公开(公告)号：CN110658691A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201910537974.6

申请日：2019-06-20

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 蔡明训 ,  李秉承 ,  陈彦勳

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种耦合到用于处理极紫外辐射的腔室的装置，即极紫外辐射光源装置，其包括配置以将来自腔室的排气引导到燃烧区域中的气体入口。燃烧区域被配置以无焰地点燃排气。空气入口被配置以将空气和燃料的混合物引导到燃烧区域中。控制阀被配置以改变从燃烧区域排出的流体体积。控制器被配置以控制控制阀以防止燃烧区域内的压力超过预设压力值。

公开(公告)号：CN110658691B

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN201910537974.6

申请日：2019-06-20

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 蔡明训 ,  李秉承 ,  陈彦勳

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种耦合到用于处理极紫外辐射的腔室的装置，即极紫外辐射光源装置，其包括配置以将来自腔室的排气引导到燃烧区域中的气体入口。燃烧区域被配置以无焰地点燃排气。空气入口被配置以将空气和燃料的混合物引导到燃烧区域中。控制阀被配置以改变从燃烧区域排出的流体体积。控制器被配置以控制控制阀以防止燃烧区域内的压力超过预设压力值。