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公开(公告)号：CN117219552A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202210624555.8
申请日：2022-06-02
申请人： 华为技术有限公司
摘要： 本公开的实施例涉及晶圆处理装置和晶圆处理方法。晶圆处理装置包括：晶圆载台，晶圆载台可沿旋转轴线旋转；机械臂，包括机械手，用于搬运晶圆并将晶圆放置在晶圆载台上；控制器；以及校准组件，包括：光栅板，相对于晶圆载台固定；光源，相对于光栅板固定；以及成像元件，固定设置在机械臂上，并且适于接收从光源发出的、透过光栅板的光；其中，控制器被配置成基于成像元件对接收到的光的检测，控制机械臂或机械臂上的调整装置来调整晶圆的位置；其中，在晶圆载台承载晶圆的情况下，光栅板和成像元件分别位于晶圆载台的上表面所在平面相对两侧，上表面用于承载晶圆。本公开的实施例提供的装置和方法能够提高晶圆对准效率和对准精度。
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公开(公告)号：CN117219532A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202210624242.2
申请日：2022-06-02
申请人： 华为技术有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本公开涉及晶圆处理设备和半导体制造设备。该晶圆处理设备包括：晶圆支撑器件，被构造成支撑所述晶圆；以及光源阵列，被定位在所述晶圆的支撑侧方向上，并且适于对所述晶圆进行光辐射加热；其中所述光源阵列被配置成向所述晶圆的位于所述支撑侧的表面投射用于所述光辐射加热的多个光斑，使得至少在所述晶圆的径向方向上的所有多个光斑彼此邻近且互不重叠。将会理解，以这种方式，可以使得晶圆至少在径向方向上的加热区分度变得更加清晰，从而有助于在诸如晶圆的干燥工艺中的温控空间分辨率的提高。
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公开(公告)号：CN116705644A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202210179750.4
申请日：2022-02-25
申请人： 华为技术有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本公开涉及晶圆处理设备和半导体制造设备。该晶圆处理设备包括：晶圆支撑器件，被构造成支撑所述晶圆；以及光源阵列，被定位在所述晶圆的支撑侧方向上，并且适于对所述晶圆进行光辐射加热；其中所述光源阵列被配置成向所述晶圆的位于所述支撑侧的表面投射用于所述光辐射加热的多个光斑，使得至少在所述晶圆的径向方向上的所有多个光斑彼此邻近且互不重叠。将会理解，以这种方式，可以使得晶圆至少在径向方向上的加热区分度变得更加清晰，从而有助于在诸如晶圆的干燥工艺中的温控空间分辨率的提高。
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公开(公告)号：CN107819888A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201610825244.2
申请日：2016-09-14
申请人： 华为技术有限公司
IPC分类号： H04L29/12
摘要： 一种分配中继地址的方法、装置以及网元，该方法包括：中继服务器接收终端发送的分配请求，分配请求中携带终端的用于向中继服务器请求中继地址的用户名和校验信息；其中，所述用户名与终端的用于向业务系统服务器请求注册的业务用户信息相关；中继服务器根据校验信息对所述用户名进行鉴权；在鉴权通过时，中继服务器根据所述用户名确定所述业务用户信息；中继服务器确定所述业务用户信息是否满足预设条件；中继服务器基于所述业务用户信息满足所述预设条件的确定结果，向终端发送成功响应信息，成功响应信息中携带中继服务器为终端分配的中继地址。通过该方法，可以提高网络的安全性。
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公开(公告)号：CN101350679B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200710119203.2
申请日：2007-07-18
申请人： 华为技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于以太网无源光网络的保护倒换方法、系统和设备，属于通信领域。所述方法包括：ONU和OLT在保护通道上发送携带保护倒换消息的ASP报文；OLT检查本地倒换触发请求和APS报文，根据触发请求和报文中的保护倒换消息判断是否需要倒换和确定倒换方式，根据确定的倒换方式进行主干光纤倒换或分支光纤倒换；ONU检查本地倒换触发请求和APS报文，根据触发请求和报文中的保护倒换消息判断是否需要倒换，如果是，将上行业务倒换到保护通道上，从保护通道接收下行业务。所述系统包括：光网络单元和光线路终端。本发明通过在OLT侧判断进行主干倒换或分支倒换，增强了倒换的稳定性和实用性。
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公开(公告)号：CN100574207C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200410001098.9
申请日：2004-02-03
申请人： 华为技术有限公司
IPC分类号： H04L12/24
CPC分类号： H04L41/00
摘要： 本发明公开了一种操作维护客户端与远程设备直接通信的方法，在集中维护中心设置TCP/IP代理，其通信的过程包括：1)集中维护中心对接收到的操作维护命令进行鉴权，确定用户和操作维护客户端同时拥有发送启动代理的权限，启动TCP/IP代理；2)TCP/IP代理建立远程设备IP地址、远程设备的端口号与远程设备的代理端口的对应关系；3)TCP/IP代理分别建立与操作维护客户端、远程设备之间的TCP/IP连接；4)操作维护客户端与远程设备通信时，先通过TCP/IP连接将信息发送到集中维护中心的TCP/IP代理；TCP/IP代理将该信息再通过TCP/IP连接直接转发给操作维护客户端或远程设备。本发明方法解决了集中维护中与远程设备访问安全性和使用方便性的矛盾，同时还可以实现端口转移，方便集中管理。
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公开(公告)号：CN1525662A
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：CN03106935.5
申请日：2003-02-26
申请人： 华为技术有限公司
发明人： 王建军
摘要： 一种涉及光网络通信技术的复用段保护协议的测试方法，采用如下步骤：首先，根据被测线路特征，创建多个复用段保护控制器，该复用段保护控制器模拟相应个数的节点，并配置相关节点属性；其次，通过复用段保护协议发往对端节点的K字节通过插装的自动测试代码直接发给模拟目的节点协议控制器，可通过在命令行对某模拟节点下发一个外部请求或模拟线路的上报或倒换命令，完成复用段保护协议的响应测试；本发明通过构造模拟的网络环境，实现在软环境下运行复用段保护协议，达到了复用段保护协议APS自动运行测试的效果，提高测试效率和可靠性。
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公开(公告)号：CN107819888B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201610825244.2
申请日：2016-09-14
申请人： 华为技术有限公司
IPC分类号： H04L29/12
摘要： 一种分配中继地址的方法、装置以及网元，该方法包括：中继服务器接收终端发送的分配请求，分配请求中携带终端的用于向中继服务器请求中继地址的用户名和校验信息；其中，所述用户名与终端的用于向业务系统服务器请求注册的业务用户信息相关；中继服务器根据校验信息对所述用户名进行鉴权；在鉴权通过时，中继服务器根据所述用户名确定所述业务用户信息；中继服务器确定所述业务用户信息是否满足预设条件；中继服务器基于所述业务用户信息满足所述预设条件的确定结果，向终端发送成功响应信息，成功响应信息中携带中继服务器为终端分配的中继地址。通过该方法，可以提高网络的安全性。
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公开(公告)号：CN101471876B
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200810029509.3
申请日：2008-07-16
申请人： 华为技术有限公司
摘要： 本发明实施例公开了一种实现分组微波速率控制的方法，其特征在于，包括：接收流量整形控制信息，所述流量整形控制信息包括微波空口传送带宽信息和承诺突发长度信息；根据所述流量整形控制信息对分组业务数据进行输出流量整形处理。采用本发明，通过使用一级数据交换单元架构实现流量调节，减少了分组业务在设备内的处理时延以及系统的功能复杂度，降低了设备成本。
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公开(公告)号：CN101471876A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810029509.3
申请日：2008-07-16
申请人： 华为技术有限公司
摘要： 本发明实施例公开了一种实现分组微波速率控制的方法，其特征在于，包括：接收流量整形控制信息，所述流量整形控制信息包括微波空口传送带宽信息和承诺突发长度信息；根据所述流量整形控制信息对分组业务数据进行输出流量整形处理。采用本发明，通过使用一级数据交换单元架构实现流量调节，减少了分组业务在设备内的处理时延以及系统的功能复杂度，降低了设备成本。
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