现场光谱过程监控
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106442337A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610636017.5

    申请日:2016-08-05

    IPC分类号: G01N21/25 G01N21/01

    摘要: 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式,而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样,那么增强过程监控的精确到可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光,并且将光分为成分波长信号的光谱,以用于传送至探测器阵列,这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。

    现场光谱过程监控
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110702619B

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN201911000964.5

    申请日:2016-08-05

    IPC分类号: G01N21/25 G01N21/01

    摘要: 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式,而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样,那么增强过程监控的精确度可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光,并且将捕获的光分为成分波长信号的光谱,以用于传送至探测器阵列,这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。

    现场光谱过程监控
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110702619A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201911000964.5

    申请日:2016-08-05

    IPC分类号: G01N21/25 G01N21/01

    摘要: 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式,而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样,那么增强过程监控的精确度可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光,并且将捕获的光分为成分波长信号的光谱,以用于传送至探测器阵列,这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。

    现场光谱过程监控
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106442337B

    公开(公告)日:2019-11-08

    申请号:CN201610636017.5

    申请日:2016-08-05

    IPC分类号: G01N21/25 G01N21/01

    摘要: 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式,而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样,那么增强过程监控的精确度可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光,并且将捕获的光分为成分波长信号的光谱,以用于传送至探测器阵列,这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。

    光学滤波器和分光计
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109520618B

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN201811373860.4

    申请日:2015-01-29

    IPC分类号: G01J3/28 G01J3/02 G02B5/28

    摘要: 本发明涉及光学滤波器和分光计。公开了一种光学滤波器,该光学滤波器包括以彼此相距固定距离地堆叠的两个横向可变带通滤波器,使得上游滤波器起到用于下游滤波器的空间滤波器的作用。这发生是因为由上游滤波器透射的倾斜的光束在碰撞在下游滤波器上时被横向地位移。当在倾斜的光束碰撞到上游滤波器和下游滤波器上的位置处的透射通带不重叠时,横向的位移引起倾斜的光束的抑制。

    光学滤波器和分光计
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109520618A

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201811373860.4

    申请日:2015-01-29

    IPC分类号: G01J3/28 G01J3/02 G02B5/28

    摘要: 本发明涉及光学滤波器和分光计。公开了一种光学滤波器,该光学滤波器包括以彼此相距固定距离地堆叠的两个横向可变带通滤波器,使得上游滤波器起到用于下游滤波器的空间滤波器的作用。这发生是因为由上游滤波器透射的倾斜的光束在碰撞在下游滤波器上时被横向地位移。当在倾斜的光束碰撞到上游滤波器和下游滤波器上的位置处的透射通带不重叠时,横向的位移引起倾斜的光束的抑制。