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公开(公告)号：CN118960620B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411284588.8
申请日：2024-09-13
IPC: G01B11/26
Abstract: 一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法，属于多自由度测量技术领域。为解决多自由度测量系统中折叠光路的角度精确解耦，本发明根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度得到光斑位置传感器的法向量；令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度求得有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标；利用变换矩阵将有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标变换至XOY平面上，得到变换后的交点坐标；利用一个绕Z轴角度为失配角θzd‑z的旋转矩阵，对变换后的交点坐标进行变换使得再次变换的交点坐标的X分量或Y分量为0；利用角度θzd‑z和旋转矩阵构建角度解耦公式，对折叠光路造成的角度耦合误差进行修正。
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公开(公告)号：CN118999408B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202411084513.5
申请日：2024-08-08
IPC: G01B11/26 , G01B9/02001 , G01B9/02018
Abstract: 一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置及测量方法，属于精密测量技术领域，意在解决差分波前传感技术的角度测量精度与角度测量线性范围制约的问题，本发明包括双频激光发生模块、参考光准直器、参考光电探测器、参考反射镜、一号、二号、三号非偏振分光棱镜、测量反射镜、一号、二号四象限探测器、虹膜光阑、测量光准直器。本发明利用二号四象限探测器根据差分功率传感原理实时获得各象限光强度数据，计算待测角度粗测值；根据粗测值调节虹膜光阑至对应通光孔径，实现波前差分传感测量线性范围及测量灵敏度动态在线调整；最后根据差分波前传感原理计算待测角度精测值，实现粗精二次测量，在保证角度测量精度的同时提升了角度测量范围。
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公开(公告)号：CN118960620A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411284588.8
申请日：2024-09-13
IPC: G01B11/26
Abstract: 一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法，属于多自由度测量技术领域。为解决多自由度测量系统中折叠光路的角度精确解耦，本发明根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度得到光斑位置传感器的法向量；令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度求得有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标；利用变换矩阵将有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标变换至XOY平面上，得到变换后的交点坐标；利用一个绕Z轴角度为失配角θzd‑z的旋转矩阵，对变换后的交点坐标进行变换使得再次变换的交点坐标的X分量或Y分量为0；利用角度θzd‑z和旋转矩阵构建角度解耦公式，对折叠光路造成的角度耦合误差进行修正。
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公开(公告)号：CN118999365B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202411099478.4
申请日：2024-08-12
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015
Abstract: 一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。
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公开(公告)号：CN118999408A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411084513.5
申请日：2024-08-08
IPC: G01B11/26 , G01B9/02001 , G01B9/02018
Abstract: 一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置及测量方法，属于精密测量技术领域，意在解决差分波前传感技术的角度测量精度与角度测量线性范围制约的问题，本发明包括双频激光发生模块、参考光准直器、参考光电探测器、参考反射镜、一号、二号、三号非偏振分光棱镜、测量反射镜、一号、二号四象限探测器、虹膜光阑、测量光准直器。本发明利用二号四象限探测器根据差分功率传感原理实时获得各象限光强度数据，计算待测角度粗测值；根据粗测值调节虹膜光阑至对应通光孔径，实现波前差分传感测量线性范围及测量灵敏度动态在线调整；最后根据差分波前传感原理计算待测角度精测值，实现粗精二次测量，在保证角度测量精度的同时提升了角度测量范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118999365A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411099478.4
申请日：2024-08-12
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015
Abstract: 一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。
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公开(公告)号：CN118937828A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410990148.8
申请日：2024-07-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种多通道互谱双向电阻低频噪声测试电路及方法，属于航空航天技术领域，本发明为解决现有技术中电阻低频噪声无法达到0.1mHz以及测量稳定性差的问题。本发明方案：主控芯片发出指令给继电器，进而控制低噪声电压基准源给惠斯通电桥切换加载正向/反向电压，惠斯通电桥的差分电压输出端同时与电阻噪声双通道互谱采集电路的两个输入端相连；CH1区域GND和CH2区域GND分别接入本底噪声双通道互谱采集电路的两个输入端；电阻噪声双通道互谱采集电路的两个输出端、本底噪声双通道互谱采集电路的两个输出端分别与ADC信号采集电路的四个输入端相连，ADC信号采集电路的输出端与主控芯片的输入端相连，主控芯片通过互谱算法获取被测电阻的噪声谱密度。
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公开(公告)号：CN117553676A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311538447.X
申请日：2023-11-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02015 , G01B11/02
Abstract: 基于多目标对向位移测量的外差干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪不满足对向目标间相对位移测量需求的问题。技术要点：激光光源的输出光路上左右依次并列设置有第一分束器与第二分束器，第一分束器与第二分束器均为偏振分束器；第一分束器的上方设置有第一反射器，第二分束器的右侧设置有第三反射器，第二分束器的前方设置有第二平面反射器，第二分束器的后方设置有第一平面反射器；第一平面反射器和第二平面反射器共同构成第二反射器组；第一分束器的左侧设置有第一光电探测器和第二光电探测器。本发明实现了对向物体间相对位移的测量。
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公开(公告)号：CN116878394A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310968540.8
申请日：2023-08-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明属于激光测量领域，本发明公开了一种微探头偏振光相位调制的干涉位移测量系统及方法，利用相位调制器对半导体激光器输出的正交偏振光分量进行正弦相位调制，通过偏振分光棱镜分成参考光和测量光，两束光分别由微探头内置反射面和被测目标镜反射回环形器，在与环形器连接的光纤偏振元件上进行干涉，干涉光信号由光电探测器接收并解调处理，解算得到被测目标镜的位移量。本发明采用相位调制器对参考光和测量光进行相位调制实现微探头干涉位移测量，解决了现有微探头相位调制干涉仪中采用光源频率内调制引入的伴随光强调制误差和位移量程受调制深度限制的问题，同时降低了光源稳频的难度，实现了微探头大量程、高精度干涉位移测量。
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公开(公告)号：CN113759383B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202111009520.5
申请日：2021-08-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种基于单光源多频混合外差式激光跟踪仪系统，本发明提出的激光跟踪系统通过对双纵模激光器进行多声光移频以获得多频率激光，利用光源的双纵模间隔构建绝对测距精测尺，多声光移频器的移频差构建绝对测距粗测尺及实现双频光干涉相对位移测量，并依靠多反射镜反射与偏振棱镜分光合光实现多波长绝对距离、相对位移及PSD位置的同步测量，改进现有激光跟踪仪采用多光源导致测量基准不同，难以溯源的问题。
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