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公开(公告)号：CN220543835U
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202321991447.0
申请日：2023-07-27
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 , 国核铀业发展有限责任公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于晶圆质子辐照的多峰场负氢离子源氢气进气结构包括：氢气进气管道，设计多组，与离子源本体连接；环形氢气分配管道，与氢气进气管道连通，由密封法兰一和密封法兰二接触形成的腔室组成。本实用新型通过多个均匀布置的氢气进气管道给离子源提供氢气，对离子源氢气源的均匀性进行了初级分配；再由中间环形氢气分配管道，再次进行对离子源的氢气来源进行均匀性分配，极大的优化了束流的稳定性及可调性。
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公开(公告)号：CN220545185U
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202322123430.X
申请日：2023-08-08
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 , 国核铀业发展有限责任公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于晶圆质子辐照扫描磁体内侧真空盒的冷却结构，包括真空盒，所述真空盒上下两端焊接有对称的连接法兰盘，所述连接法兰盘上设置有束流口，通过束流口可以进行回旋加速器的质子束流引入，所述真空盒上下均安装有温度报警器，所述温度报警器设置的报警温度为100℃，所述真空盒另一侧设置有冷却管组件，通过冷却管组件进行水冷处理，其优点在于利用水冷以及风冷双重冷却，可以稳定控制用于芯片辐照扫描磁铁内侧真空盒的温度，避免真空盒因高温而发生熔化，结构简单、加工成本低、即时响应、高效散热。
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公开(公告)号：CN117059462A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311324545.3
申请日：2023-10-13
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/317 , H01F6/06 , H01F6/04
摘要： 本发明公开了一种用于高能氢离子注入机的高温超导偏转装置及方法，所述装置包括：壳体，设置在所述壳体内的束流管道；还包括：选中粒子束流管道，设计两组，分别设置在所述束流管道两侧，且与所述束流管道连通；选中粒子束流管道由多个偏转磁体组成；所述偏转磁体包括：线圈骨架，由无磁材料制成，表层开有槽口；二代高温超导带材，缠绕在线圈骨架的槽口中，形成超导线圈。本发明通过将偏转磁体的线圈骨架设计为无磁材料，二代高温超导带材绕制在无磁骨架上，通过制冷部进行对二代高温超导带材缠绕的超导线圈进行冷却，达到超导线圈进入超导态的温度，给超导线圈通入直流电，快速建立磁场；整体装置无铁芯，不会产生磁滞现象。
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公开(公告)号：CN221201071U
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202323142298.3
申请日：2023-11-20
申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317
摘要： 本实用新型公开了一种用于高能氢离子注入的水冷高频Dee板包括：Dee板本体，所述本体上开有圆形通孔，供冷却水流通；导热通道，设计两组，呈相对设置，分别设置在Dee板本体中，位于Dee板本体两端，且部分延时至圆形通孔中。本实用新型在Dee板本体两端内设计导热通道，冷却水从圆形通孔流入，并在压力差的作用下流过水冷通道，带走Dee板上的热量。
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