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公开(公告)号：CN104165758A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410439298.6
申请日：2014-08-29
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法。本发明通过在斐索涉仪装置中，先后在干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来引入物点和像点的轴向位移，实现透镜焦距的测量。首先将玻璃平板放置在猫眼位置，当测试光路中不放置平行平板时，通过移相干涉测量得到测试波前数据W1和参考波前数据W0之差W1-W0。分别将两个不同厚度的平行平板置在测试光路中，通过移相干涉测量得出两个不同的波差W2-W0和波面W3-W0。采用波前差分算法通过计算求得波差W2-W1、波差W3-W1和高斯成像公式，推导出透镜焦距的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对透镜表面的损坏，同时该发明适用于正负透镜焦距的测量。
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公开(公告)号：CN106704898A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510486615.4
申请日：2015-08-10
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种空间结构式太阳模拟器的光路结构，包括氙灯、椭球聚光镜、第一平面反射镜、空间折转镜、光学积分器场镜、光学积分器投影镜组、光学滤光片、第二平面反射镜、离轴抛物面反射镜。氙灯位于椭球聚光镜的第一焦点处；光学积分器场镜位于椭球聚光镜的第二焦点处，光学积分器投影镜组位于准直镜前焦面处；离轴抛物镜为系统准直镜。本发明的优点在于利用两块平面反射镜和一块空间折转镜，将传统的平面光路结构转化为空间结构，可有效折叠光路，压缩光路尺寸；此外将离轴抛物面反射镜从氙灯所在平面偏离出来，避免其他光学原件阻挡出射光，辐照中心高度有更大的调节范围。
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公开(公告)号：CN104730085A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310706251.7
申请日：2013-12-19
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置，共光轴依次布置光源、孔径光阑、正透镜、半透半反分光镜、双焦波带片、待测平面掩膜，光线经孔径光阑形成点光源，再经正透镜形成平行光，平行光穿过半透半反分光镜，入射到双焦波带片上，0级衍射光束满足折射原理，+1级衍射光线在双焦波带片相位函数的调控下实现汇聚，携带待测平面掩膜表面面型相位信息的光反射形成返回光路。本发明中采用参考光与测试光共光路的双焦波带片显微干涉系统，双焦波带片实现了无焦和有焦距共存的衍射器件，相比于多片的透射透镜组系统，减少了透镜组透射的数量，而且双焦波带片干涉显微系统实现了振幅型缺陷和位相型缺陷的同步检测的功能。
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公开(公告)号：CN104949630B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201410113337.3
申请日：2014-03-25
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置。线偏振激光器出射的光经过二分之一波片、第一四分之一波片、第一分光镜后分为两束，透射部分通过两个反射镜和第二分光镜后进入准直扩束系统，反射部分通过第二四分之一波片、两个反射镜、第三四分之一波片后产生旋向与透射部分相反的圆偏振光，并经过第二分光镜进入准直扩束系统，两束光会合后通过显微物镜会聚到点衍射孔上，衍射出含有左旋和右旋两束光的近似标准球面波，测试光经待测件反射、点衍射板反射后与旋向相反的参考光会合，经过第四四分之一波片和检偏器后得到干涉条纹，通过旋转检偏器来实现干涉条纹对比度可调。本发明实现了条纹对比度可调，测量精度高。
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公开(公告)号：CN104165758B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410439298.6
申请日：2014-08-29
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法。本发明通过在斐索涉仪装置中，先后在干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板，来引入物点和像点的轴向位移，实现透镜焦距的测量。首先将玻璃平板放置在猫眼位置，当测试光路中不放置平行平板时，通过移相干涉测量得到测试波前数据W1和参考波前数据W0之差W1-W0。分别将两个不同厚度的平行平板置在测试光路中，通过移相干涉测量得出两个不同的波差W2-W0和波面W3-W0。采用波前差分算法通过计算求得波差W2-W1、波差W3-W1和高斯成像公式，推导出透镜焦距的计算公式。本发明采用非接触式的测量方法避免了对透镜表面的损坏，同时该发明适用于正负透镜焦距的测量。
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公开(公告)号：CN104949630A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201410113337.3
申请日：2014-03-25
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置。线偏振激光器出射的光经过二分之一波片、第一四分之一波片、第一分光镜后分为两束，透射部分通过两个反射镜和第二分光镜后进入准直扩束系统，反射部分通过第二四分之一波片、两个反射镜、第三四分之一波片后产生旋向与透射部分相反的圆偏振光，并经过第二分光镜进入准直扩束系统，两束光会合后通过显微物镜会聚到点衍射孔上，衍射出含有左旋和右旋两束光的近似标准球面波，测试光经待测件反射、点衍射板反射后与旋向相反的参考光会合，经过第四四分之一波片和检偏器后得到干涉条纹，通过旋转检偏器来实现干涉条纹对比度可调。本发明实现了条纹对比度可调，测量精度高。
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公开(公告)号：CN108204949A
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201711454458.4
申请日：2017-12-28
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种基于反射式交叠衍射成像的相位恢复算法，基于搭建反射式交叠衍射成像装置，在反射位置放置待测物体，使待测物体相对照明光逐行逐列地进行移动，在CCD靶面采集样品的衍射图样，取下待测物体，在反射位置放置反射镜，在CCD靶面采集照明光经过反射后的衍射图样，利用两次PIE算法，最终获得待测样品的相位信息。本发明具有无透镜成像，视场宽，收敛快，可检测反射式样品的优点。
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公开(公告)号：CN106323981B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510348552.6
申请日：2015-06-23
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当光入射到样品表面，散射与反射同时发生，偏轴型波带片对反射光和散射光作用，反射光调制成轴向聚焦，散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD；光纤点衍射装置是为测试光提供参考光，并且参考光与测试光实现干涉，干涉图进入亮场CCD，通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低，并能同时对亮暗场分析，对位相缺陷及时定位和分析，并获取缺陷轮廓信息。
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公开(公告)号：CN106405700A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201510487379.8
申请日：2015-08-10
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G02B5/18
摘要： 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片，包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜，在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环，N≥3，所述相邻同心圆环的环带相位相差为π，沿径向方向将位相型波带片分成M个区域，2≤M≤10，每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系：所述环带位置g(n)决定环带半径 其中第一个环带的半径λ为工作波长，f为工作焦距；假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化，即gi(n)＝ain+bi，其中ai和bi表示位置系数，ai和bi均是整数。本发明提供的多区域结构位相型波带片在同环数和同焦距情况下，相比于传统波带片具有更大的数值孔径和更小的焦斑尺寸，带宽变宽更易于加工。
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公开(公告)号：CN106323981A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510348552.6
申请日：2015-06-23
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当光入射到样品表面，散射与反射同时发生，偏轴型波带片对反射光和散射光作用，反射光调制成轴向聚焦，散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD；光纤点衍射装置是为测试光提供参考光，并且参考光与测试光实现干涉，干涉图进入亮场CCD，通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低，并能同时对亮暗场分析，对位相缺陷及时定位和分析，并获取缺陷轮廓信息。
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