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公开(公告)号：CN101070603B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200710071907.7
申请日：2007-03-20
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 电化学定向生长Al2O3超薄膜基板的制造方法，本发明涉及Al2O3膜基板的制造方法。它解决了采取陶瓷工艺制作的Al2O3基板无法满足超薄要求的问题。它通过下述步骤实现：取铝箔进行表面清洗，用丙酮或氢氧化钠来去油，然后用水煮，接着用硝酸抛光，然后用超声清洗，最后烘干；把铝箔置于电解槽中，电解液的温度控制在30～90℃，同时对电解液进行机械搅拌，分别给两个铝箔夹上相反极性的电极，两个铝箔一个为生长极，一个为牺牲极，二者之间施加直流电压，每隔20～30分钟短时间交换电压方向后返回，在生长极的表面上生成Al2O3膜；把作为生长极的铝箔浸入氯化铜溶液，剥离Al2O3膜；对Al2O3膜进行超声清洗和热处理。
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公开(公告)号：CN100504326C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200710071883.5
申请日：2007-03-14
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法，它涉及一种电极引出方法。它为了满足超薄体的要求，本发明步骤如下：一：清洗Al2O3基板(1)；二：激光刻槽：采用激光器加工Al2O3基板(1)，在Al2O3基板(1)的一端约1/3处开出两个电极沟槽(2)；三：电极(3)埋入：将电极(3)埋入电极沟槽(2)中，再以高温导电粘结剂填平电极(3)与电极沟槽(2)之间的空隙，在700～900℃温度下热处理1h烧结高温导电粘结剂，将电极(3)固定在电极沟槽(2)中；四：溅射铂膜(4)；五：制版调阻。它使敏感膜表面平整、无突起物，电极焊接点不另增加传感器的厚度，实现狭缝、窄条、微空间等检测微小的局部温度信息的目的。本发明实现了铂热电阻温度传感器的微型、超薄化，具有工艺简单、可操作性强等特点。
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公开(公告)号：CN101021442A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710071883.5
申请日：2007-03-14
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法，它涉及一种电极引出方法。它为了满足超薄体的要求，本发明步骤如下：一、清洗Al2O3基板(1)；二、激光刻槽：采用激光器加工Al2O3基板(1)，在Al2O3基板(1)的一端约1/3处开出两个电极沟槽(2)；三、电极(3)埋入：将电极(3)埋入电极沟槽(2)中，再以高温导电粘结剂填平电极(3)与电极沟槽(2)之间的空隙，在700～900℃温度下热处理1h烧结高温导电粘结剂，将电极(3)固定在电极沟槽(2)中；四、溅射铂膜(4)；五、制版调阻。它使敏感膜表面平整、无突起物，电极焊接点不另增加传感器的厚度，实现狭缝、窄条、微空间等检测微小的局部温度信息的目的。本发明实现了铂热电阻温度传感器的微型、超薄化，具有工艺简单、可操作性强等特点。
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公开(公告)号：CN101070603A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200710071907.7
申请日：2007-03-20
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 电化学定向生长Al2O3超薄膜基板的制造方法，本发明涉及Al2O3膜基板的制造方法。它解决了采取陶瓷工艺制作的Al2O3基板无法满足超薄要求的问题。它通过下述步骤实现：取铝箔进行表面清洗，用丙酮或氢氧化钠来去油，然后用水煮，接着用硝酸抛光，然后用超声清洗，最后烘干；把铝箔置于电解槽中，电解液的温度控制在30～90℃，同时对电解液进行机械搅拌，分别给两个铝箔夹上相反极性的电极，两个铝箔一个为生长极，一个为牺牲极，二者之间施加直流电压，每隔20～30分钟短时间交换电压方向后返回，在生长极的表面上生成Al2O3膜；把作为生长极的铝箔浸入氯化铜溶液，剥离Al2O3膜；对Al2O3膜进行超声清洗和热处理。
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