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公开(公告)号：CN108081137A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711290560.5
申请日：2017-12-08
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种带有气液并联管式的砂轮双激光修整装置，包括气液控制设备，气液控制操作平台，皮秒激光烧蚀头，导气软管，磨床，聚焦透镜，飞秒激光烧蚀头，飞秒激光器，激光器控制操作平台，控制设备，皮秒激光器，细导水管，超硬磨料砂轮，气柱流，液柱流，激光束和三维移动平台，本发明提出了辅助气液并联管式的砂轮双激光修整装置，避免等离子体粒子与相爆炸效应导致其金刚石磨粒容屑空间减少且突出结合剂高度不够，可抑制金刚石磨粒时周边热积累产生的微裂纹和石墨变质层等缺陷。本发明能避免库伦爆炸发生，降低砂轮表面光栅与微锥结构，提高激光能量的利用效率，提高砂轮修整效率与修整的表面质量。
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公开(公告)号：CN108081137B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201711290560.5
申请日：2017-12-08
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种带有气液并联管式的砂轮双激光修整装置，包括气液控制设备，气液控制操作平台，皮秒激光烧蚀头，导气软管，磨床，聚焦透镜，飞秒激光烧蚀头，飞秒激光器，激光器控制操作平台，控制设备，皮秒激光器，细导水管，超硬磨料砂轮，气柱流，液柱流，激光束和三维移动平台，本发明提出了辅助气液并联管式的砂轮双激光修整装置，避免等离子体粒子与相爆炸效应导致其金刚石磨粒容屑空间减少且突出结合剂高度不够，可抑制金刚石磨粒时周边热积累产生的微裂纹和石墨变质层等缺陷。本发明能避免库伦爆炸发生，降低砂轮表面光栅与微锥结构，提高激光能量的利用效率，提高砂轮修整效率与修整的表面质量。
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公开(公告)号：CN108032222B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201711469922.7
申请日：2017-12-29
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种砂轮双激光修整装置，包括：纳秒脉冲激光器、飞秒脉冲激光器、激光扩束器、第一聚焦透镜及第二聚焦透镜及脉冲液柱流发生器，纳秒脉冲激光器输出激光经由激光扩束器扩束处理后，经由第一聚焦透镜输出，并作用于被修整砂轮表面，实现砂轮切向修平和径向修锐，飞秒脉冲激光器输出激光经由第二聚焦透镜聚焦后作用被修整砂轮表面，实现砂轮修整。本发明提出了基于辅助脉冲液柱流与扩束器的砂轮双激光修整装置，节约成本，抑制等离子体粒子返回砂轮表面，避免相爆炸效应；在整形砂轮表面金刚石磨粒过程，快速降温避免金刚石磨粒周边热积累产生的热裂纹和石墨变质层等缺陷，从而极大的提高了修整效率与修整质量。
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公开(公告)号：CN108971747A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810995083.0
申请日：2018-08-29
申请人： 华中科技大学
CPC分类号： B23K26/00 , B23K26/702
摘要： 本发明属于超快激光微纳加工领域，公开了一种具备在线监测功能的超快激光微纳加工装置。其包括激光器、二向色镜、显微镜、载物平台和成像光谱仪，激光器用于输出两路波长不同的脉冲激光，第一路脉冲激光被分为第一光束和第二光束，其中第一光束进行激光微纳加工；第二光束与第二路脉冲激光合并后用于光谱成像，同时与第一光束合并。合并后的光束经过显微镜二向色镜后聚集于待加工对象上，以此进行协同激光微纳加工与光谱与成像实时监测。后向采集待加工对象发生的后向相干反斯托克斯拉曼散射等非线性光信号，拟采用成像光谱仪接收，以此实现加工过程中的实时监测。通过本发明，实现具备非线性成像与光谱在线监测功能的超快激光微纳加工。
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公开(公告)号：CN108563101A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810510764.3
申请日：2018-05-24
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明属于光刻胶及激光直写技术领域，并公开了一种光刻胶、微纳温湿敏感智能器件及其制备方法，该光刻胶包括温敏单体、亲水性丙烯酸酯、阳离子型光引发剂和溶剂，温敏单体与亲水丙烯酸酯的摩尔比为(0.5～5):1，每毫升的温敏单体与亲水丙烯酸酯的混合液中含有0.6-2mg的阳离子型光引发剂，温敏单体、亲水性丙烯酸酯和阳离子型光引发剂的体积总量与溶剂的体积比为10:(0.5～3)，所述微纳温湿敏感智能器件由上述光刻胶制备。本发明制备的光刻胶具有亲水亲醇性，制备的智能器件具有温湿敏特性，具有制备工艺简单，操作便利等优点。
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公开(公告)号：CN108971747B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201810995083.0
申请日：2018-08-29
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： B23K26/0622 , B23K26/70 , B23K26/064
摘要： 本发明属于超快激光微纳加工领域，公开了一种具备在线监测功能的超快激光微纳加工装置。其包括激光器、第二二向色镜、显微镜、载物平台和成像光谱仪，激光器用于输出两路波长不同的脉冲激光，第一路脉冲激光被分为第一光束和第二光束，其中第一光束进行激光微纳加工；第二光束与第二路脉冲激光合并后用于光谱成像，同时与第一光束合并。合并后的光束经过第二二向色镜后聚集于待加工对象上，以此进行协同激光微纳加工与光谱与成像实时监测。后向采集待加工对象发生的后向相干反斯托克斯拉曼散射等非线性光信号，拟采用成像光谱仪接收，以此实现加工过程中的实时监测。通过本发明，实现具备非线性成像与光谱在线监测功能的超快激光微纳加工。
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公开(公告)号：CN108032222A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711469922.7
申请日：2017-12-29
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种砂轮双激光修整装置，包括：纳秒脉冲激光器、飞秒脉冲激光器、激光扩束器、第一聚焦透镜及第二聚焦透镜及脉冲液柱流发生器，纳秒脉冲激光器输出激光经由激光扩束器扩束处理后，经由第一聚焦透镜输出，并作用于被修整砂轮表面，实现砂轮切向修平和径向修锐，飞秒脉冲激光器输出激光经由第二聚焦透镜聚焦后作用被修整砂轮表面，实现砂轮修整。本发明提出了基于辅助脉冲液柱流与扩束器的砂轮双激光修整装置，节约成本，抑制等离子体粒子返回砂轮表面，避免相爆炸效应；在整形砂轮表面金刚石磨粒过程，快速降温避免金刚石磨粒周边热积累产生的热裂纹和石墨变质层等缺陷，从而极大的提高了修整效率与修整质量。
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