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公开(公告)号：CN106770335B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201710123331.8
申请日：2017-03-03
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种基于反射式点衍射干涉仪的位相缺陷检测系统与方法。该系统包括：点光源、相位采集组件和成像组件；方法为：首先用光纤激光器作为点光源产生一个标准球面波，该球面波经过准直透镜形成平面波，然后利用该平行波透过待测光学元件获取其位相缺陷信息；在待测光学元件后面依据待测元件与CCD靶面的共轭关系放置成像透镜，在该透镜的焦点处倾斜放置一个点衍射板，然后其透射光束经过成像透镜会聚到反射式点衍射板上，由点衍射板反射的参考光与测试光在CCD靶面上叠加，产生高密度线性载频的干涉图，结合无镜成像技术对此干涉图进行解调，即可获得准确的位相缺陷信息。本发明可以实现缺陷的高精度快速扫描检测和缺陷类型的判断。
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公开(公告)号：CN106501216B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201611223080.2
申请日：2016-12-27
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N21/45
摘要： 本发明公开了一种光学平行平板玻璃的均匀性绝对测量方法，属于光学干涉测量领域。该方法包括三个步骤：第一步、将待测光学平行平板放入测量光路，测量由光学平行平板前后表面形成的干涉腔的波面偏差；第二步、将光学平行平板放入由参考平晶工作面和反射平晶工作面构成的干涉测量腔中，测量透过上述光学平行平板后反射回来的波像差；第三步、将待测光学平行平板从干涉测量腔中移除，测量由参考平晶工作面和反射平晶工作面构成的干涉测量腔的波面偏差；然后根据三次测量结果计算待测光学平行平板的均匀性分布。本方法步骤少、操作简单、精度高，可以用于激光器工作物质、航天器窗口玻璃的光学平行平板折射率均匀性分布的高精度测量。
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公开(公告)号：CN108627254A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810556358.0
申请日：2018-06-01
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明公开了一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角移相组件、主干涉仪和成像组件，光源变倾角移相组件出射倾斜的平行光进入主干涉仪，主干涉仪中的参考光与测试光经分光棱镜重新会合后进入成像组件，在CCD靶面获得干涉图。方法为：首先光源变倾角移相组件产生与光轴平行的准直光，将补偿板置于主干涉仪中，调整补偿板的位置，在CCD上获得成像清晰的干涉图；然后调整反射镜使折转后的光束倾角发生变化，测试光经过补偿板引入不同光程差，在干涉图中引入不同移相量；最后采集到系列移相干涉图后，通过移相算法恢复相位。本发明具有成本低、结构紧凑、对比度好、操作简便的特点，可广泛应用于波前高精度检测领域。
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公开(公告)号：CN107631687A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710772234.1
申请日：2017-08-31
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种点源异位扩束同步移相斐索干涉仪及其测量方法。该干涉仪包括点光源阵列、斐索型主干涉仪和分光成像组件。方法为：点光源阵列产生的四束相同的球面波分别进入主干涉仪，通过调整点光源阵列在主干涉仪准直物镜焦面上与光轴的距离，使得经主干涉仪出射的四个准直波前入射到参考镜上的角度不同，从而在参考面与测试面的干涉中引入不同的相移量，然后通过分光成像组件在一个CCD上同时获取四幅成像清晰的相移干涉图。本发明具有成本低、抗震性好、易于操作等特点，可以用于光学元件的实时高精度检测等领域。
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公开(公告)号：CN110082071B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201910318797.2
申请日：2019-04-19
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法。该装置包括点光源、准直透镜、平面反射镜、分光膜、待测直角棱镜、成像透镜、成像镜头和CCD相机。方法为：首先将待测直角棱镜放入测量光路中，得到由待测直角棱镜前端面自准直返回的光束与由待测直角棱镜内部反射并返回的光束形成的干涉图；然后引入偏移量，得到一系列移相干涉图，计算出波差面数据；接着对波差面数据进行平面拟合，得到拟合平面的系数参数和入射波面与出射波面的夹角；最后将待测直角棱镜展开为相应平行玻璃平板，由拟合平面的系数参数计算出待测直角棱镜角度偏差与棱差数据。本发明能够实现直角棱镜光学平行差的自动化测量，具有装置简单、精度高、稳定性好的优点。
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公开(公告)号：CN108195849A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810061382.7
申请日：2018-01-23
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 本发明公开了一种基于短相干动态泰曼干涉仪的位相缺陷检测系统及方法。该系统包括短相干偏振光源和偏振泰曼干涉仪两部分。方法为：首先短相干激光器发出的光束经偏振片和半波片后进入迈克尔逊干涉结构，出射一对偏振方向正交的线偏振光，将这对线偏振光耦合到保偏光纤中，作为主干涉仪的光源；然后通过调节PZT匹配干涉仪主体部分干涉腔的相位差，补偿参考光与测试光之间的位相延迟；最后利用偏振相机采集四幅移相量依次相差π/2的干涉图，通过移相算法求解得到位相缺陷的信息。本发明具有视场大、分辨率高、抗震性好、操作简单的优点，可以用于光学元件位相缺陷的实时高精度检测。
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公开(公告)号：CN110672216B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910901037.4
申请日：2019-09-23
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明公开了一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法。该装置包括分光膜、斜入射反射式点衍射板、粗调光点接收屏、精调成像透镜、精调光斑接收屏、载频干涉图探测器。该对准方法分为以下四个步骤：根据粗调光点接收屏上光点的位置调整装置，使光斑透过点衍射板狭缝；根据精调光斑接收屏上光斑的大小调整系统光轴方向位置；找到光斑中针孔的像，并微调系统位置，将其移动至光斑中心；再次微调系统光轴方向位置，至光斑上出现干涉图样，此时光线已精确聚焦至针孔。本发明降低了目前斜入射反射式点衍射干涉仪对点难度，且准确度高、装置简单。
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公开(公告)号：CN109458959B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201811579968.9
申请日：2018-12-24
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/30
摘要： 本发明公开了一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角相移调制组件、主干涉仪系统、折反镜和和成像系统；由光源变倾角相移调制组件出射倾斜准直光束进入主干涉仪系统，在主干涉仪系统中通过等腰棱镜传递，近掠入射的准直光束到待测面，待测面反射的测试光与等腰棱镜斜面返回的参考光形成相干光束，通过成像系统采集干涉图。方法为：首先光源变倾角相移调制组件产生与光轴平行的准直光，在主干涉仪系统中设置待测件，在CCD上获取成像清晰的干涉图；然后通过相移调制组件改变准直光倾角，在干涉图中引入不同相移量；最后依次采集系列干涉图，通过相移算法恢复相位。本发明具有精确高效、结构紧凑、操作简单、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN109632112B
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201811589898.5
申请日：2018-12-25
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明公开了一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法。该方法为：首先倾斜动态干涉仪中的参考镜，在同步移相干涉图中引入线性载频，采集载频同步移相干涉图，并分割为四个子干涉图；然后使用傅里叶滤波法解算每个子干涉图中的相位信息，并对其分别消倾斜，得到每个子干涉图所包含的待测相位信息；接着选取其中一个子干涉图包含的相位信息作为基准相位信息，采用快速相位相关配准法确定其他子干涉图包含的相位信息与基准相位信息的空间位置匹配误差；最后根据相位信息的空间位置匹配误差，确定子干涉图间的位置配准关系。本发明提高了动态干涉仪空间位置配准的自动化程度，空间位置配准的准确性和可靠性高，简单高效，适用范围广。
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