-
公开(公告)号：CN112710634A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011144739.1
申请日：2020-10-23
Applicant: 大塚电子株式会社
Inventor： 田口都一
Abstract: 一种能更准确地测量测量对象物的透射率或反射率的光学测量装置及光学测量方法。光学测量装置具备：照射光学系统，向对象区域以直线状照射包含多个波长的照射光；受光光学系统，接收通过向对象区域照射照射光而从对象区域产生的作为透射光或反射光的测量光；以及计算部，基于受光光学系统中的测量光的受光结果生成受光光谱并基于生成的受光光谱计算出配置于测量区域的测量对象物的每一波长下的透射率或反射率，计算部根据基于从不存在测量对象物时的测量区域产生的测量光的第一基准光谱、基于从非测量区域产生的测量光的第二基准光谱以及基于从存在测量对象物时的测量区域产生的测量光的测量光谱，计算出测量对象物的透射率光谱或反射率光谱。
-
公开(公告)号：CN102680097A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210063704.4
申请日：2012-03-12
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0218 , G01J3/0232 , G01J3/0262 , G01J3/027 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 提供一种分光特性测量方法以及分光特性测量装置，用于更高精度地测量被测量光的分光特性。分光特性测量方法包括以下步骤：使波长范围为第二波长范围的光入射到在第一波长范围具有检测灵敏度的分光测量器，第二波长范围为上述第一波长范围的一部分；从与由分光测量器检测出的第一光谱中的第二波长范围以外的范围相对应的部分中获取表示杂散光成分的特性信息；以及对特性信息进行外插处理直至第一波长范围中的第二波长范围为止，来获取表示产生于上述分光测量器的杂散光成分的图案。
-
公开(公告)号：CN1556917A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN03801076.3
申请日：2003-03-24
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0218 , G01J3/0229 , G01J3/0232 , G01J3/04 , G01J2003/326 , G01N21/253 , G01N21/474 , G01N21/55 , G01N21/59 , G01N2201/043
Abstract: 本发明提供了一种多点测量系统，它包括：光源(1、2)；多个照明光纤(5、6)，用于将光源发出的光传送给试样，以便照亮试样的多个点(A、B)；多个接收光纤(8、9)，用于在该多个点采集光束，该光束包括透射、反射和散射光束；光学通路选择部件(10)，它包括旋转盘(12)，该旋转盘有孔，用于通过接收光纤(11)传递由多个接收光纤(8、9)中的一个采集的光束；以及MCPD(4)。当旋转盘(12)旋转以便使孔移动至或停止在所希望的通道的光能够通过的位置处时，可以只对相应接收光纤(8、9、11)通过的光进行测量。在其它通道处的光可以通过使旋转盘旋转预定角度来测量。
-
公开(公告)号：CN111486794B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202010074101.9
申请日：2020-01-22
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测定系统和光学测定方法，提供一种针对在以往的光学测定装置中测定精度可能降低的样品也能够更高精度地测定光学特性的结构。光学测定系统包括：光源，其发出用于向样品照射的测定光；分光检测器，其接收由测定光在样品处产生的反射光或透射光；以及处理装置，其被输入分光检测器的检测结果。处理装置构成为能够执行以下处理：基于分光检测器的检测结果，来计算第一光谱；在第一光谱中确定与波长有关的振幅的变化满足规定条件的区间；以及使用从第一光谱去除所确定的区间的信息所得到的第二光谱，来计算样品的光学特性。
-
公开(公告)号：CN102680097B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210063704.4
申请日：2012-03-12
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0218 , G01J3/0232 , G01J3/0262 , G01J3/027 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 提供一种分光特性测量方法以及分光特性测量装置，用于更高精度地测量被测量光的分光特性。分光特性测量方法包括以下步骤：使波长范围为第二波长范围的光入射到在第一波长范围具有检测灵敏度的分光测量器，第二波长范围为上述第一波长范围的一部分；从与由分光测量器检测出的第一光谱中的第二波长范围以外的范围相对应的部分中获取表示杂散光成分的特性信息；以及对特性信息进行外插处理直至第一波长范围中的第二波长范围为止，来获取表示产生于上述分光测量器的杂散光成分的图案。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1444727A
公开(公告)日：2003-09-24
申请号：CN01813501.3
申请日：2001-07-26
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/55 , G01N21/276 , G01N21/4785 , G01N2021/4745 , G01N2201/128
Abstract: 按照本发明的自动光学测量方法，利用把可动的反射板6移至光轴位置，光投射部分3a经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，另一方面，利用把可动反射板6移离光轴和把参照物8放在样品台10上，光投射部分3a经过参照物8投射的光，被光接收部分3b接收，据此确定两次接收的光强的比值。在样品测量时，则把可动反射板6移至光轴位置，光投射部分3a投射的光，经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，于是，用由此接收的光强和上述比值，估算用参照物测量的光强，用该估算的光强来校正经过样品接收的光强。
-
公开(公告)号：CN109405752B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201810568763.4
申请日：2018-06-05
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测量装置，包括：照射光学系统，向测量对象直线状地照射具有规定的波长范围的测量光；测量光学系统，接受通过测量光的照射而从测量对象产生的作为透射光或反射光的直线状测量干涉光；及处理装置。测量光学系统包括：衍射光栅，将测量干涉光向与该测量干涉光的长尺寸方向正交的方向波长扩展；以及摄像部，接受由衍射光栅波长扩展了的测量干涉光并输出二维图像。处理装置包括：第一计算单元，与二维图像上的与被照射测量光的测量对象的各测量点对应的区域关联地，计算与从各测量点到测量光学系统的入射角对应的校正因数；及第二计算单元，对二维图像中包含的各像素值使用对应的校正因数，并在此基础上计算测量对象的光学特性。
-
-
公开(公告)号：CN109163666B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201810568761.5
申请日：2018-06-05
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种使用了光学测量装置的光学测量方法，所述光学测量装置具备：照射光学系统，向测量对象直线状地照射具有规定的波长范围的测量光；以及测量光学系统，将通过测量光的照射而从测量对象产生的作为透射光或者反射光的直线状的测量干涉光向与该测量干涉光的长尺寸方向正交的方向进行波长扩展，并输出二维图像。光学测量方法包括：针对同一样品取得使入射角不同的情况的实测值分布的步骤；与二维图像上的与被照射测量光的测量对象的各测量点对应的区域关联地，计算与从各测量点到测量光学系统的入射角对应的校正因数的步骤；以及基于沿实测值分布的任一方向的一列或多列像素值集、和对应的校正因数，计算包含样品的折射率的光学特性的步骤。
-
公开(公告)号：CN1202414C
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN01813501.3
申请日：2001-07-26
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/55 , G01N21/276 , G01N21/4785 , G01N2021/4745 , G01N2201/128
Abstract: 按照本发明的自动光学测量方法，利用把可动的反射板6移至光轴位置，光投射部分3a经过可动反射板6、不动反射板11和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，另一方面，利用把可动反射板6移离光轴和把参照物8放在样品台10上，光投射部分3a经过参照物8投射的光，被光接收部分3b接收，据此确定两次接收的光强的比值。在样品测量时，则把可动反射板6移至光轴位置，光投射部分3a投射的光，经过可动反射板6、不动反射板11和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，于是，用由此接收的光强和上述比值，估算用参照物测量的光强，用该估算的光强来校正经过样品接收的光强。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.031 seconds)
