公开(公告)号：CN103443863B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201280015247.X

申请日：2012-03-21

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： U.丁格 ,  F.比杰科克 ,  M.拜拉克塔 ,  O.迪尔

IPC: G21K1/06

CPC classification number: G21K1/062 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/0891 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/702 ,  G21K2201/067

Abstract: 一种EUV反射镜布置(100)，具有彼此并排布置并且共同形成所述反射镜布置的反射镜表面的多个反射镜元件(110、111、112)。每个反射镜元件具有基板(120)和多层布置(130)，所述多层布置被施加到所述基板上，并关于来自极紫外范围(EUV)的辐射具有反射效果，所述多层布置包括多个层对(135)，该层对具有由高折射率层材料和低折射率层材料组成的交替层。所述多层布置具有活性层(140)，该活性层布置在辐射进入表面和基板之间，并由压电活性层材料组成，可通过电场的作用来改变所述活性层的层厚度(z)；对于每个活性层，提供电极布置，用于产生作用于所述活性层的电场。

公开(公告)号：CN103443863A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201280015247.X

申请日：2012-03-21

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： U.丁格 ,  F.比杰科克 ,  M.拜拉克塔 ,  O.迪尔

IPC: G21K1/06

CPC classification number: G21K1/062 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/0891 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/702 ,  G21K2201/067

Abstract: 一种EUV反射镜布置(100)，具有彼此并排布置并且共同形成所述反射镜布置的反射镜表面的多个反射镜元件(110、111、112)。每个反射镜元件具有基板(120)和多层布置(130)，所述多层布置被施加到所述基板上，并关于来自极紫外范围(EUV)的辐射具有反射效果，所述多层布置包括多个层对(135)，该层对具有由高折射率层材料和低折射率层材料组成的交替层。所述多层布置具有活性层(140)，该活性层布置在辐射进入表面和基板之间，并由压电活性层材料组成，可通过电场的作用来改变所述活性层的层厚度(z)；对于每个活性层，提供电极布置，用于产生作用于所述活性层的电场。