公开(公告)号：CN102388413A

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN201080013283.3

申请日：2010-03-12

申请人： 夏普株式会社 ,  精工爱普生株式会社

发明人： 齐藤裕 ,  野田洋一 ,  山元良高

IPC分类号： G09F9/30 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/336 ,  H01L21/768 ,  H01L23/52 ,  H01L29/417 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/786

CPC分类号： H01L27/12 ,  G02F1/136209 ,  G02F1/136227 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/134372 ,  G02F2001/136222 ,  G02F2001/136231 ,  G02F2001/13625 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/1288

摘要： 本发明提供了有源矩阵基板及其制造方法，其中减少光刻工艺的数量，并降低制造成本。本发明还提供了使用由该制造方法所制造的有源矩阵基板的显示设备。在用于在有源基板上形成构成显示设备的像素的工艺中，通过对光致抗蚀剂膜或者对其中通过涂布制备有源矩阵和显示电极的黑色光致抗蚀剂膜执行半色调曝光来形成堤或蚀刻图形，由此处理绝缘膜，并且通过喷墨法来制备透明导电膜和彩色滤光片。