公开(公告)号：CN105186959A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510527408.9

申请日：2015-08-25

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  赵为志 ,  宋法质 ,  董岳 ,  刘杨 ,  王一光

IPC分类号： H02P23/00

摘要： 一种伺服系统滑模控制器参数整定方法。本发明属于运动控制领域。它的方法步骤一：根据伺服系统的机械和电气结构建立伺服系统传递函数模型，获取模型中所需的参数；二：搭建相应的系统simulink仿真模型，留出粒子群优化算法所需的输入和输出接口；三：根据位置跟踪误差和速度跟踪误差需求；四：在matlab中编程对粒子群进行优化；五：将位置矢量对应的c,k和ε传入simulink仿真模型得到系统的位置误差和速度误差响应；六：对每个粒子的速度和位置进行更新；七：当k达到设定的最大迭代次数后，结束迭代过程，输出优化结果，否则返回步骤五；八：将全局最优位置矢量代入伺服系统滑模控制器。本发明能实现抖振的幅值最小或者抖振完全消除，跟踪误差达到最小。

公开(公告)号：CN105119907A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510433632.1

申请日：2015-07-22

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  宋跃 ,  王一光 ,  张常江 ,  何良辰 ,  刘洋 ,  万勇利 ,  赵为志 ,  陈震宇 ,  韩记晓

IPC分类号： H04L29/06

CPC分类号： H04L69/02

摘要： 一种基于FPGA的BiSS-C通信协议方法，本发明属于传感器与控制卡之间传输通信的技术领域。它的方法步骤一：FPGA模块的时钟信号MA通过RS422接口发送到外部光栅式传感器的时钟输入端；步骤二：时钟信号MA的上升沿触发外部光栅式传感器的数据信号发送；步骤三：FPGA模块判断每一帧数据信号的Start位是否为高电平和“0”位是否为低电平，如果不是，则继续等待下一帧数据，如果是，则每一个时钟MA的上升沿串口接收一位数据；步骤四：将完整的一帧数据存储到FPGA模块的双口RAM储存器内；步骤五：双口RAM储存器内的数据实时的传送到DSP模块内。本发明属于硬件解码，FPGA解码能实现数据通信和寄存器两种功能，既能完成通信，又能存储数据，存储的数据用于其他程序的处理。

公开(公告)号：CN105068386A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510561426.9

申请日：2015-09-07

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  宋法质 ,  王一光 ,  万勇利 ,  张常江 ,  董岳 ,  刘洋 ,  何良辰 ,  赵为志 ,  韩记晓

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。

公开(公告)号：CN104950768A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510353871.6

申请日：2015-06-24

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  张常江 ,  宋法质 ,  崔莹 ,  韩记晓 ,  宋跃 ,  刘洋 ,  万勇利 ,  何良辰 ,  赵为志

IPC分类号： G05B19/042

CPC分类号： G05B19/042

摘要： 基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法，属于高精度运动控制领域的多板卡之间控制和通信领域，本发明为解决现有多块不同类型板卡与工控机之间实时同步性能差，以及多块板卡之间数据无法交互的问题。本发明应用VME总线模块，将主控CPU板作为VME总线的主设备，其他板卡作为从设备，主设备可通过驱动地址线来选择不同的从设备进行数据交互，然后将工控机通过网口与主控制卡连接，从而实现工控机实时的对各个板卡进行指令传送和数据监控。不同板卡之间的通信则是以主控制卡作为桥梁进行，主控CPU板首先驱动地址线选中需要发送数据的板卡，并将数据读取出来，然后再将此数据发送到另一块需要接收此数据的板卡中。

公开(公告)号：CN105160069B

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201510474812.4

申请日：2015-08-05

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 刘杨 ,  宋法质 ,  董岳 ,  赵为志 ,  陈兴林 ,  王一光

IPC分类号： G06F17/50

摘要： 一种基于改进的紧凑式教学优化算法的机械参数软测量方法，涉及制造领域的机械安装参数软测量。为了解决系统零件安装完成后用传统的传感器和测量方法常常难于测量其安装机械参数的问题。所述方法包括：建立待测系统模型，确定需测量的机械参数；测量系统模型中可以直接测得的参数，代入系统模型中，建立模型方程；建立优化算法目标函数；测量待测系统的n组输入和对应的n组输出，代入目标函数；采用改进的紧凑式教学优化算法迭代过程；将获得的结果对应到需测量的机械参数。本发明用于机械系统中测量机械参数。

公开(公告)号：CN104914682A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510353872.0

申请日：2015-06-24

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  韩记晓 ,  宋法质 ,  万勇利 ,  张常江 ,  刘洋 ,  赵为志 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  陈震宇

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。

公开(公告)号：CN105116843B

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201510405398.1

申请日：2015-07-11

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC分类号： G05B19/414

摘要： 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。

公开(公告)号：CN105160069A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201510474812.4

申请日：2015-08-05

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  赵为志 ,  董岳 ,  刘杨 ,  宋法质 ,  王一光

IPC分类号： G06F17/50

摘要： 一种基于改进的紧凑式教学优化算法的机械参数软测量方法，涉及制造领域的机械安装参数软测量。为了解决系统零件安装完成后用传统的传感器和测量方法常常难于测量其安装机械参数的问题。所述方法包括：建立待测系统模型，确定需测量的机械参数；测量系统模型中可以直接测得的参数，代入系统模型中，建立模型方程；建立优化算法目标函数；测量待测系统的n组输入和对应的n组输出，代入目标函数；采用改进的紧凑式教学优化算法迭代过程；将获得的结果对应到需测量的机械参数。本发明用于机械系统中测量机械参数。

公开(公告)号：CN105137855A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510454666.9

申请日：2015-07-29

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  刘洋 ,  宋法质 ,  王一光 ,  陈震宇 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  张常江 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC分类号： G05B19/042

CPC分类号： G05B19/0421 ,  G05B2219/1208

摘要： 多板卡同步读取电容传感器的实现方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致微动台控制精度差的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一：当运动控制卡接收到同步触发信号的上升沿时，三个电容传感器给板卡发送当前测量的数据，经过串口电平转换电路到达FPGA模块引脚上，存储在双口RAM里，并且在接收数据完成后输出接收完成信号；步骤二：产生的接收完成信号触发DSP模块外部中断，在DSP模块中断程序中会将存储在双口RAM里的数据读取到DSP模块中，完成同步读取多路电容传感器信号的过程。

公开(公告)号：CN104935218B

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201510405399.6

申请日：2015-07-11

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC分类号： H02P5/56

摘要： 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。