一种高集成小型化半导体制冷器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118510362B

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202410962035.7

    申请日:2024-07-18

    IPC分类号: H10N10/17 H10N10/01 H10N19/00

    摘要: 本发明公开了一种高集成小型化半导体制冷器及其制备方法,包括陶瓷基板本体,陶瓷基板本体上开设有用于放置半导体制冷器的凹槽,半导体制冷器嵌入凹槽内与陶瓷基板本体的表面齐平。通过将半导体制冷器嵌入到陶瓷基板本体内部的凹槽内,保证了陶瓷基板本体表面的平整度,并且可以减小整个高速率通信模块的厚度,实现器件的小型化设计,同时将半导体制冷器的第二电极直接布设在凹槽底部,省略了下基板,可以减少基材使用,节约基板成本,将半导体制冷器内嵌后,在半导体制冷器上基板的上表面还可以布设其他电路,进一步缩小了高速率通信模块的整体尺寸。

    一种高集成小型化半导体制冷器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118510362A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410962035.7

    申请日:2024-07-18

    IPC分类号: H10N10/17 H10N10/01 H10N19/00

    摘要: 本发明公开了一种高集成小型化半导体制冷器及其制备方法,包括陶瓷基板本体,陶瓷基板本体上开设有用于放置半导体制冷器的凹槽,半导体制冷器嵌入凹槽内与陶瓷基板本体的表面齐平。通过将半导体制冷器嵌入到陶瓷基板本体内部的凹槽内,保证了陶瓷基板本体表面的平整度,并且可以减小整个高速率通信模块的厚度,实现器件的小型化设计,同时将半导体制冷器的第二电极直接布设在凹槽底部,省略了下基板,可以减少基材使用,节约基板成本,将半导体制冷器内嵌后,在半导体制冷器上基板的上表面还可以布设其他电路,进一步缩小了高速率通信模块的整体尺寸。

    一种晶圆芯片金锡合金均匀性的控制方法

    公开(公告)号:CN117810072A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202410231449.2

    申请日:2024-03-01

    摘要: 本发明公开了一种晶圆芯片金锡合金均匀性的控制方法,属于晶圆芯片制作工艺,包括以下步骤:S1,在晶圆基片的表面依次溅射钛层、PT层和金层,形成活化金属层;S2,在晶圆基片上光刻图形化;S3,电镀金锡合金,在晶圆基片的镀面电镀金锡合金,电镀的方式为水平式电镀;S4,去除活化金属层;S5,切割,得晶圆芯片产品。本发明改善了金锡合金均匀性,提高了芯片性能。