公开(公告)号：CN105241393A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510618595.1

申请日：2015-09-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  张瑜 ,  朱文华 ,  胡芬 ,  李金鹏 ,  韩志刚 ,  万骏 ,  宋乐 ,  周舒 ,  陈宇琪 ,  谷晨风 ,  郑权

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。

公开(公告)号：CN105241393B

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201510618595.1

申请日：2015-09-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  张瑜 ,  朱文华 ,  胡芬 ,  李金鹏 ,  韩志刚 ,  万骏 ,  宋乐 ,  周舒 ,  陈宇琪 ,  谷晨风 ,  郑权

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。

公开(公告)号：CN103557948B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201310441895.8

申请日：2013-09-25

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  解晓龙 ,  张城 ,  谷晨风 ,  李金鹏 ,  李博 ,  方波

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明公开了一种基于圆载频相位解调法的光学系统波前测量装置及方法。该装置包括沿光路方向依次共轴设置的激光器、扩束器、空间滤波器、待测光学系统、点衍射板和CCD相机，其中空间滤波器设置于扩束器的焦点，点衍射板设置于待测光学系统的出射波面汇聚点；所述点衍射板包括针孔和针孔外围部分，并且针孔外围部分镀有高反射膜层。测量方法为：利用点衍射板针孔衍射效应生成的理想波面作参考波前，将点衍射板沿光轴方向移动形成圆载频干涉图，再使用四相位拼接法直接求解圆载频干涉图中的原始相位，即待测光学系统的波前。该方法采用很少的元器件实现了光学系统出射波前的测量，操作简单且精度高，并且能够满足瞬态测量的要求。

公开(公告)号：CN103557948A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310441895.8

申请日：2013-09-25

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  解晓龙 ,  张城 ,  谷晨风 ,  李金鹏 ,  李博 ,  方波

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明公开了一种基于圆载频相位解调法的光学系统波前测量装置及方法。该装置包括沿光路方向依次共轴设置的激光器、扩束器、空间滤波器、待测光学系统、点衍射板和CCD相机，其中空间滤波器设置于扩束器的焦点，点衍射板设置于待测光学系统的出射波面汇聚点；所述点衍射板包括针孔和针孔外围部分，并且针孔外围部分镀有高反射膜层。测量方法为：利用点衍射板针孔衍射效应生成的理想波面作参考波前，将点衍射板沿光轴方向移动形成圆载频干涉图，再使用四相位拼接法直接求解圆载频干涉图中的原始相位，即待测光学系统的波前。该方法采用很少的元器件实现了光学系统出射波前的测量，操作简单且精度高，并且能够满足瞬态测量的要求。