公开(公告)号：CN115657762A

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202211335236.1

申请日：2022-10-28

申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司

发明人： 韦巍

IPC分类号： G05D23/30

摘要： 本发明公开了一种温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备，所述温度调节系统包括：空调装置，空调装置安装于机体上，空调装置包括壳体以及设置于壳体内的压缩机，壳体上具有出风口和回风口，空调装置用于驱动空气从出风口经曝光模块后移动至回风口，以调节曝光模块的工作环境温度；第一温度采集装置，用于采集回风口的回风温度；加热装置，加热装置安装于空调装置内；控制装置，控制装置与空调装置、第一温度采集装置、加热装置连接，获取回风温度和压缩机的当前转速值，并根据回风温度和当前转速值控制加热装置的工作状态。采用该温度调节系统可以使直写式曝光设备内部的温度保持稳定，从而解决了温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题。

公开(公告)号：CN116989666A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202310953839.6

申请日：2023-07-28

申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司

发明人： 卞洪飞 ,  蔡健 ,  吴春晓 ,  蔡潍 ,  汪涛 ,  李智 ,  韦巍

IPC分类号： G01B9/02055 ,  G01B9/02056 ,  G01B9/02061

摘要： 本发明公开了一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法，包括：工件台组件、干涉仪组件和控制器，执行以下步骤：控制工件台组件和设于工件台组件上的测距仪调整工件台吸盘的旋转角及平面度；将标定板放置在工件台吸盘上，且根据光栅尺坐标与标定板坐标差补偿工件台组件的机械误差；根据光栅尺反馈控制工件台纵轴和横轴的移动，以对激光干涉仪组件光路准直；根据光栅尺的反馈控制工件台纵轴和横轴移动，通过干涉仪检测干涉仪组件的平面反射镜在工件台组件的安装状态，并调整平面镜的俯仰和偏摆角度；控制工件台光栅尺原点与干涉仪原点一致；将工件台位置反馈由光栅尺反馈切换为干涉仪，通过标定板补偿干涉仪组件的安装残余误差。