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公开(公告)号：CN117293004A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311252425.7
申请日：2023-09-26
申请人： 同济大学
IPC分类号： H01J37/302
摘要： 本发明涉及一种基于椭圆束斑离子束的X射线反射镜二维修形方法，该包括以下步骤：获取待修形元件表面的待去除量；使用一级修正的大束径圆形束斑对待修形元件表面进行一级修正；若不满足一级修正的目标精度，则返回上一步骤；若满足，则进行下一步骤；确定二级修正的椭圆离子束束斑、二级修正的修正线的数量与间距；根据所述设备与椭圆离子束束斑设计掩膜板与待修形元件的空间位置；使用椭圆离子束束斑对待修形元件表面进行二级修正；若不满足加工精度要求，则重复此次步骤进行迭代二级修正加工；若满足加工精度要求，则加工完成。与现有技术相比，本发明具有较快的修正速度，使用了较少的刻蚀的线条数，同时具有较高的加工精度要求等优点。
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公开(公告)号：CN116858867A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310823690.X
申请日：2023-07-06
申请人： 同济大学
IPC分类号： G01N23/202 , G02B27/00 , G01N23/20008
摘要： 本发明公开了一种基于中子超镜的嵌套式全环形准椭球聚焦系统及设计方法，包括：物面光源、设置于物面光源一侧的聚焦镜、设置于聚焦镜一侧的样品光阑、设置于样品光阑中的样品及设置于样品光阑一侧的像面探测器；聚焦镜包括芯轴及均匀固定于芯轴外表面一圈的多个镜面组件，每个镜面组件之间间隔设置；聚焦镜靠近物面光源的一侧面上设置有碳化硼遮光板，该聚焦镜通过碳化硼遮光板提高系统信噪比。根据本发明，同时实现高增益和高分辨率，所设计的新型聚焦系统可以满足小型加速器中子源的小角中子散射谱仪应用需求。
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公开(公告)号：CN112179622B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202010945043.2
申请日：2020-09-10
申请人： 同济大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明涉及一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法，包括：将基板交替运动到镀制多层膜的两种靶材的溅射区域，进行第一周期多层膜的镀制；使基板远离溅射区域，继续靶材的溅射，模拟目标周期多层膜的镀制过程；将镀制有第一周期多层膜的基板再次交替运动到溅射区域，进行第二周期多层膜的镀制，形成标定样品；在固定X射线能量下对镀制好的标定样品进行X射线掠入射反射测试，得到测试反射率曲线，基于测试反射率曲线与模拟反射率曲线的比较，获得起始至结束的多层膜漂移误差；其中，第一周期多层膜和第二周期多层膜的膜对数为目标周期多层膜膜对数的1/10～1/5。与现有技术相比，本发明具有精度高、受仪器条件影响小等优点。
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公开(公告)号：CN112179622A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010945043.2
申请日：2020-09-10
申请人： 同济大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明涉及一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法，包括：将基板交替运动到镀制多层膜的两种靶材的溅射区域，进行第一周期多层膜的镀制；使基板远离溅射区域，继续靶材的溅射，模拟目标周期多层膜的镀制过程；将镀制有第一周期多层膜的基板再次交替运动到溅射区域，进行第二周期多层膜的镀制，形成标定样品；在固定X射线能量下对镀制好的标定样品进行X射线掠入射反射测试，得到测试反射率曲线，基于测试反射率曲线与模拟反射率曲线的比较，获得起始至结束的多层膜漂移误差；其中，第一周期多层膜和第二周期多层膜的膜对数为目标周期多层膜膜对数的1/10～1/5。与现有技术相比，本发明具有精度高、受仪器条件影响小等优点。
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公开(公告)号：CN112159962A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010945223.0
申请日：2020-09-10
申请人： 同济大学
摘要： 本发明涉及一种抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用，所述方法包括以下步骤：在基底上镀制极紫外多层膜；保持极紫外多层膜的真空环境不变，进行镁靶材和铝靶材的预溅射；将镀制有所述极紫外多层膜的基底重复交替运动到镁靶材和铝靶材的溅射区域，控制运动参数，完成镁膜层和铝膜层交替生长的铝/镁多层膜结构的镀制，形成铝镁混合保护层，所述铝/镁多层膜结构中，每层镁膜的厚度为1‑3纳米，每层铝膜的厚度为1‑3纳米；将镀制完成的基底取出真空腔，放置于大气环境中自发融合。与现有技术相比，本发明制备效率高，能大幅提高表面保护层的制作速度，保证极紫外多层膜的稳定性。
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公开(公告)号：CN105884186B
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201610245434.7
申请日：2016-04-20
申请人： 同济大学
IPC分类号： C03B33/09
摘要： 本发明涉及一种玻璃镜片的无微裂纹热阻丝切割加工方法，涉及裂纹扩展机理、裂纹扩展控制方法和裂纹扩展加工工艺等技术领域。由传统的玻璃切割方法加工而成的玻璃断面存在细小微裂纹，当玻璃镜片在特殊的大加速度环境中（如玻璃镜片由地球送往太空），细小微裂纹在巨大压力作用下迅速延展扩大，导致镜片完全破碎。因此发明了一种无微裂纹的玻璃镜片切割方法，将发热的热阻丝固定于三轴平动平移台上，需要加工的玻璃镜片固定于平台上，同时使热阻丝与玻璃保持一定距离，使玻璃内部产生稳定变化的热应力，达到切割玻璃镜片的目的，利用运动控制卡来调整加工参数进行玻璃镜片的热阻丝切割，可以得到裂纹直线度高、方向性好且断面无微裂纹的玻璃镜片。
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公开(公告)号：CN108359950A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810167868.9
申请日：2018-02-28
申请人： 同济大学
摘要： 本发明涉及一种单色器用钌/碳化硼多层膜反射镜制备方法，包括以下步骤：在溅射镀膜腔内的样品架上放置基底，并对溅射镀膜腔进行抽真空，形成溅射镀膜真空腔；在所述溅射镀膜真空腔充入混合气体，所述混合气体由氩气和氮气混合而成，且混合气体的混合比例范围为16％-30％，所述混合比例指氮气分压占混合气体总压强的百分比；执行钌靶材和碳化硼靶材的预溅射；完成钌膜层和碳化硼膜层交替的钌/碳化硼多层膜反射镜的镀制。与现有技术相比，本发明制备的钌/碳化硼多层膜应力大幅度降低，且不会降低反射率。该方法工艺重复性高，可控性强，在高通量多层膜单色器元件和相应的X射线光学仪器领域有重要应用。
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公开(公告)号：CN107843212A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201711058700.6
申请日：2017-11-01
申请人： 同济大学
IPC分类号： G01B11/255
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B11/255
摘要： 本发明涉及一种结合轮廓仪和干涉仪检测轮胎镜曲率半径的方法，针对轮胎镜面的特点，采用干涉法检测轮胎镜面的小曲率半径和大曲率半径，包括：小曲率半径检测步骤，通过光学轮廓仪获取轮胎镜的实测表面形貌，提取沿小曲率半径方向的轮廓数据点，拟合获得小曲率半径；大曲率半径检测步骤，通过平面干涉仪检测获得轮胎镜的面形轮廓数据，沿大曲率半径方向提取干涉仪检测数据点，拟合获得大曲率半径。与现有技术相比，本发明具有非接触、高精度等优点。
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公开(公告)号：CN107142456A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710247265.5
申请日：2017-04-17
申请人： 同济大学
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/505
摘要： 本发明涉及一种双功能柱对称大尺寸高均匀性线型磁控靶镀膜设备。该设备在圆形真空腔中心安放用于夹持凸形柱面镜的转动轴，在外围安装用于安放凹形柱面镜的转动圆环，在转动圆环和转动轴之间安放竖直摆放的线型磁控溅射靶枪，靶枪前安放有可以旋转的气动挡板。通过改变靶枪朝向和调整靶枪在真空腔内的径向位置，可使靶枪分别指向转动圆环和转动轴，并对安装在转动圆环上的凹形柱面镜或者是安装在转动轴上的凸形柱面镜进行镀制。通过改变靶枪前的气动挡板的开关以及转动圆环和转动轴的转动速率完成对薄膜制备工艺的控制。
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公开(公告)号：CN105884186A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610245434.7
申请日：2016-04-20
申请人： 同济大学
IPC分类号： C03B33/09
CPC分类号： C03B33/09
摘要： 本发明涉及一种玻璃镜片的无微裂纹热阻丝切割加工方法，涉及裂纹扩展机理、裂纹扩展控制方法和裂纹扩展加工工艺等技术领域。由传统的玻璃切割方法加工而成的玻璃断面存在细小微裂纹，当玻璃镜片在特殊的大加速度环境中（如玻璃镜片由地球送往太空），细小微裂纹在巨大压力作用下迅速延展扩大，导致镜片完全破碎。因此发明了一种无微裂纹的玻璃镜片切割方法，将发热的热阻丝固定于三轴平动平移台上，需要加工的玻璃镜片固定于平台上，同时使热阻丝与玻璃保持一定距离，使玻璃内部产生稳定变化的热应力，达到切割玻璃镜片的目的，利用运动控制卡来调整加工参数进行玻璃镜片的热阻丝切割，可以得到裂纹直线度高、方向性好且断面无微裂纹的玻璃镜片。
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