公开(公告)号：CN107643162B

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201710747650.6

申请日：2017-08-28

申请人： 南京理工大学

发明人： 李浩宇 ,  何佳竻 ,  何勇 ,  蒋正东 ,  刘尧 ,  李建欣 ,  朱日宏 ,  郑云瀚 ,  许逸轩 ,  朱荣刚 ,  朱庆生

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明公开了一种双光栅焦距测量仪的标定方法，该方法采用两块已知焦距设计值的透镜来标定双光栅干涉仪中光栅栅线夹角，消除两块已知焦距设计值透镜的焦距误差，从而保证双光栅栅线夹角标定精度和焦距测量仪的测量精度。本发明使用优化焦距测量公式，将干涉条纹与零位基准线的夹角替换为放入待测元件前后两组干涉条纹的夹角之差，解决了干涉条纹零位基准线确定困难的问题，消除了误差对焦距测量的影响。

公开(公告)号：CN107941469B

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201711029546.X

申请日：2017-10-27

申请人： 南京理工大学

发明人： 丁煜 ,  何佳竻 ,  陈磊 ,  孔庆庆 ,  刘致远 ,  杨影 ,  马云 ,  王冲

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明公开了一种等边三棱镜顶角偏差测量方法。该方法包括三个步骤：第一步、将两块反射镜固定成60°的角镜，且角镜60°角的角平分线与干涉仪出射光光轴平行，测量自准直返回的两支光的夹角；第二步、将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间，且待测顶角正对干涉仪，由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面，再分别经过角镜的两个面反射回来的两支光的夹角；第三步、综合测量结果，得到待测等边三棱镜的顶角偏差。本方法步骤少、操作简单、精度高，可以用于等边三棱镜顶角偏差的高精度测量。

公开(公告)号：CN105092585A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201410185995.3

申请日：2014-05-05

申请人： 南京理工大学

发明人： 何勇 ,  朱晓娟 ,  高万荣 ,  何佳竻 ,  马骏 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  耿旭 ,  陈宽 ,  傅鑫 ,  赵宏俊 ,  王桦林 ,  刘齐卉之 ,  刘向阳 ,  李建欣

IPC分类号： G01N21/88

摘要： 本发明公开了一种基于全内反射及光学相干层析的亚表面测量装置及方法。该装置包括依次设置的光源系统、待测台和显微分析系统，其中光源系统包括顺次设置的激光器、偏振片、诺马斯基棱镜、准直透镜、第一反射镜和第二反射镜，待测台包括直角棱镜、折射率液和待测件，显微分析系统包括高倍物镜、第三反射镜、诺马斯基干涉仪成像系统、第四反射镜、第五反射镜和光学相干层析系统，多维精密电控调整系统包括支撑台、显微系统支架、三维微位移部件、驱动电机和计算机。所述诺马斯基干涉仪显微成像系统和光学相干层析系统均置于显微系统支架上，分别进行全内反射粗定位过程和光学相干层析过程，即将两者相结合对元件检测，检测速度快、可靠性强、精度高。

公开(公告)号：CN107941469A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201711029546.X

申请日：2017-10-27

申请人： 南京理工大学

发明人： 丁煜 ,  何佳竻 ,  陈磊 ,  孔庆庆 ,  刘致远 ,  杨影 ,  马云 ,  王冲

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明公开了一种等边三棱镜顶角偏差测量方法。该方法包括三个步骤：第一步、将两块反射镜固定成60°的角镜，且角镜60°角的角平分线与干涉仪出射光光轴平行，测量自准直返回的两支光的夹角；第二步、将待测等边三棱镜放在干涉仪与角镜之间，且待测顶角正对干涉仪，由干涉图测量出经等边三棱镜待测顶角的两个侧面，再分别经过角镜的两个面反射回来的两支光的夹角；第三步、综合测量结果，得到待测等边三棱镜的顶角偏差。本方法步骤少、操作简单、精度高，可以用于等边三棱镜顶角偏差的高精度测量。

公开(公告)号：CN105092585B

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201410185995.3

申请日：2014-05-05

申请人： 南京理工大学

发明人： 何勇 ,  朱晓娟 ,  高万荣 ,  何佳竻 ,  马骏 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  耿旭 ,  陈宽 ,  傅鑫 ,  赵宏俊 ,  王桦林 ,  刘齐卉之 ,  刘向阳 ,  李建欣

IPC分类号： G01N21/88

摘要： 本发明公开了一种基于全内反射及光学相干层析的亚表面测量装置及方法。该装置包括依次设置的光源系统、待测台和显微分析系统，其中光源系统包括顺次设置的激光器、偏振片、诺马斯基棱镜、准直透镜、第一反射镜和第二反射镜，待测台包括直角棱镜、折射率液和待测件，显微分析系统包括高倍物镜、第三反射镜、诺马斯基干涉仪成像系统、第四反射镜、第五反射镜和光学相干层析系统，多维精密电控调整系统包括支撑台、显微系统支架、三维微位移部件、驱动电机和计算机。所述诺马斯基干涉仪显微成像系统和光学相干层析系统均置于显微系统支架上，分别进行全内反射粗定位过程和光学相干层析过程，即将两者相结合对元件检测，检测速度快、可靠性强、精度高。

公开(公告)号：CN107643162A

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201710747650.6

申请日：2017-08-28

申请人： 南京理工大学

发明人： 李浩宇 ,  何佳竻 ,  何勇 ,  蒋正东 ,  刘尧 ,  李建欣 ,  朱日宏 ,  郑云瀚 ,  许逸轩 ,  朱荣刚 ,  朱庆生

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明公开了一种双光栅焦距测量仪的标定方法，该方法采用两块已知焦距设计值的透镜来标定双光栅干涉仪中光栅栅线夹角，消除两块已知焦距设计值透镜的焦距误差，从而保证双光栅栅线夹角标定精度和焦距测量仪的测量精度。本发明使用优化焦距测量公式，将干涉条纹与零位基准线的夹角替换为放入待测元件前后两组干涉条纹的夹角之差，解决了干涉条纹零位基准线确定困难的问题，消除了误差对焦距测量的影响。

公开(公告)号：CN207280292U

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201721140216.3

申请日：2017-09-07

申请人： 南京理工大学

发明人： 张言 ,  何佳竻 ,  王海林

IPC分类号： F41G1/14

摘要： 本实用新型公开了一种超小型全息瞄准器的光学装置。该装置包括激光二极管、反射式全息透镜和透射式全息图；由激光二极管出射的球面光经反射式全息透镜衍射后，以平行光的形式入射到透射式全息图的入射面；人眼在透射式全息图的出射面一侧，透过透射式全息图观察到所成十字叉丝虚像，实现对点瞄准。所述反射式全息透镜与透射式全息图均由光热折变玻璃制成。所述反射式全息透镜与透射式全息图具有相同的空间频率。所述反射式全息透镜与透射式全息图平行设置。本实用新型超小型全息瞄准器结构简单，光学装置紧凑，可完全消除激光光源波长变化导致的虚像漂移。

公开(公告)号：CN207280291U

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201721142482.X

申请日：2017-09-07

申请人： 南京理工大学

发明人： 何佳竻 ,  张言 ,  李浩宇 ,  王海林

IPC分类号： F41G1/06 ,  G03H1/04

摘要： 本实用新型公开了一种激光全息瞄准器的光学装置。该光学装置包括激光二极管、凹面反射镜、反射式全息匹配元件和透射式全息图；所述激光二极管发射的发散光经凹面反射镜反射后以平行光入射到反射式全息匹配元件上，该反射式全息匹配元件反射后的平行光作用于透射式全息图上，在水平方向上产生一个十字叉丝虚像，用于激光全息瞄准器的对点瞄准；所述的凹面反射镜为离轴非球面，能将激光二极管发射的发散光经凹面反射镜形成平行光反射；所述反射式全息匹配元件闪耀光栅；所述反射式全息匹配元件和透射式全息图具有相同的空间频率。本实用新型能够有效抑制波长变化引起的虚像漂移，高效、精确地完成激光全息瞄准器的对点瞄准。