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公开(公告)号：CN113295905B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202110470040.2
申请日：2021-04-28
申请人： 哈尔滨工业大学 , 苏州电器科学研究院股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于手性光纤耦合器的光纤电流互感装置、光纤电流互感系统及其测量方法。SLD光源(1)与光电探测器(2)均链接2×2单模光纤耦合器(3)，2×2单模光纤耦合器(3)通过起偏器(4)与直波导相位调制器(5)相连接，光电探测器(2)与电路信号处理模块(9)相连接，电路信号处理模块(9)分别与电流输出端(10)和直波导相位调制器(5)相连接；直波导相位调制器(5)通过光纤延迟环(6)与1×2手性光纤耦合器(7)相连接，1×2手性光纤耦合器(7)与光纤传感环(8)相连接，光纤传感环(8)内嵌入载流导体(11)。本发明提升光纤电流互感器系统测量电流时的温度稳定性。
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公开(公告)号：CN113295905A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110470040.2
申请日：2021-04-28
申请人： 哈尔滨工业大学 , 苏州电器科学研究院股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于手性光纤耦合器的光纤电流互感装置、光纤电流互感系统及其测量方法。SLD光源(1)与光电探测器(2)均链接2×2单模光纤耦合器(3)，2×2单模光纤耦合器(3)通过起偏器(4)与直波导相位调制器(5)相连接，光电探测器(2)与电路信号处理模块(9)相连接，电路信号处理模块(9)分别与电流输出端(10)和直波导相位调制器(5)相连接；直波导相位调制器(5)通过光纤延迟环(6)与1×2手性光纤耦合器(7)相连接，1×2手性光纤耦合器(7)与光纤传感环(8)相连接，光纤传感环(8)内嵌入载流导体(11)。本发明提升光纤电流互感器系统测量电流时的温度稳定性。
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公开(公告)号：CN113917798B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202111110721.4
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。
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公开(公告)号：CN114964235A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210545260.1
申请日：2022-05-19
申请人： 哈尔滨工业大学(鞍山)工业技术研究院
摘要： 本发明提供一种基于惯性/多普勒计程仪加阻尼状态的组合导航方法，包括：获取算法调试所需数据源作为训练样本；对训练样本进行各航行状态下的速度，加速度，角速度，角加速度的特征分析，获取系统的航行状态判据；通过训练样本，对多普勒计程仪组合导航滤波进行精确建模；通过训练样本，对阻尼导航网络参数进行最优设计；根据载体航行状态判据获得运载体的运动状态，对输出的速度信息进行切换，最终获得综合系统的优化速度，分别对组合导航和阻尼导航的速度输出进行频谱分析，实现对低频速度误差的抑制。该方法具有良好的实际工程应用价值，旨在解决传统的组合导航速度收敛慢、速度误差大，进而导致定位误差大的问题。
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公开(公告)号：CN113917791B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202111109804.1
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20 , F16F15/02 , F16F15/023
摘要： 本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处理，使得隔振平台下的悬挂部受到的振动干扰最小化，为安装在悬挂部上的工件台提供稳定的外部工作环境，控制器可控制第二隔振机构对工件台自身产生的振动进行减振处理，从而维持内部工作环境的稳定，也即，第一隔振机构和第二隔振机构相配合，协同优化了悬挂部内部和外部的隔振效果，为光刻机工件台及整机提供了稳定的运作环境，提高了工件台的运动精度。
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公开(公告)号：CN113917791A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111109804.1
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20 , F16F15/02 , F16F15/023
摘要： 本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处理，使得隔振平台下的悬挂部受到的振动干扰最小化，为安装在悬挂部上的工件台提供稳定的外部工作环境，控制器可控制第二隔振机构对工件台自身产生的振动进行减振处理，从而维持内部工作环境的稳定，也即，第一隔振机构和第二隔振机构相配合，协同优化了悬挂部内部和外部的隔振效果，为光刻机工件台及整机提供了稳定的运作环境，提高了工件台的运动精度。
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公开(公告)号：CN113833763A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110723.3
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16C32/06
摘要： 本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板设有两块，两块侧向气浮板对称设置，侧向气浮板内设有侧向气路，侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔，底部气浮板内设有底面气路，底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔。与现有技术相比，该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠，进排气孔与气路设计能够有效降低气源的空间占用量，支撑框架具有良好的运动姿态与运动精度，操作人员的使用体验好。
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公开(公告)号：CN113030547A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110239874.2
申请日：2021-03-04
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于游标效应的正交臂式MZ干涉仪光纤电流传感器，属于光纤电流传感技术领域。包括宽谱光源、第一耦合器、MZ干涉仪、第二耦合器、环形器、FP干涉仪和光谱仪，宽谱光源、第一耦合器、MZ干涉仪、第二耦合器、环形器和FP干涉仪依次连接，光谱仪与环形器连接。本发明基于全光纤电流传感器的工作原理，提出一种可以抗温度、振动等环境因素干扰的正交臂式MZ光纤电流传感器，并利用游标效应机理提高其电流灵敏度，可通过调整游标效应的放大倍数使传感器适用不同范围的小电流测量，适用不同应用场合。
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公开(公告)号：CN108020783B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201711273636.3
申请日：2017-12-01
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01R31/34
摘要： 一种短时负载激励的电机温升等效测试方法，属于电机测试技术领域。本发明是一种利用电机负载短时激励状态下的温升数据准确还原出电机负载持续激励状态下温升数据的方法。本发明的优点是：以电机负载短时激励状态下的测量数据间接得出电机负载持续激励状态下的温升数据，测试过程中电机温升低于负载持续激励时的温升值，降低了电机高温损坏的风险；只需要短时对电机进行激励，电机可长时间处于自然冷却状态，能有效降低能耗；计算过程简单，易于操作，无需使用电机模型、损耗模型及系统相关属性等先验知识，无需获取热传递函数的阶数和具体参数。
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公开(公告)号：CN108282122A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810151013.7
申请日：2018-02-13
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H02P21/00
CPC分类号： H02P21/0085 , H02P2207/05
摘要： 本发明公开了一种高动态响应的永磁同步电机弱磁扩速方法，所述方法步骤如下：弱磁功能模块持续地将ω*和ω与 ωth进行比较，当比较结果满足条件时，使能信号ENABLE为1，同时使能d轴转速调节器，完成功能为根据ω*与ω的误差给出d轴电流给定 在不满足条件时，使能信号不启动，d轴电流给定 为传统d轴电流为零的矢量控制；d轴和q轴电流给定 分别给至d轴和q轴的电流调节器，调节器计算后给出d轴电压ud1与q轴电压uq1，随后通过保留d轴电压的合成电压限幅模块，ud1与uq1被处理为ud与uq。本发明可实现与传统矢量控制速度环性能相近的高动态弱磁扩速控制，在控制过程中没有出现振荡，并能与传统矢量控制无缝切换。
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