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公开(公告)号：CN109752091B
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN201811312188.8
申请日：2018-11-06
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种在使用对象物的拍摄图像来测定该对象物的光学特性的构成中，能得到更良好的测定结果的光学特性测定方法以及光学特性测定系统。光学特性测定方法是测定对象物的光学特性的光学特性测定方法，包括：使用与所述对象物离开规定距离地进行配置、能维持所述规定距离的同时使相对于所述对象物的位置变化的摄像装置，来获取作为包括所述对象物的图像的一个或者多个拍摄图像的步骤；以及基于所获取的所述拍摄图像，生成来源于位于下述位置的一个或者多个解析点的包括所述对象物的虚拟图像的步骤，其中该位置是包括所述摄像装置的移动轨迹的面以外的位置。
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公开(公告)号：CN107806898A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201710807755.6
申请日：2017-09-08
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01J3/027 , G01J3/0218 , G01J3/0221 , G01J3/0264 , G01J3/28 , G01J3/2803 , G01J2003/2876 , G01N21/274 , G01N21/359 , G01D21/02 , G01D3/036
Abstract: 本发明提供一种使用至少在近红外区域具有检测灵敏度的检测器的光学测定方法。光学测定方法包含：获取在任意的曝光时间通过检测器来对任意的样本光进行测定后的输出值的步骤；以及如果获取到输出值时的曝光时间处于第二范围内则以与输出值对应的校正量来校正输出值的步骤。校正量包含如下的系数与曝光时间的平方之积，该系数为：表示在第二范围内的曝光时间通过检测器进行测定后得到的输出值相对于在第一范围内的曝光时间通过检测器进行测定后得到的输出线性偏差了多大程度的系数。
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公开(公告)号：CN109405752B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201810568763.4
申请日：2018-06-05
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测量装置，包括：照射光学系统，向测量对象直线状地照射具有规定的波长范围的测量光；测量光学系统，接受通过测量光的照射而从测量对象产生的作为透射光或反射光的直线状测量干涉光；及处理装置。测量光学系统包括：衍射光栅，将测量干涉光向与该测量干涉光的长尺寸方向正交的方向波长扩展；以及摄像部，接受由衍射光栅波长扩展了的测量干涉光并输出二维图像。处理装置包括：第一计算单元，与二维图像上的与被照射测量光的测量对象的各测量点对应的区域关联地，计算与从各测量点到测量光学系统的入射角对应的校正因数；及第二计算单元，对二维图像中包含的各像素值使用对应的校正因数，并在此基础上计算测量对象的光学特性。
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公开(公告)号：CN109163666B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201810568761.5
申请日：2018-06-05
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种使用了光学测量装置的光学测量方法，所述光学测量装置具备：照射光学系统，向测量对象直线状地照射具有规定的波长范围的测量光；以及测量光学系统，将通过测量光的照射而从测量对象产生的作为透射光或者反射光的直线状的测量干涉光向与该测量干涉光的长尺寸方向正交的方向进行波长扩展，并输出二维图像。光学测量方法包括：针对同一样品取得使入射角不同的情况的实测值分布的步骤；与二维图像上的与被照射测量光的测量对象的各测量点对应的区域关联地，计算与从各测量点到测量光学系统的入射角对应的校正因数的步骤；以及基于沿实测值分布的任一方向的一列或多列像素值集、和对应的校正因数，计算包含样品的折射率的光学特性的步骤。
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公开(公告)号：CN109752091A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201811312188.8
申请日：2018-11-06
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种在使用对象物的拍摄图像来测定该对象物的光学特性的构成中，能得到更良好的测定结果的光学特性测定方法以及光学特性测定系统。光学特性测定方法是测定对象物的光学特性的光学特性测定方法，包括：使用与所述对象物离开规定距离地进行配置、能维持所述规定距离的同时使相对于所述对象物的位置变化的摄像装置，来获取作为包括所述对象物的图像的一个或者多个拍摄图像的步骤；以及基于所获取的所述拍摄图像，生成来源于位于下述位置的一个或者多个解析点的包括所述对象物的虚拟图像的步骤，其中该位置是包括所述摄像装置的移动轨迹的面以外的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110500963B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910414005.1
申请日：2019-05-17
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 本公开涉及一种光学测定装置以及光学测定方法，其要解决的问题在于，在对试样中的一方的表面照射光的光学测定装置中，测定探头与试样之间的距离和试样的膜厚。本公开的厚度测定装置包括：探头，包括具有参照面的透射光学构件，经由所述参照面将光照射至试样，接受来自所述参照面的第一反射光、来自所述试样的表面的第二反射光以及来自所述试样的背面的第三反射光；以及运算部，使用由所述第一反射光和所述第二反射光产生的第一反射干渉光，计算出从所述参照面到所述试样的表面的第一距离，使用由所述第二反射光和所述第三反射光产生的第二反射干渉光，计算出所述试样的厚度。
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公开(公告)号：CN109405752A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201810568763.4
申请日：2018-06-05
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/02024 , G01B9/02041 , G01B9/02043 , G01B11/0625 , G01N21/00 , G01N21/45 , G01N21/8422 , G01B11/0675 , G01N2021/458
Abstract: 本发明提供一种光学测量装置，包括：照射光学系统，向测量对象直线状地照射具有规定的波长范围的测量光；测量光学系统，接受通过测量光的照射而从测量对象产生的作为透射光或反射光的直线状测量干涉光；及处理装置。测量光学系统包括：衍射光栅，将测量干涉光向与该测量干涉光的长尺寸方向正交的方向波长扩展；以及摄像部，接受由衍射光栅波长扩展了的测量干涉光并输出二维图像。处理装置包括：第一计算单元，与二维图像上的与被照射测量光的测量对象的各测量点对应的区域关联地，计算与从各测量点到测量光学系统的入射角对应的校正因数；及第二计算单元，对二维图像中包含的各像素值使用对应的校正因数，并在此基础上计算测量对象的光学特性。
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公开(公告)号：CN109163666A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201810568761.5
申请日：2018-06-05
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/02024 , G01B9/02041 , G01B9/02043 , G01B11/0625 , G01N21/00 , G01N21/45 , G01N21/8422 , G01B11/0675 , G01N21/453
Abstract: 本发明提供一种使用了光学测量装置的光学测量方法，所述光学测量装置具备：照射光学系统，向测量对象直线状地照射具有规定的波长范围的测量光；以及测量光学系统，将通过测量光的照射而从测量对象产生的作为透射光或者反射光的直线状的测量干涉光向与该测量干涉光的长尺寸方向正交的方向进行波长扩展，并输出二维图像。光学测量方法包括：针对同一样品取得使入射角不同的情况的实测值分布的步骤；与二维图像上的与被照射测量光的测量对象的各测量点对应的区域关联地，计算与从各测量点到测量光学系统的入射角对应的校正因数的步骤；以及基于沿实测值分布的任一方向的一列或多列像素值集、和对应的校正因数，计算包含样品的折射率的光学特性的步骤。
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公开(公告)号：CN107806898B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201710807755.6
申请日：2017-09-08
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种使用至少在近红外区域具有检测灵敏度的检测器的光学测定方法。光学测定方法包含：获取在任意的曝光时间通过检测器来对任意的样本光进行测定后的输出值的步骤；以及如果获取到输出值时的曝光时间处于第二范围内则以与输出值对应的校正量来校正输出值的步骤。校正量包含如下的系数与曝光时间的平方之积，该系数为：表示在第二范围内的曝光时间通过检测器进行测定后得到的输出值相对于在第一范围内的曝光时间通过检测器进行测定后得到的输出线性偏差了多大程度的系数。
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公开(公告)号：CN112710393A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011149855.2
申请日：2020-10-23
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明通过一种光学测定装置、波长校正方法以及标准试样。光学测定装置包括以下单元：理论干涉谱获取单元，其获取基于标准试样的已知的厚度、折射率以及消光系数进行数学计算得出的、关于该标准试样的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为理论干涉谱；实测干涉谱获取单元，其获取利用受光器经由衍射光栅接收对标准试样照射测定光而产生的反射光或透过光所生成的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为实测干涉谱；关联信息获取单元，其获取用于决定理论干涉谱与实测干涉谱的关于波长的关联的关联信息；以及波长校正单元，其参照关联信息将用于规定多个受光元件的波长值的波长校正式决定为使对实测干涉谱应用波长校正式所得到的结果与理论干涉谱一致。
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