公开(公告)号：CN110653221B

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN201910560150.0

申请日：2019-06-26

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈彦勳 ,  蔡明训 ,  王绍华 ,  张汉龙 ,  陈立锐 ,  陈家桢

IPC: B08B7/00 ,  B08B13/00

Abstract: 一种清洗极紫外(EUV)辐射源设备的方法，其中EUV辐射源设备包括用于在腔室内生成金属靶液滴的靶液滴产生器，以及干冰喷射组件。干冰喷射组件具有设置在腔室内部的喷射喷嘴及干冰支承构件。清洗方法包括以下步骤：形成包括来自干冰喷射组件的干冰支承构件的干冰颗粒及加压气流的加压干冰颗粒，接着，将加压干冰颗粒经由喷射喷嘴朝向靶液滴产生器的喷嘴处的残余材料喷出。从靶液滴产生器去除残余材料，以及收集残余材料及来自加压干冰颗粒的升华气态二氧化碳。

公开(公告)号：CN113759669A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202110789100.7

申请日：2021-07-13

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 吴政轩 ,  蔡明训 ,  简上傑 ,  陈立锐 ,  刘恒信

IPC: G03F7/20

Abstract: 本揭露描述了一种颗粒去除装置，以及使用这种装置的方法。该装置包括具有主体的手持模块。主体中形成有一或多个第一通道及一或多个第二通道。主体包括喷嘴，并且手持模块用以通过喷嘴提供抽吸并通过喷嘴注入电离液流。主体进一步包括附接至喷嘴的手柄。

公开(公告)号：CN110658691B

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN201910537974.6

申请日：2019-06-20

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 蔡明训 ,  李秉承 ,  陈彦勳

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种耦合到用于处理极紫外辐射的腔室的装置，即极紫外辐射光源装置，其包括配置以将来自腔室的排气引导到燃烧区域中的气体入口。燃烧区域被配置以无焰地点燃排气。空气入口被配置以将空气和燃料的混合物引导到燃烧区域中。控制阀被配置以改变从燃烧区域排出的流体体积。控制器被配置以控制控制阀以防止燃烧区域内的压力超过预设压力值。

公开(公告)号：CN113759673B

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202111049711.4

申请日：2021-09-08

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 蔡明训 ,  罗煜发 ,  简上傑

IPC: G03F7/20

Abstract: 极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法在此叙述。组件包括环体结构。环体结构包括外环体及于外环体径向之内的内环体。组件还包括真空接口，其用以连接且接触内环体，其中内环体具有开口，开口的大小可调整使一个装置可穿过并进入真空接口。

公开(公告)号：CN115007087A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202210387368.2

申请日：2022-04-13

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖政豪 ,  蔡明训 ,  陈鑫封 ,  程薇心 ,  孙于洸 ,  吴政轩 ,  罗煜发 ,  塗时雨 ,  吕柔萱 ,  简上傑 ,  陈立锐 ,  刘恒信

IPC: B01J19/12 ,  B01J19/00 ,  B01J4/00

Abstract: 一种在极紫外微影系统中处理燃料、移除杂质及净化燃料的方法，自容纳液化固体燃料的容器移除在极紫外微影系统的液滴产生器中利用的液化固体燃料中的杂质。移除杂质增加液滴形成的稳定性及可预测性，这对晶圆良率及液滴产生器寿命产生积极影响。

公开(公告)号：CN114967355A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202110624149.7

申请日：2021-06-04

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈宇桓 ,  吴政轩 ,  蔡明训 ,  简上傑 ,  陈立锐

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种微影装置及用于微影装置的液滴产生器的保养方法，微影装置包含液滴产生器、液滴产生器维护系统、以及与液滴产生器维护系统连通的控制器。液滴产生器维护系统与液滴产生器、冷却剂配送单元、气体供应单元、以及支撑构件可操作地连通。气体供应单元包含热交换组件与空气加热组件。冷却剂配送单元配置以将液滴产生器的温度控制在可接受的液滴产生器范围内。

公开(公告)号：CN114924465A

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202210010143.5

申请日：2022-01-06

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 孙于洸 ,  蔡明训 ,  程薇心 ,  赖政豪 ,  陈鑫封 ,  郑乔华 ,  吴政轩 ,  罗煜发 ,  吕柔萱 ,  简上傑 ,  陈立锐 ,  刘恒信

IPC: G03F7/20

Abstract: 本揭露关于模块化容器液滴产生器组件及其部件替换方法，包括液滴产生器组件(DGA)的模块化容器液滴产生器组件(MVDGA)。在正常运作下，液体燃料沿着延伸通过DGA的运作路径移动以将液体燃料(例如，液态锡)从DGA的喷嘴喷射或排放到真空室中。然后将真空室中的液体燃料暴露于产生极紫外(EUV)光的激光中。在维修运作下，关闭运作路径并开启延伸通过DGA的维修路径。气体被引入维修路径，以在气体与液体燃料之间形成气液界面。气液界面被驱动到与DGA直接相邻的隔离阀。换句话说，气体将液体燃料推回隔离阀。一旦气液界面到达隔离阀，隔离阀就会关闭，以隔离DGA与液体燃料。

公开(公告)号：CN113759669B

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202110789100.7

申请日：2021-07-13

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 吴政轩 ,  蔡明训 ,  简上傑 ,  陈立锐 ,  刘恒信

IPC: G03F7/20

Abstract: 本揭露描述了一种颗粒去除装置，以及使用这种装置的方法。该装置包括具有主体的手持模块。主体中形成有一或多个第一通道及一或多个第二通道。主体包括喷嘴，并且手持模块用以通过喷嘴提供抽吸并通过喷嘴注入电离液流。主体进一步包括附接至喷嘴的手柄。

公开(公告)号：CN115524934A

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202210399898.9

申请日：2022-04-15

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 孙于洸 ,  蔡明训 ,  陈宇桓 ,  程薇心 ,  赖政豪 ,  陈鑫封 ,  郑乔华 ,  吴政轩 ,  罗煜发 ,  简上傑 ,  陈立锐 ,  刘恒信

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种操作极紫外光微影系统的方法，微影系统利用锡滴产生用于微影的极紫外辐射。微影系统用激光照射液滴。液滴经激励且发出极紫外辐射。收集器将极紫外辐射反射至微影靶。微影系统将液滴源与氧化剂隔离以防止喷嘴氧化或在喷嘴上形成金属氧化物，这两者皆会不利地影响喷嘴产生足够量的液滴及/或将液滴引导至所需方向的能力。

公开(公告)号：CN114815513A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210054147.3

申请日：2022-01-18

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 郑乔华 ,  陈鑫封 ,  罗煜发 ,  孙于洸 ,  程薇心 ,  陈宇桓 ,  蔡明训 ,  赖政豪 ,  吴政轩 ,  简上傑 ,  刘恒信 ,  陈立锐 ,  余昇刚

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

Abstract: 提供了一种辐射源设备及其使用方法。方法包括：将第一液滴产生器组装到容器的接口上；将靶液滴从第一液滴产生器喷射到在收集器前方的激发区域；朝向激发区域发射激光，使得靶液滴由激光加热以产生极紫外(EUV)辐射；停止喷射靶液滴；在停止喷射靶液滴之后，从容器的接口拆卸第一液滴产生器；在从容器的接口拆卸第一液滴产生器之后，将清洗装置穿过接口插入容器中；以及通过使用清洗装置来清洗收集器。