分光传感器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103842784A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201280049230.6

    申请日:2012-09-10

    IPC分类号: G01J3/26 G01J3/36

    摘要: 分光传感器(1)具备:具有空腔层(21)以及经由空腔层(21)而相对的第1以及第2镜层(22,23)并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部(20)、被配置于第1镜层(22)侧并且使入射到干涉滤光部(20)的光透过的光透过基板(3)、被配置于第2镜层(23)侧并且检测透过了干涉滤光部(20)的光的光检测基板(4)。空腔层(21)具有:被第1以及第2镜层(22,23)夹持的滤光区域(24)、从滤光区域(24)取得规定的距离来包围滤光区域(24)的环状的包围区域(25)、连接滤光区域(24)的光检测基板(4)侧的端部(24e)和包围区域(25)的光检测基板(4)侧的端部(25e)的环状的连接区域(26)。

    分光传感器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103842784B

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201280049230.6

    申请日:2012-09-10

    IPC分类号: G01J3/26 G01J3/36

    摘要: 分光传感器(1)具备:具有空腔层(21)以及经由空腔层(21)而相对的第1以及第2镜层(22,23)并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部(20)、被配置于第1镜层(22)侧并且使入射到干涉滤光部(20)的光透过的光透过基板(3)、被配置于第2镜层(23)侧并且检测透过了干涉滤光部(20)的光的光检测基板(4)。空腔层(21)具有:被第1以及第2镜层(22,23)夹持的滤光区域(24)、从滤光区域(24)取得规定的距离来包围滤光区域(24)的环状的包围区域(25)、连接滤光区域(24)的光检测基板(4)侧的端部(24e)和包围区域(25)的光检测基板(4)侧的端部(25e)的环状的连接区域(26)。

    分光传感器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103842783A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201280049208.1

    申请日:2012-09-10

    IPC分类号: G01J3/26 G01J3/36

    摘要: 分光传感器(1)具备:具有空腔层(21)以及经由空腔层(21)而相对的第1以及第2镜层(22,23)并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部(20)、被配置于第1镜层(22)侧并且使入射到干涉滤光部(20)的光透过的光透过基板(3)、被配置于第2镜层(23)侧并且检测透过了干涉滤光部(20)的光的光检测基板(4)、被配置于干涉滤光部(20)与光透过基板(3)之间的第1耦合层(11)。空腔层(21)以及第1耦合层(11)是硅氧化膜。