公开(公告)号：CN110387574A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201910281649.8

申请日：2019-04-09

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄永昌 ,  陈宥辅 ,  蔡育奇 ,  张筑婷

IPC: C25D21/14 ,  C25D7/12

Abstract: 一种电解液中化学浓度的控制方法及半导体设备。控制电解液中化学浓度的方法包括量测电解液中的化学浓度，其中此电解液容置在槽中；及当量测到的化学浓度低于控制下限值时，增大通过连接至槽的排气管的蒸汽通量。

公开(公告)号：CN110387574B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201910281649.8

申请日：2019-04-09

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄永昌 ,  陈宥辅 ,  蔡育奇 ,  张筑婷

IPC: C25D21/14 ,  C25D7/12

Abstract: 一种电解液中化学浓度的控制方法及半导体设备。控制电解液中化学浓度的方法包括量测电解液中的化学浓度，其中此电解液容置在槽中；及当量测到的化学浓度低于控制下限值时，增大通过连接至槽的排气管的蒸汽通量。