公开(公告)号：CN104792798A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410024724.X

申请日：2014-01-20

申请人： 南京理工大学

发明人： 何勇 ,  朱晓娟 ,  刘向阳 ,  王华林 ,  赵宏俊 ,  傅鑫 ,  刘齐卉芝

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01N21/958

摘要： 本发明公开了一种基于全内反射照明技术的亚表面损伤测量装置及方法。该装置包括沿光路方向依次设置的光源系统、待测台和诺马斯基干涉仪，其中光源系统包括沿光路方向顺次设置的激光器、第一偏振片、第一渥拉斯顿棱镜、准直透镜、第一反射镜和第二反射镜，待测台包括球面镜、折射率液和待测件，诺马斯基干涉仪包括沿光路方向顺次设置的高倍物镜、第二渥拉斯顿棱镜、第二偏振片、第三反射镜、CCD和计算机；所述待测台中球面镜包括平面和凸面两部分，待测件置于球面镜的平面上，待测件的下表面和球面镜的平面贴合且二者之间涂有折射率液，所述待测件的厚度与球面镜中心厚度之和为球面镜的曲率半径。本发明测量精度高，且便于亚表面损伤凸显和观察。

公开(公告)号：CN105092585A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201410185995.3

申请日：2014-05-05

申请人： 南京理工大学

发明人： 何勇 ,  朱晓娟 ,  高万荣 ,  何佳竻 ,  马骏 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  耿旭 ,  陈宽 ,  傅鑫 ,  赵宏俊 ,  王桦林 ,  刘齐卉之 ,  刘向阳 ,  李建欣

IPC分类号： G01N21/88

摘要： 本发明公开了一种基于全内反射及光学相干层析的亚表面测量装置及方法。该装置包括依次设置的光源系统、待测台和显微分析系统，其中光源系统包括顺次设置的激光器、偏振片、诺马斯基棱镜、准直透镜、第一反射镜和第二反射镜，待测台包括直角棱镜、折射率液和待测件，显微分析系统包括高倍物镜、第三反射镜、诺马斯基干涉仪成像系统、第四反射镜、第五反射镜和光学相干层析系统，多维精密电控调整系统包括支撑台、显微系统支架、三维微位移部件、驱动电机和计算机。所述诺马斯基干涉仪显微成像系统和光学相干层析系统均置于显微系统支架上，分别进行全内反射粗定位过程和光学相干层析过程，即将两者相结合对元件检测，检测速度快、可靠性强、精度高。

公开(公告)号：CN105092585B

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201410185995.3

申请日：2014-05-05

申请人： 南京理工大学

发明人： 何勇 ,  朱晓娟 ,  高万荣 ,  何佳竻 ,  马骏 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  耿旭 ,  陈宽 ,  傅鑫 ,  赵宏俊 ,  王桦林 ,  刘齐卉之 ,  刘向阳 ,  李建欣

IPC分类号： G01N21/88

摘要： 本发明公开了一种基于全内反射及光学相干层析的亚表面测量装置及方法。该装置包括依次设置的光源系统、待测台和显微分析系统，其中光源系统包括顺次设置的激光器、偏振片、诺马斯基棱镜、准直透镜、第一反射镜和第二反射镜，待测台包括直角棱镜、折射率液和待测件，显微分析系统包括高倍物镜、第三反射镜、诺马斯基干涉仪成像系统、第四反射镜、第五反射镜和光学相干层析系统，多维精密电控调整系统包括支撑台、显微系统支架、三维微位移部件、驱动电机和计算机。所述诺马斯基干涉仪显微成像系统和光学相干层析系统均置于显微系统支架上，分别进行全内反射粗定位过程和光学相干层析过程，即将两者相结合对元件检测，检测速度快、可靠性强、精度高。