一种基于抗磁悬浮原理的倾角传感器及其测量方法

    公开(公告)号:CN113375637A

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN202110596674.2

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于抗磁悬浮原理的倾角传感器,包括圆柱形磁极对和圆柱形悬浮棒、第一激光位移感测头、第二激光位移感测头、控制器、计算机、凹槽、平板、基座、铰链、深度千分尺,第一激光位移感测头实时测量记录圆柱形悬浮棒的轴向悬浮位置,第二激光位移感测头实时测量记录平板的上升高度,得出圆柱形悬浮棒的轴向悬浮位置随上升高度变化的实验数据,得出倾角与圆柱形悬浮棒的轴向悬浮位置之间的对应关系。本发明的一种基于抗磁悬浮原理的倾角传感器结合抗磁悬浮圆柱棒高灵敏性与光学测量技术高精密的特点,可实现微小角度的测量;提供了驼峰型磁场,当圆柱棒倾斜在一定范围内时,无需外力作用也能保持圆柱棒稳定悬浮在圆柱形磁极对上。

    一种主被动悬浮式倾角传感器及其测试方法

    公开(公告)号:CN115507820B

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202211159847.5

    申请日:2022-09-22

    Abstract: 本发明公开了一种主被动悬浮式倾角传感器,包括支撑架、磁极阵列、悬浮环、非磁性金属环、导磁铁芯、激励线圈、光电位移传感器、控制器、功率放大器;非磁性金属环嵌套在悬浮环的内部;磁极阵列位于悬浮环下方,实现悬浮环与非磁性金属环的悬浮;导磁铁芯穿过非磁性金属环,激励线圈采用差动式结构,光电位移传感器设置在非磁性金属环两侧,用以测量非磁性金属环的位置信号;非磁性金属环受激励线圈中控制电流的作用感应出相应的电磁力,非磁性金属环所受合力为两种作用力的差值,位置发生变化,直至非磁性金属环稳定于预设位置。本发明实现了微小倾角高精度测量功能,抗磁悬浮克服了现有高精度倾角传感器普遍存在的摩擦问题,实现大角度的测量。

    一种新型抗磁悬浮电压感应式微驱动器及其控制方法

    公开(公告)号:CN113328653A

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN202110596671.9

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种新型抗磁悬浮电压感应式微驱动器,包括:自下而上依次设置的永磁体阵列、驱动系统和悬浮平台,所述永磁体阵列为包括N块长方体磁铁,N为偶数,自然吸合在一起,呈对称布置;所述驱动系统包括两相交流电、四相交流电、四相并联驱动电极、两相并联驱动电极、第一感应电极、第二感应电极。本发明的一种新型的抗磁悬浮电压感应式微驱动器实现了解决了微驱动器由于尺寸的减小而造成的摩擦力影响大的问题,并且该驱动器是在无声条件下驱动的,提高了微系统的性能和稳定性;微驱动器可编程控制,通过数字控制可进行精准控制,可靠性高。

    一种抗磁静电混合悬浮式加速度计及其测量方法

    公开(公告)号:CN116973596A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202310689878.X

    申请日:2023-06-12

    Abstract: 本发明公开了一种抗磁静电混合悬浮式加速度计及其测量方法,所述加速度计包括支撑架、永磁体阵列、悬浮元件、非磁性金属片、驱动电极、光电位移传感器、驱动电极控制器、高压放大器;非磁性金属片胶粘在悬浮元件两端;悬浮元件位于永磁体阵列凹槽中心位置;驱动电极正对非磁性金属片放置,采用差动式结构,光电位移传感器设置在悬浮元件的两端;非磁性金属片受驱动电极中电压控制感应静电力,非磁性金属片的位置受合力控制发生变化,直至非磁性金属片稳定于预设位置,实现测量轴方向稳定悬浮。所述测量方法的步骤包括:开展所述加速度计的安装;开展所述加速度计的调试;开展所述加速度计的实际测试。本发明实现了微小加速度高精度测量。

    一种基于电涡流效应的抗磁悬浮气体粘度计及其测量方法

    公开(公告)号:CN114324063A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111627232.6

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于电涡流效应的抗磁悬浮气体粘度计,其特征在于,包括铝片、悬浮转子、磁极阵列、密闭容器、线圈组、线圈控制器、激光位移传感器、气压表、第一气阀、第二气阀;铝片与悬浮转子均为圆片状,两者同心地粘合在一起,磁极阵列设置在密闭容器内部底面上,悬浮转子悬浮于磁极阵列上方,线圈控制器控制线圈在铝片上方产生旋转磁场,通过激光位移传感器捕捉铝片的运动数据,通过测量铝片的转速进而得到气体的粘度值。本发明实现了气体微小粘度高精度测量功能,将电涡流效应与抗磁悬浮技术相结合,利用抗磁悬浮技术低刚度、无机械摩擦的特点,实现了低粘度气体粘度的精确测量。

    一种新型抗磁悬浮电压感应式微驱动器及其控制方法

    公开(公告)号:CN113328653B

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202110596671.9

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种新型抗磁悬浮电压感应式微驱动器,包括:自下而上依次设置的永磁体阵列、驱动系统和悬浮平台,所述永磁体阵列为包括N块长方体磁铁,N为偶数,自然吸合在一起,呈对称布置;所述驱动系统包括两相交流电、四相交流电、四相并联驱动电极、两相并联驱动电极、第一感应电极、第二感应电极。本发明的一种新型的抗磁悬浮电压感应式微驱动器实现了解决了微驱动器由于尺寸的减小而造成的摩擦力影响大的问题,并且该驱动器是在无声条件下驱动的,提高了微系统的性能和稳定性;微驱动器可编程控制,通过数字控制可进行精准控制,可靠性高。

    一种基于抗磁悬浮原理的倾角传感器及其测量方法

    公开(公告)号:CN113375637B

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202110596674.2

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于抗磁悬浮原理的倾角传感器,包括圆柱形磁极对和圆柱形悬浮棒、第一激光位移感测头、第二激光位移感测头、控制器、计算机、凹槽、平板、基座、铰链、深度千分尺,第一激光位移感测头实时测量记录圆柱形悬浮棒的轴向悬浮位置,第二激光位移感测头实时测量记录平板的上升高度,得出圆柱形悬浮棒的轴向悬浮位置随上升高度变化的实验数据,得出倾角与圆柱形悬浮棒的轴向悬浮位置之间的对应关系。本发明的一种基于抗磁悬浮原理的倾角传感器结合抗磁悬浮圆柱棒高灵敏性与光学测量技术高精密的特点,可实现微小角度的测量;提供了驼峰型磁场,当圆柱棒倾斜在一定范围内时,无需外力作用也能保持圆柱棒稳定悬浮在圆柱形磁极对上。

    一种混合式抗磁悬浮加速度传感器及其测量方法

    公开(公告)号:CN116819125A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310789617.5

    申请日:2023-06-30

    Abstract: 本发明公开了一种混合式抗磁悬浮加速度传感器及其测量方法。混合式抗磁悬浮加速度传感器是由“Opposite”排布形式的充磁磁极阵列与采用抗磁性材料制作的矩形悬浮板构成的被动稳态悬浮结构以及由感应线圈、激光位移传感器、导磁芯轴、激励线圈、控制器、功率放大器构成的主动悬浮控制结构组成;测量方法包括以下几个步骤:开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的安装;开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的调试;开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的实际测试。本发明实现了微小加速度的高精度测量,克服了现有高精度加速度传感器普遍存在的摩擦问题,在微小加速度的测量具备天然的优势。

    一种主被动悬浮式倾角传感器及其测试方法

    公开(公告)号:CN115507820A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202211159847.5

    申请日:2022-09-22

    Abstract: 本发明公开了一种主被动悬浮式倾角传感器,包括支撑架、磁极阵列、悬浮环、非磁性金属环、导磁铁芯、激励线圈、光电位移传感器、控制器、功率放大器;非磁性金属环嵌套在悬浮环的内部;磁极阵列位于悬浮环下方,实现悬浮环与非磁性金属环的悬浮;导磁铁芯穿过非磁性金属环,激励线圈采用差动式结构,光电位移传感器设置在非磁性金属环两侧,用以测量非磁性金属环的位置信号;非磁性金属环受激励线圈中控制电流的作用感应出相应的电磁力,非磁性金属环所受合力为两种作用力的差值,位置发生变化,直至非磁性金属环稳定于预设位置。本发明实现了微小倾角高精度测量功能,抗磁悬浮克服了现有高精度倾角传感器普遍存在的摩擦问题,实现大角度的测量。

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