞尧 ,  胡志响 ,  周伯文 ,  唐艳婷

IPC分类号： G01N27/414 ,  G01N27/416 ,  G06T9/00 ,  H01L29/78

摘要： 本发明提供了一种基于场效应晶体管的嗅觉感知方法，属于智能传感器技术领域。构建具有气敏效应的场效应晶体管，利用晶体管电可调属性，调节栅压并采集晶体管输出电流数据，通过晶体管对不同气味输出特性电流数据进行插值处理，实现对气味分子的可视化三维图像编码，结合图像识别算法实现气味识别及定量分析。本发明方法具有高灵敏度、高特异性和高可靠性，结合现有的集成电路设计方法和晶圆级制造，能提升嗅觉传感器的集成化和智能化程度。

公开(公告)号：CN115561294A

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN202211064854.7

申请日：2022-09-01

申请人： 华中科技大学 ,  中国科学院半导体研究所

发明人： 刘欢 ,  胡志响 ,  张杨 ,  李华曜 ,  唐艳婷 ,  周伯文

IPC分类号： G01N27/414 ,  H01L29/778

摘要： 本发明提供了一种栅敏场效应晶体管嗅觉传感器及其制备方法，属于智能传感器领域。嗅觉传感器包括高电子迁移率晶体管和气敏薄膜；晶体管的栅极包括控制栅与延长栅，二者之间的气敏薄膜作为气味受体，与气体分子作用后薄膜电阻发生改变引起栅压变化，进而引起源漏电流的改变，实现信号转导与放大。本发明提供的嗅觉传感器具有高灵敏度、高信噪比与低功耗的特点，通过传感器阵列化并结合算法，可实现高可靠智能嗅觉感知。