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公开(公告)号：CN109458959A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811579968.9
申请日：2018-12-24
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/30
摘要： 本发明公开了一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角相移调制组件、主干涉仪系统、折反镜和和成像系统；由光源变倾角相移调制组件出射倾斜准直光束进入主干涉仪系统，在主干涉仪系统中通过等腰棱镜传递，近掠入射的准直光束到待测面，待测面反射的测试光与等腰棱镜斜面返回的参考光形成相干光束，通过成像系统采集干涉图。方法为：首先光源变倾角相移调制组件产生与光轴平行的准直光，在主干涉仪系统中设置待测件，在CCD上获取成像清晰的干涉图；然后通过相移调制组件改变准直光倾角，在干涉图中引入不同相移量；最后依次采集系列干涉图，通过相移算法恢复相位。本发明具有精确高效、结构紧凑、操作简单、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN107941469A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711029546.X
申请日：2017-10-27
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种等边三棱镜顶角偏差测量方法。该方法包括三个步骤：第一步、将两块反射镜固定成60°的角镜，且角镜60°角的角平分线与干涉仪出射光光轴平行，测量自准直返回的两支光的夹角；第二步、将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间，且待测顶角正对干涉仪，由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面，再分别经过角镜的两个面反射回来的两支光的夹角；第三步、综合测量结果，得到待测等边三棱镜的顶角偏差。本方法步骤少、操作简单、精度高，可以用于等边三棱镜顶角偏差的高精度测量。
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公开(公告)号：CN109458959B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201811579968.9
申请日：2018-12-24
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/30
摘要： 本发明公开了一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角相移调制组件、主干涉仪系统、折反镜和和成像系统；由光源变倾角相移调制组件出射倾斜准直光束进入主干涉仪系统，在主干涉仪系统中通过等腰棱镜传递，近掠入射的准直光束到待测面，待测面反射的测试光与等腰棱镜斜面返回的参考光形成相干光束，通过成像系统采集干涉图。方法为：首先光源变倾角相移调制组件产生与光轴平行的准直光，在主干涉仪系统中设置待测件，在CCD上获取成像清晰的干涉图；然后通过相移调制组件改变准直光倾角，在干涉图中引入不同相移量；最后依次采集系列干涉图，通过相移算法恢复相位。本发明具有精确高效、结构紧凑、操作简单、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN107941469B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201711029546.X
申请日：2017-10-27
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种等边三棱镜顶角偏差测量方法。该方法包括三个步骤：第一步、将两块反射镜固定成60°的角镜，且角镜60°角的角平分线与干涉仪出射光光轴平行，测量自准直返回的两支光的夹角；第二步、将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间，且待测顶角正对干涉仪，由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面，再分别经过角镜的两个面反射回来的两支光的夹角；第三步、综合测量结果，得到待测等边三棱镜的顶角偏差。本方法步骤少、操作简单、精度高，可以用于等边三棱镜顶角偏差的高精度测量。
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公开(公告)号：CN108195849A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810061382.7
申请日：2018-01-23
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 本发明公开了一种基于短相干动态泰曼干涉仪的位相缺陷检测系统及方法。该系统包括短相干偏振光源和偏振泰曼干涉仪两部分。方法为：首先短相干激光器发出的光束经偏振片和半波片后进入迈克尔逊干涉结构，出射一对偏振方向正交的线偏振光，将这对线偏振光耦合到保偏光纤中，作为主干涉仪的光源；然后通过调节PZT匹配干涉仪主体部分干涉腔的相位差，补偿参考光与测试光之间的位相延迟；最后利用偏振相机采集四幅移相量依次相差π/2的干涉图，通过移相算法求解得到位相缺陷的信息。本发明具有视场大、分辨率高、抗震性好、操作简单的优点，可以用于光学元件位相缺陷的实时高精度检测。
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