公开(公告)号：CN1838401A

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：CN200510137330.6

申请日：2005-11-17

申请人： 因芬尼昂技术股份公司 ,  国际商业机器公司

发明人： K·塞特尔迈尔 ,  R·拉马钱德兰 ,  M·-S·金 ,  O·-J·关

IPC分类号： H01L21/8242 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/82 ,  H01L21/02 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L27/1087 ,  H01L29/66181

摘要： 本发明提供一种瓶形沟槽及瓶形沟槽式电容器的制造方法，该方法包括：提供衬底；在衬底中形成沟槽，该沟槽具有侧壁和底部，沟槽具有与衬底顶表面相邻的上部区域和与沟槽底部相邻的下部区域；在沟槽的底部区域形成衬底氧化层；从沟槽的底部区域除去所述衬底氧化层，沟槽下部区域的横截面积大于沟槽上部区域的横截面积。