公开(公告)号：CN116936325A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310769949.7

申请日：2023-06-27

申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司

发明人： 桂正亚 ,  沈轩宇 ,  李非易 ,  周晓慧 ,  刘辉 ,  朱晓桦

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01L21/268 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种用于晶圆质子辐照用的新型装置及抽真空方法，装置包括：辐照舱；还包括：冷泵管道，与所述辐照舱连通；低温泵，设置在所述冷泵管道端部；插板阀，设置在冷泵管道上，用于隔断低温泵与辐照舱的连通。所述插板阀外接远程控制系统，通过远程控制系统完成对插板阀的远程启闭工作。本发明在低温泵和辐照舱连接的冷泵管道上增加一个插板阀，当涉及到辐照舱需要开舱，则通过远程控制系统，输出信号给到插板阀，插板阀将低温泵和辐照舱分隔，辐照舱破真空的行为不影响低温泵的运行，管道内继续保持低压；在辐照舱内工作完成后，则可使用机械泵短时间内将真空抽到10‑2mBar，此时远程开启插板阀，低温泵照常运行，大大缩短冷泵开启的前端工作。

公开(公告)号：CN117725808A

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202311552577.9

申请日：2023-11-20

申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司

发明人： 龚贺立 ,  冯斌 ,  李明玥 ,  胡云凯 ,  于天华 ,  桂正亚 ,  沈轩宇 ,  刘辉

IPC分类号： G06F30/25 ,  G06N7/01 ,  G06F111/08

摘要： 本发明公开了一种晶圆质子辐照过程中次级光子辐射场快速计算方法包括：步骤1、建立蒙特卡罗程序源项计算区域，利用蒙特卡罗程序建立质子束轰击晶圆的几何模型，以模拟质子加速器辐照过程；步骤2、利用程序建立球形探测器包覆晶圆，记录次级光子的能谱、粒子数以及方向等信息，并将其作为后续计算的源项，进行下一步计算；步骤3、利用点核积分方法根据已有的源项信息，计算空间内以及屏蔽墙外的剂量影响。本发明通过两种方法进行耦合，可以显著提高辐射场的计算速度，部分场景计算速度提升超过百倍；通过蒙特卡罗方法与点核积分法的耦合计算，减少了蒙特卡罗数据库的使用，避免了蒙特卡罗方法的高难度建模要求，降低了使用门槛。

公开(公告)号：CN117473843A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311556455.7

申请日：2023-11-20

申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司

发明人： 龚贺立 ,  冯斌 ,  李明玥 ,  胡云凯 ,  于天华 ,  桂正亚 ,  沈轩宇 ,  刘辉

IPC分类号： G06F30/25 ,  G06N7/01 ,  G06F111/08

摘要： 本发明公开了一种晶圆质子辐照过程中次级中子辐射场快速计算方法包括：步骤1、建立蒙特卡罗程序源项计算区域，利用蒙特卡罗程序建立质子束轰击晶圆的几何模型，以模拟质子加速器辐照过程；步骤2、利用程序建立球形探测器包覆晶圆，记录次级中子的能谱、粒子数以及方向信息，并将其作为后续计算的源项，进行下一步计算；步骤3、利用中子分出截面法根据已有的源项信息，计算空间内以及屏蔽墙外的剂量影响。本发明通过两种方法进行耦合，可以显著提高辐射场的计算速度，部分场景计算速度提升超过百倍；通过中子的分出截面法的耦合计算，减少了蒙特卡罗数据库的使用，避免了蒙特卡罗方法的高难度建模要求，降低了使用门槛。

公开(公告)号：CN219998150U

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202321651808.7

申请日：2023-06-27

申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司

发明人： 桂正亚 ,  沈轩宇 ,  李非易 ,  周晓慧 ,  刘辉 ,  朱晓桦

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01L21/268 ,  H01L21/67

摘要： 本实用新型公开了一种用于晶圆质子辐照用的新型装置包括：辐照舱；还包括：冷泵管道，与所述辐照舱连通；低温泵，设置在所述冷泵管道端部；插板阀，设置在冷泵管道上，用于隔断低温泵与辐照舱的连通。所述插板阀外接远程控制系统，通过远程控制系统完成对插板阀的远程启闭工作。本实用新型在低温泵和辐照舱连接的冷泵管道上增加一个插板阀，当涉及到辐照舱需要开舱，则通过远程控制系统，输出信号给到插板阀，插板阀将低温泵和辐照舱分隔，辐照舱破真空的行为不影响低温泵的运行，管道内继续保持低压；在辐照舱内工作完成后，则可使用机械泵短时间内将真空抽到10‑2mBar，此时远程开启插板阀，低温泵照常运行，大大缩短冷泵开启的前端工作。

公开(公告)号：CN221367138U

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202420021988.9

申请日：2024-01-04

申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 ,  国核铀业发展有限责任公司

发明人： 朱晓桦 ,  李明玥 ,  胡云凯 ,  桂正亚 ,  沈轩宇 ,  李非易 ,  周晓慧 ,  刘辉

IPC分类号： B62B3/04

摘要： 本实用新型公开了一种晶圆质子辐照用晶圆搬运小车包括：小车骨架，由材质为60661铝合金制成的呈中空结构的矩形管连接组成；小车料舱，设置在所述小车骨架上；径向限位块，设置在小车骨架的径向上，与所述小车料舱抵接，用于限位及固定小车料仓。本实用新型通过由材质为60661铝合金制成的呈中空结构的矩形管连接组成的小车骨架取代传统的Q235钢板进行焊接加工而成的小车骨架，进行减少搬运小车的重量，将重量控制在屏蔽门及环氧自流平可承受的范围内，避免损坏屏蔽门及环氧自流平；同时设计径向限位块，对小车料舱进行径向限位及固定，取代传统侧面限位及固定时，增加搬运小车的宽度。

公开(公告)号：CN220543835U

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202321991447.0

申请日：2023-07-27

申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 ,  国核铀业发展有限责任公司

发明人： 冯斌 ,  李怡波 ,  李明玥 ,  胡云凯 ,  桂正亚 ,  沈轩宇 ,  李非易 ,  刘辉

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01J37/08 ,  H01L21/67

摘要： 本实用新型公开了一种用于晶圆质子辐照的多峰场负氢离子源氢气进气结构包括：氢气进气管道，设计多组，与离子源本体连接；环形氢气分配管道，与氢气进气管道连通，由密封法兰一和密封法兰二接触形成的腔室组成。本实用新型通过多个均匀布置的氢气进气管道给离子源提供氢气，对离子源氢气源的均匀性进行了初级分配；再由中间环形氢气分配管道，再次进行对离子源的氢气来源进行均匀性分配，极大的优化了束流的稳定性及可调性。