一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器

    公开(公告)号:CN116338331A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310131903.2

    申请日:2023-02-18

    IPC分类号: G01R29/12

    摘要: 本发明涉及一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器,包括衬底、压电驱动结构、感应电极和屏蔽电极,屏蔽电极包括屏蔽电极板和设置于屏蔽电极板两侧的第一梳齿状结构,感应电极包括一对或多对对称设置于屏蔽电极两侧的第二梳齿状结构,感应电极和屏蔽电极上的梳齿呈叉指分布,压电驱动结构包括呈中心对称设置的两个驱动臂,驱动臂包括固定端和自由端,固定端安装于衬底上,两个驱动臂的自由端与分别屏蔽电极上的两个呈中心对称的位置连接;传感器工作时,设定屏蔽电极的工作模式,通过压电驱动结构使屏蔽电极周期性振动,采集感应电极上产生的携带被测电场信息的感应信号。与现有技术相比,本发明具有可进行更高频率检测、精度高等优点。

    一种微型电场传感器的电场测量方法及系统

    公开(公告)号:CN115902432A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211634642.8

    申请日:2022-12-19

    IPC分类号: G01R29/12 G01R35/02

    摘要: 本发明属于电力系统测量技术领域,公开一种微型电场传感器的电场测量方法及系统,所述方法,包括:在标准电场环境中对微型电场传感器进行标定测试,确定微型电场传感器输出电压U与标准电场的电场强度E之间的关系;测量微型电场传感器放置在电场测量场景中进行使用时实际电场输出;根据微型电场传感器在电场测量场景中实际电场输出值,结合现场校正系数,推算出待测电场大小。本发明采用微型电场传感器结构,具有体积小,功耗低,不需要与电力线路连接,为非侵入式电场测量方法,不易受到电力设备电压波动的干扰,克服了传统电力互感器绝缘难、体积大、安装结构复杂、容易磁饱和、铁磁谐振等问题,并且传统电力互感器为侵入式测量。