一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2-Ti复合涂层的装置和方法

    公开(公告)号:CN115287612B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202210706659.3

    申请日:2022-06-21

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/06 C23C14/54

    摘要: 本发明公开了一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2‑Ti复合涂层的装置和方法,该装置包括真空腔体、样品转架、主脉冲电源、从脉冲电源、WS2靶材、Ti靶材和时序控制器,样品转架设置于真空腔体内,WS2靶材和Ti靶材分别固定于真空腔体,WS2靶材和Ti靶材呈八字分布,WS2靶材和Ti靶材分别正对样品转架;主脉冲电源与Ti靶材电连接,从脉冲电源与WS2靶材电连接,时序控制器分别与主脉冲电源和从脉冲电源电连接,时序控制器控制主脉冲电源和从脉冲电源的脉冲时序。该装置可控制两套HiPIMS脉冲电源的脉冲时序,可以有效避免脉冲放电重叠,实现双靶稳定工作,利用该装置制备WS2‑Ti复合涂层,可以改善其耐摩擦磨损性能。

    一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2-Ti复合涂层的装置和方法

    公开(公告)号:CN115287612A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202210706659.3

    申请日:2022-06-21

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/06 C23C14/54

    摘要: 本发明公开了一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2‑Ti复合涂层的装置和方法,该装置包括真空腔体、样品转架、主脉冲电源、从脉冲电源、WS2靶材、Ti靶材和时序控制器,样品转架设置于真空腔体内,WS2靶材和Ti靶材分别固定于真空腔体,WS2靶材和Ti靶材呈八字分布,WS2靶材和Ti靶材分别正对样品转架;主脉冲电源与Ti靶材电连接,从脉冲电源与WS2靶材电连接,时序控制器分别与主脉冲电源和从脉冲电源电连接,时序控制器控制主脉冲电源和从脉冲电源的脉冲时序。该装置可控制两套HiPIMS脉冲电源的脉冲时序,可以有效避免脉冲放电重叠,实现双靶稳定工作,利用该装置制备WS2‑Ti复合涂层,可以改善其耐摩擦磨损性能。

    一种铝合金强制定型装置及铝合金热处理方法

    公开(公告)号:CN117139588A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202311088680.2

    申请日:2023-08-28

    申请人: 台州学院

    摘要: 本发明公开了铝合金加工技术领域的一种铝合金强制定型装置及铝合金热处理方法,包括壳体,壳体内从左到右依次设有压铸室、中转腔室、缓冲腔室和回收腔室;压铸室、中转腔室、缓冲腔室和回收腔室两两之间均分割有开闭机构;压铸室内设有用于在真空环境下对铝合金原材料进行压铸成型的压铸机本体,压铸室分别连通有储气罐和真空泵;中转腔室、缓冲腔室和回收腔室内均贯穿有传送带;缓冲腔室内壁上设有若干用于降低缓冲腔室环境温度的冷凝管;真空泵通过管道与中转腔室和回收腔室连通;通过真空压铸的方式对铝合金进行定型,并将定型后的铝合金进行退火处理,使金属内部组织达到或接近平衡状态,从而使定型后的铝合金不易发生变形,提高工作效率。