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公开(公告)号：CN101268111B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200680034450.6
申请日：2006-09-21
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： C08L75/04 , C08G18/08 , C08J9/12 , B24B37/24 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/24 , C08G18/0895 , C08G18/3212 , C08G18/4238 , C08G18/4854 , C08G18/664 , C08G18/6674 , C08G2101/00 , C08J9/122 , C08J2375/04 , H01L21/31053
摘要： 本发明的课题在于提供可用作可实现被研磨面的平坦性和提高平坦化效率、且划伤发生少的研磨垫的高分子材料。本发明是通过在用50℃的水饱和溶胀后在50℃下的拉伸弹性模量为130-800MPa，50℃下的损耗角正切为0.2以下，与水的接触角为80°以下的高分子材料来解决上述课题的。
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公开(公告)号：CN101678527A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880016877.2
申请日：2008-03-19
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： B24B37/00 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/24 , B32B5/022 , B32B5/24 , B32B7/12 , B32B25/14 , B32B25/20 , B32B2260/021 , B32B2260/046 , B32B2307/54 , B32B2457/14 , C08G18/0895 , C08G18/3206 , C08G18/3212 , C08G18/4238 , C08G18/4854 , C08G18/664 , C08G18/6674 , C08G18/7671 , C08G2101/0058 , Y10T428/31551 , Y10T428/31554 , Y10T428/31598 , Y10T428/31663 , Y10T428/31931
摘要： 本发明提供可实现抛光的抛光垫和用于该抛光垫的衬垫，该抛光可实现抛光表面的优异平坦性和在抛光后的膜厚度的均匀性，和同时实现高抛光速率，且还具有抛光物体如绝缘膜或金属膜的优异抛光均匀性。所述衬垫满足以下要求：在23℃、静载荷27.6kPa、频率11Hz和振幅1μm的条件下的动态压缩粘弹性测量中，(1)动应力和变形之间的相位差不超过4度，和(2)变形的最大值与动应力的最大值的比([变形的最大值]/[动应力的最大值])不小于0.5μm/kPa。所述抛光垫包括用于抛光垫的衬垫层和抛光层。
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公开(公告)号：CN1186487C
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN01135453.4
申请日：1996-06-13
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： D01F6/70
CPC分类号： D01F6/70 , C08G18/0895 , C08G18/42 , C08G18/4238 , C08G18/664 , Y10S428/904 , Y10T428/24446 , Y10T428/31551 , Y10T442/2025 , Y10T442/2352 , Y10T442/68
摘要： 本发明涉及热塑性聚氨酯，是通过满足(1)酯基含量0.08到0.17；(2)每分子含羟基2.01到2.08；(3)数均分子量1000到7000；和(4)结晶焓为70J/g或更小要求的(a)聚酯-多元醇、(b)有机二异氰酸酯和(c)增链剂，按1.00≤b(a+c)≤1.10比反应制备的，其中a为聚酯-多元醇摩尔数，b为有机二异氰酸酯摩尔数，为c增链剂摩尔数，和制备方法；涉及含热塑性聚氨酯的模塑制品；含热塑性聚氨酯的弹性纤维及其生产方法和由热塑性聚氨酯的熔融模塑层和纤维基层构成的层状材料。
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公开(公告)号：CN1092676C
公开(公告)日：2002-10-16
申请号：CN96110418.X
申请日：1996-06-13
申请人： 可乐丽股份有限公司
CPC分类号： D01F6/70 , C08G18/0895 , C08G18/42 , C08G18/4238 , C08G18/664 , Y10S428/904 , Y10T428/24446 , Y10T428/31551 , Y10T442/2025 , Y10T442/2352 , Y10T442/68
摘要： 涉及热塑性聚氨酯，是通过满足(1)酯基含量0.08到0.17；(2)每分子含羟基2.01到2.08；(3)数均分子量1000到7000；和(4)结晶焓为70J/g或更小要求的(a)聚酯-多元醇、(b)有机二异氰酸酯和(c)增链剂，按1.00≤b(a+c)≤1.10比反应制备的，其中a为聚酯-多元醇摩尔数，b为有机二异氰酸酯摩尔数，为c增链剂摩尔数，和制备方法；涉及含热塑性聚氨酯的模塑制品；含热塑性聚氨酯的弹性纤维及其生产方法和由热塑性聚氨酯的熔融模塑层和纤维基层构成的层状材料。
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公开(公告)号：CN104471684B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201380037343.9
申请日：2013-05-27
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC分类号： H01L21/31055 , B24B37/24 , C09G1/02 , C09K3/1409 , H01L21/31053 , H01L21/762 , H01L21/76224
摘要： 本发明提供用于化学机械抛光的浆料，其包含：研磨剂颗粒(a)；具有pKa值大于9的氨基和不少于3个羟基的化合物(b)；和水。
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公开(公告)号：CN102666760B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201080051174.0
申请日：2010-11-08
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/3105
CPC分类号： H01L21/31053 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/76224
摘要： 本发明提供化学机械抛光用浆料和使用该浆料的基板的抛光方法，所述化学机械抛光用浆料包含水溶性包合化合物(a)、具有任选为盐形式的酸性基团作为侧链的高分子化合物(b)、抛光研磨粒料(c)和水(d)，其中，水溶性包合化合物(a)的含量是浆料总量的0.001质量%-3质量%，高分子化合物(b)具有1,000以上且小于1,000,000的重均分子量，并且高分子化合物(b)的含量是浆料总量的0.12质量%-3质量%。
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公开(公告)号：CN101681825A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880016787.3
申请日：2008-03-19
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： H01L21/304 , C08J5/14 , B24B37/00
CPC分类号： H01L21/3212 , B24B37/24 , C08G18/3212 , C08G18/4238 , C08G18/4833 , C08G18/4854 , C08G18/664 , C08G18/6674
摘要： 本发明提供一种抛光垫和使用该抛光垫的金属膜抛光方法，使用所述抛光垫对在半导体基本上等形成的金属膜进行抛光时，可以提高被抛光面的平坦性和平坦化效率，并且，产生的划痕少。所述金属膜抛光用垫在80℃下的储能模量为200～900MPa，且在110℃下的储能模量为40MPa以下。
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公开(公告)号：CN1350073A
公开(公告)日：2002-05-22
申请号：CN01135453.4
申请日：1996-06-13
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： D01F6/70
CPC分类号： D01F6/70 , C08G18/0895 , C08G18/42 , C08G18/4238 , C08G18/664 , Y10S428/904 , Y10T428/24446 , Y10T428/31551 , Y10T442/2025 , Y10T442/2352 , Y10T442/68
摘要： 涉及热塑性聚氨酯,是通过满足(1)酯基含量0.08到0.17;(2)每分子含羟基2.01到2.08;(3)数均分子量1000到7000;和(4)结晶焓为70J/g或更小要求的(a)聚酯－多元醇、(b)有机二异氰酸酯和(c)增链剂,按1.00≤b(a+c)≤1.10比反应制备的,其中a为聚酯－多元醇摩尔数,b为有机二异氰酸酯摩尔数,为c增链剂摩尔数,和制备方法;涉及含热塑性聚氨酯的模塑制品;含热塑性聚氨酯的弹性纤维及其生产方法和由热塑性聚氨酯的熔融模塑层和纤维基层构成的层状材料。
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公开(公告)号：CN102666760A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080051174.0
申请日：2010-11-08
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/3105
CPC分类号： H01L21/31053 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/76224
摘要： 本发明提供化学机械抛光用浆料和使用该浆料的基板的抛光方法，所述化学机械抛光用浆料包含水溶性包合化合物(a)、具有任选为盐形式的酸性基团作为侧链的高分子化合物(b)、抛光研磨粒料(c)和水(d)，其中，水溶性包合化合物(a)的含量是浆料总量的0.001质量%-3质量%，高分子化合物(b)具有1,000以上且小于1,000,000的重均分子量，并且高分子化合物(b)的含量是浆料总量的0.12质量%-3质量%。
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公开(公告)号：CN101268111A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200680034450.6
申请日：2006-09-21
申请人： 可乐丽股份有限公司
IPC分类号： C08G18/00 , B24B37/00 , C08J9/12 , C08L75/00 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/24 , C08G18/0895 , C08G18/3212 , C08G18/4238 , C08G18/4854 , C08G18/664 , C08G18/6674 , C08G2101/00 , C08J9/122 , C08J2375/04 , H01L21/31053
摘要： 本发明的课题在于提供可用作可实现被研磨面的平坦性和提高平坦化效率、且划伤发生少的研磨垫的高分子材料。本发明是通过在用50℃的水饱和溶胀后在50℃下的拉伸弹性模量为130－800MPa，50℃下的损耗角正切为0.2以下，与水的接触角为80°以下的高分子材料来解决上述课题的。
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