一种传感器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111024134A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911410959.1

    申请日:2019-12-31

    Abstract: 本发明所提供的一种传感器,包括:变送器,所述变送器用于采集环境参数;通用仪表,所述通用仪表用于接收所述变送器采集的所述环境参数,对所述环境参数进行处理后上传到上级通信分站所;所述变送器与所述通用仪表相连接,所述通用仪表盘根据所述变送器的身份标识号确定所述变送器的类型。所有传感器采用的通用平台一致,均采用“通用仪表+变送器”的组合模式,通过更换变送器即可实现传感器类型转换。同时,在传感器检测元件到期或者出现其他故障时,只需针对变送器或者通用仪表进行选择性采购,不再像以往必须进行传感器整机采购,可大大节省每年传感器的采购成本。

    氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114622172B

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202111148326.5

    申请日:2021-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜的制备方法,包括:S1:将氧化锌靶材和铝靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上,将高纯度的氧气接入磁控溅射仪的进气口,将微加热板放入磁控溅射仪内,关闭磁控溅射仪的腔门和放气阀,关闭流量计;S2:将磁控溅射仪的工作靶材选为氧化锌靶材,将真空室的气压调整至5*10‑3Pa以下,设置微加热板的温度为25℃;S3:打开调压开关,打开进气阀,打开流量计,通入氧气并调节真空室内的气压至0.5Pa‑5Pa,打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀氧化锌薄膜;S4:镀氧化锌薄膜结束后,再在氧化锌薄膜表面镀氧化铝薄膜;镀氧化铝薄膜结束(56)对比文件邱美艳;孙以材;潘国锋;杜鹏;李辉.ZnO薄膜的丙酮气敏特性研究.电子元件与材料.2007,(第05期),第46-48页.王超楠;黄保进;鲁听;罗笙芸;任达森;江志明;杨林.ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究.包装工程.2018,(第15期),全文.张茹;胡季帆;韩周祥;赵玛;吴占雷;魏剑英.基于磁控溅射的金属氧化物气敏薄膜的研究进展.真空.2010,(第05期),全文.

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